Η GRM1201 είναι μια αντλία κενού ξηρού τύπου 1200 m³/h με χαμηλή κατανάλωση ενέργειας και υψηλή ταχύτητα άντλησης για εφαρμογές μεγάλου όγκου εξαγωγής. Χειρίζεται εύφλεκτα, εκρηκτικά και συμπυκνώσιμα αέρια διεργασιών, σχεδιασμένη για απαιτητικές διεργασίες PECVD, MOCVD και SIC-CVD.
| Παράμετρος | Προδιαγραφή |
|---|---|
| Ταχύτητα Άντλησης | 1200 m³/h |
| Τελική Πίεση | ≤0.15 Pa |
| Ονομαστική Ισχύς | 1.9+1.9 kW |
| Τάση | 380V Τριφασική |
| Πίεση Νερού Ψύξης | 0.2-0.6 MPa |
| Ροή Νερού Ψύξης | ≥4 L/min |
| Θερμοκρασία Νερού Ψύξης | 5-30 °C |
| Σύνδεση Νερού Ψύξης | G3/8 |
| Πίεση Καθαρισμού με N2 | 0.2-0.6 MPa |
| Ροή Καθαρισμού με N2 | 12-50 L/min |
| Σύνδεση Καθαρισμού με N2 | G1/4 |
| Σύνδεση Εισόδου | ISO160 |
| Σύνδεση Εξόδου | KF25 |
| Επίπεδο Θορύβου | ≤63 dB(A) |
| Περιβάλλον Λειτουργίας | 5~40°C; ≤80% RH |
| Βάρος | 260 kg |
| Διαστάσεις (Μ*Π*Υ) | 865*344*751 mm |
Load-Lock, Μεταφορά, Μετρολογία, Λιθογραφία
Διεργασία PVD, Προ-καθαρισμός PVD, RTA, Strip/Ashing, Οξείδωση Χάραξης, Χάραξη Πυριτίου, Πηγή Εμφύτευσης, Χάραξη Μετάλλων
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD