Η GRH1802 είναι μια αντλία κενού ξηρού τύπου 1800 m³/h σχεδιασμένη για απαιτητικές διεργασίες ημιαγωγών και φωτοβολταϊκών. Με θάλαμο άντλησης χωρίς λάδι, συμπαγές αποτύπωμα και χαμηλή κατανάλωση ενέργειας, προσφέρει αξιόπιστη απόδοση με ισχυρή ικανότητα διαχείρισης σκόνης.
| Παράμετρος | Προδιαγραφή |
|---|---|
| Ρυθμός Άντλησης | 1800 m³/h |
| Τελική Πίεση | ≤0.5 Pa |
| Ονομαστική Ισχύς | 7.5+4.5 kW |
| Τάση | 380V Τριφασική |
| Πίεση Νερού Ψύξης | 0.3-0.6 MPa |
| Ροή Νερού Ψύξης | 6 L/min |
| Θερμοκρασία Νερού Ψύξης | 10-30 °C |
| Σύνδεση Νερού Ψύξης | G3/8 |
| Πίεση Καθαρισμού με N2 | 0.3-0.6 MPa |
| Ροή Καθαρισμού με N2 | 4-96 L/min |
| Σύνδεση Καθαρισμού με N2 | G1/4 |
| Σύνδεση Εισόδου | ISO160 |
| Σύνδεση Εξόδου | KF40 |
| Επίπεδο Θορύβου | <70 dB(A) |
| Περιβάλλον Λειτουργίας | 5~40°C; ≤80% RH |
| Βάρος | 472 kg |
| Διαστάσεις (Μ*Π*Υ) | 935*420*795 mm |
Load-Lock, Μεταφορά, Μετρολογία, Λιθογραφία
Διεργασία PVD, Προ-καθαρισμός PVD, RTA, Strip/Ashing, Οξείδωση με χάραξη, Χάραξη πυριτίου, Πηγή εμφύτευσης, Χάραξη μετάλλων
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD