logo
SUZHOU KACO VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD. scorpiosyy@foxmail.com
380V Three Phase Dry Vacuum Pump GRH1802 1800 M³/H

380V Τριφασική στεγνή αντλία κενού GRH1802 1800 M3/H

  • Επισημαίνω

    380V Τριφασική στεγνή αντλία κενού

    ,

    1800 m3/h αντλία κενού ξηράς

    ,

    Ημιαγωγός διαδικασία στεγνή αντλία κενού

  • Τύπος αντλίας
    αντλία κενού ξηρού τύπου
  • Ταχύτητα άντλησης
    1800 m³/h
  • Τελική πίεση
    ≤0,5 Pa
  • Τύπος κινητήρα
    Σύγχρονος κινητήρας μόνιμου μαγνήτη (PMSM)
  • Ονομαστική ισχύς
    7,5+4,5 kW
  • Δυναμικό
    Τριφασικό 380V
  • Θερμοκρασία νερού ψύξης
    10-30 °C
  • Ροή Νερού Ψύξης
    6 λίτρα/λεπτό
  • N2 Purge Flow
    4-96 L/min
  • Σύνδεση εισόδου
    ISO 160
  • Σύνδεση πρίζας
    KF40
  • Επίπεδο θορύβου
    <70 dB(A)
  • Βάρος
    472 κιλά
  • Διαστάσεις (L × W × H)
    935×420×795 χλστ
  • Διασύνδεση ελέγχου
    I/O και RS485 (Πρωτόκολλο Modbus)
  • Σύστημα στεγανοποίησης
    Lip Seal + Labyrinth Seal with N2 Purge
  • Τόπος καταγωγής
    Κίνα
  • Μάρκα
    GRH
  • Πιστοποίηση
    ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
  • Αριθμό μοντέλου
    GRH1802
  • Ποσότητα παραγγελίας min
    1 σετ
  • Τιμή
    USD 12,000-18,000 / Set
  • Συσκευασία λεπτομέρειες
    Θήκη από κόντρα πλακέ ποιότητας εξαγωγής με φράγμα υγρασίας στεγανοποιημένο σε κενό και ένθετο αφρού
  • Χρόνος παράδοσης
    15-30 εργάσιμες ημέρες
  • Όροι πληρωμής
    T/T, L/C, Western Union
  • Δυνατότητα προσφοράς
    500 σετ το μήνα

380V Τριφασική στεγνή αντλία κενού GRH1802 1800 M3/H

Αντλία κενού ξηρού τύπου GRH1802

Η GRH1802 είναι μια αντλία κενού ξηρού τύπου 1800 m³/h σχεδιασμένη για απαιτητικές διεργασίες ημιαγωγών και φωτοβολταϊκών. Με θάλαμο άντλησης χωρίς λάδι, συμπαγές αποτύπωμα και χαμηλή κατανάλωση ενέργειας, προσφέρει αξιόπιστη απόδοση με ισχυρή ικανότητα διαχείρισης σκόνης.

Βασικά Χαρακτηριστικά

  • Μοτέρ σύγχρονου μόνιμου μαγνήτη — Προσφέρει ανώτερη ενεργειακή απόδοση και χαμηλότερη κατανάλωση ενέργειας σε σύγκριση με τους συμβατικούς κινητήρες επαγωγής.
  • Προηγμένη Δομή Ρότορα — Βελτιωμένη ικανότητα εξαγωγής σκόνης, καθιστώντας την αντλία εξαιρετικά ανεκτική σε αέρια διεργασιών που περιέχουν σωματίδια.
  • Ανθεκτική σε Σκόνη και Υδρατμούς — Ανεπηρέαστη από σκόνη και υδρατμούς που παρασύρονται στη ροή του αερίου που αντλείται.
  • Συμπαγής και Ολοκληρωμένος Σχεδιασμός — Μικρό αποτύπωμα με υψηλή ολοκλήρωση συστήματος για εύκολη εγκατάσταση σε πολυσύχναστα περιβάλλοντα εργοστασίων.
  • Ολοκληρωμένη Προστασία — Ενσωματωμένες λειτουργίες προστασίας με ισχυρή προσαρμοστική ικανότητα για μεταβαλλόμενες συνθήκες διεργασίας.
  • Χαμηλοί Κραδασμοί και Θόρυβος — Λειτουργεί σε <70 dB(A) στην τελική πίεση για ένα πιο ήσυχο περιβάλλον εργασίας.
  • Προηγμένο Σύστημα Στεγανοποίησης — Ο συνδυασμός στεγανοποίησης χειλιών και στεγανοποίησης λαβυρίνθου με καθαρισμό αζώτου αποτρέπει αποτελεσματικά την οπισθοδρόμηση λαδιού, διασφαλίζοντας υψηλή καθαρότητα κενού στον θάλαμο διεργασίας.
  • Απομακρυσμένος Έλεγχος και Παρακολούθηση — Υποστηρίζει διεπαφή I/O και επικοινωνία RS485 (πρωτόκολλο Modbus) για απρόσκοπτη ενσωμάτωση σε συστήματα αυτοματισμού εργοστασίων.

Τεχνικές Προδιαγραφές

Παράμετρος Προδιαγραφή
Ρυθμός Άντλησης 1800 m³/h
Τελική Πίεση ≤0.5 Pa
Ονομαστική Ισχύς 7.5+4.5 kW
Τάση 380V Τριφασική
Πίεση Νερού Ψύξης 0.3-0.6 MPa
Ροή Νερού Ψύξης 6 L/min
Θερμοκρασία Νερού Ψύξης 10-30 °C
Σύνδεση Νερού Ψύξης G3/8
Πίεση Καθαρισμού με N2 0.3-0.6 MPa
Ροή Καθαρισμού με N2 4-96 L/min
Σύνδεση Καθαρισμού με N2 G1/4
Σύνδεση Εισόδου ISO160
Σύνδεση Εξόδου KF40
Επίπεδο Θορύβου <70 dB(A)
Περιβάλλον Λειτουργίας 5~40°C; ≤80% RH
Βάρος 472 kg
Διαστάσεις (Μ*Π*Υ) 935*420*795 mm

Διεργασίες Εφαρμογής

Καθαρές Διεργασίες

Load-Lock, Μεταφορά, Μετρολογία, Λιθογραφία

Μεσαίες Διεργασίες

Διεργασία PVD, Προ-καθαρισμός PVD, RTA, Strip/Ashing, Οξείδωση με χάραξη, Χάραξη πυριτίου, Πηγή εμφύτευσης, Χάραξη μετάλλων

Σκληρές Διεργασίες

HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD

Στοχευόμενες Βιομηχανίες

  • Ημιαγωγοί: Χάραξη, ιοντική εμφύτευση, CVD και άλλες καθαρές, μεσαίες και σκληρές διεργασίες.
  • Φωτοβολταϊκά: Φούρνοι ανάπτυξης κρυστάλλων, διεργασίες κατασκευής κυψελών.
  • Μπαταρίες Λιθίου: Διεργασίες στεγνώματος κενού κυψελών, πλήρωσης ηλεκτρολύτη και απαέρωσης.
  • Επίπεδες Οθόνες & LED: Διεργασίες κατασκευής που απαιτούν περιβάλλοντα κενού υψηλής καθαρότητας.