Η GRM201 είναι μια αντλία κενού ξηρού τύπου 200 m³/h που προσφέρει χαμηλή κατανάλωση ενέργειας και υψηλή ταχύτητα άντλησης. Χειρίζεται με ασφάλεια εύφλεκτα, εκρηκτικά και συμπυκνώσιμα αέρια διεργασιών, καθιστώντας την κατάλληλη για διεργασίες ημιαγωγών PECVD, MOCVD και SIC-CVD με υψηλή αξιοπιστία και χαμηλό κόστος συντήρησης.
| Παράμετρος | Προδιαγραφή |
|---|---|
| Ταχύτητα Άντλησης | 200 m³/h |
| Τελική Πίεση | ≤0.5 Pa |
| Ονομαστική Ισχύς | 1.9 kW |
| Τάση | 380V Τριφασική |
| Πίεση Νερού Ψύξης | 0.2-0.6 MPa |
| Ροή Νερού Ψύξης | ≥3 L/min |
| Θερμοκρασία Νερού Ψύξης | 5-30 °C |
| Σύνδεση Νερού Ψύξης | G3/8 |
| Πίεση Καθαρισμού με N2 | 0.2-0.6 MPa |
| Ροή Καθαρισμού με N2 | 12-50 L/min |
| Σύνδεση Καθαρισμού με N2 | G1/4 |
| Σύνδεση Εισόδου | ISO63 |
| Σύνδεση Εξόδου | KF25 |
| Επίπεδο Θορύβου | ≤63 dB(A) |
| Περιβάλλον Λειτουργίας | 5~40°C; ≤80% RH |
| Βάρος | 150 kg |
| Διαστάσεις (Μ*Π*Υ) | 741*344*466 mm |
Load-Lock, Μεταφορά, Μετρολογία, Λιθογραφία
Διεργασία PVD, Προ-καθαρισμός PVD, RTA, Strip/Ashing, Οξείδωση Etch, Πυρίτιο Etch, Πηγή Εμφύτευσης, Μεταλλικό Etch
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD