logo
SUZHOU KACO VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD. scorpiosyy@foxmail.com
GRM4201 Dry Vacuum Pump 4200 M³/H Oil Free PMSM Drive ISO160 KF50 For HJT Lithium Battery

GRM4201 Άσκητη αντλία κενού 4200 M3/H Χωρίς πετρέλαιο PMSM Drive ISO160 KF50 Για HJT μπαταρία λιθίου

  • Επισημαίνω

    Ξηρή Αντλία κενού χωρίς λάδι

    ,

    4200 m3/h αντλία στεγνού κενού

    ,

    Αντλία κενού ξηράς μπαταρίας λιθίου HJT

  • Τύπος αντλίας
    αντλία κενού ξηρού τύπου
  • Ταχύτητα άντλησης
    4200 m³/h
  • Τελική πίεση
    ≤0,5 Pa
  • Τύπος κινητήρα
    Σύγχρονος κινητήρας μόνιμου μαγνήτη (PMSM)
  • Ονομαστική ισχύς
    13+10 kW
  • Δυναμικό
    Τριφασικό 380V
  • Θερμοκρασία νερού ψύξης
    5-25 °C
  • Ροή Νερού Ψύξης
    8-10 L/min
  • N2 Purge Flow
    0-120 L/min
  • Σύνδεση εισόδου
    ISO 160
  • Σύνδεση πρίζας
    KF50
  • Επίπεδο θορύβου
    ≤75 dB (α)
  • Βάρος
    269 κλ
  • Διαστάσεις (L × W × H)
    1695×600×1450 χλστ
  • Διασύνδεση ελέγχου
    I/O και RS485 (Πρωτόκολλο Modbus)
  • Σύστημα στεγανοποίησης
    Lip Seal + Labyrinth Seal with N2 Purge
  • Σχεδιασμός ρουλεμάν
    Υποστήριξη ρουλεμάν διπλού άκρου
  • Λειτουργία ελέγχου
    Έξυπνο PLC με Start/Stop με ένα κουμπί
  • Τόπος καταγωγής
    Κίνα
  • Μάρκα
    GRM
  • Πιστοποίηση
    ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018, CE, ETL
  • Αριθμό μοντέλου
    GRM4201
  • Ποσότητα παραγγελίας min
    1 σετ
  • Τιμή
    USD 25,000-45,000 / Set
  • Συσκευασία λεπτομέρειες
    Θήκη από κόντρα πλακέ ποιότητας εξαγωγής με φράγμα υγρασίας στεγανοποιημένο σε κενό και ένθετο αφρού
  • Χρόνος παράδοσης
    25-40 εργάσιμες ημέρες
  • Όροι πληρωμής
    T/T, L/C, Western Union
  • Δυνατότητα προσφοράς
    100 σετ το μήνα

GRM4201 Άσκητη αντλία κενού 4200 M3/H Χωρίς πετρέλαιο PMSM Drive ISO160 KF50 Για HJT μπαταρία λιθίου

Αντλία κενού ξηρού τύπου GRM4201

Η GRM4201 είναι μια αντλία κενού ξηρού τύπου υψηλής χωρητικότητας 4200 m³/h, η οποία επιτυγχάνει εξαιρετικά επίπεδα κενού με ευρύ φάσμα πίεσης λειτουργίας και ανώτερη διαχείριση σκόνης. Με υποστήριξη ρουλεμάν διπλής όψης, υδρόψυκτο πλήρως σφραγισμένο κινητήρα και έξυπνο έλεγχο PLC με ένα κουμπί, είναι ιδανική για την κατασκευή κυψελών HJT, την παραγωγή μπαταριών λιθίου και την ταχεία εκκένωση Load-Lock ημιαγωγών.

Βασικά Χαρακτηριστικά

  • Ο υδρόψυκτος, πλήρως σφραγισμένος κινητήρας μόνιμου μαγνήτη σύγχρονης λειτουργίας με κίνηση VFD μεγιστοποιεί την απόδοση ροπής για απαιτητικές διεργασίες, εξαλείφοντας παράλληλα τον κίνδυνο διαρροής λαδιού.
  • Μοναδικός σχεδιασμός ρότορα κατασκευασμένος σε προηγμένο εξοπλισμό με εξαιρετική γεωμετρική ακρίβεια, πλήρως εναλλάξιμος για χαμηλό θόρυβο και εκτεταμένη διάρκεια ζωής.
  • Ανθεκτικό στη σκόνη και τους υδρατμούς — Ανεπηρέαστο από τη σκόνη και τους υδρατμούς που παρασύρονται στη ροή του αερίου που αντλείται.
  • Συμπαγής και Ολοκληρωμένος Σχεδιασμός — Μικρό αποτύπωμα με υψηλή ολοκλήρωση συστήματος για εύκολη εγκατάσταση σε πολυσύχναστα περιβάλλοντα εργοστασίων.
  • Ολοκληρωμένη Προστασία — Ενσωματωμένες λειτουργίες προστασίας με ισχυρή προσαρμοστική ικανότητα σε μεταβαλλόμενες συνθήκες διεργασίας.
  • Χαμηλοί κραδασμοί και θόρυβος — Λειτουργεί σε ≤75 dB(A) στην τελική πίεση για ένα πιο ήσυχο περιβάλλον εργασίας.
  • Προηγμένο Σύστημα Σφράγισης — Προηγμένη στεγανοποίηση χειλιού με λαβυρινθικό φράγμα λαδιού παρέχει ανώτερη απόδοση σφράγισης και εκτεταμένη διάρκεια ζωής. Σε συνδυασμό με την εκκαθάριση σφράγισης αερίου αζώτου, αποτρέπει τη μόλυνση του δοχείου λαδιού από τα μέσα της διεργασίας, επιτυγχάνοντας ένα εντελώς περιβάλλον κενού χωρίς λάδι.
  • Απομακρυσμένος Έλεγχος και Παρακολούθηση — Υποστηρίζει διεπαφή I/O και επικοινωνία RS485 (πρωτόκολλο Modbus) για απρόσκοπτη ενσωμάτωση σε συστήματα αυτοματισμού εργοστασίων.
  • Σχεδιασμός Υποστήριξης Ρουλεμάν Διπλής Όψης — Παρέχει αξιόπιστη υποστήριξη ρότορα, εξαιρετικά χαμηλούς κραδασμούς και ανώτερη αξιοπιστία εκκίνησης, καθιστώντας την ιδανική για σκληρές συνθήκες διεργασίας.
  • Υδρόψυκτος Πλήρως Σφραγισμένος Κινητήρας — Υψηλής απόδοσης PMSM με κίνηση VFD μεγιστοποιεί την απόδοση ροπής. Ο πλήρως σφραγισμένος σχεδιασμός του κινητήρα εξαλείφει τον κίνδυνο διαρροής λαδιού, ενισχύοντας την αξιοπιστία λειτουργίας και παρατείνοντας τη διάρκεια ζωής.
  • Έξυπνο Σύστημα Ελέγχου PLC — Ο έξυπνος προγραμματισμός επιτρέπει εκκίνηση/διακοπή με ένα κουμπί. Υποστηρίζει εξωτερική διεπαφή I/O και επικοινωνία RS485 (πρωτόκολλο Modbus-RTU) για ενσωμάτωση απομακρυσμένου ελέγχου και παρακολούθησης.

Τεχνικές Προδιαγραφές

Παράμετρος Προδιαγραφή
Ταχύτητα άντλησης 4200 m³/h
Τελική πίεση ≤0.5 Pa
Ονομαστική ισχύς 13+10 kW
Τάση 380V Τριφασικό
Πίεση νερού ψύξης 0.2-0.5 MPa
Ροή νερού ψύξης 8-10 L/min
Θερμοκρασία νερού ψύξης 5-25 °C
Σύνδεση νερού ψύξης G3/8
Πίεση εκκαθάρισης N2 0.1-0.7 MPa
Ροή εκκαθάρισης N2 0-120 L/min
Σύνδεση εκκαθάρισης N2 G1/4
Σύνδεση εισόδου ISO160
Σύνδεση εξόδου KF50
Επίπεδο θορύβου ≤75 dB(A)
Περιβάλλον λειτουργίας 5~40°C; ≤80% RH
Βάρος 269 kg
Διαστάσεις (Μ*Π*Υ) 1695*600*1450 mm

Διεργασίες εφαρμογής

Καθαρές Διεργασίες

Load-Lock, Μεταφορά, Μετρολογία, Λιθογραφία

Μεσαίες Διεργασίες

Διεργασία PVD, Προ-καθαρισμός PVD, RTA, Απογύμνωση/Αποξήρανση, Χάραξη Οξειδίου, Χάραξη Πυριτίου, Πηγή Εμφύτευσης, Χάραξη Μετάλλου

Σκληρές Διεργασίες

HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD

Στοχευόμενες Βιομηχανίες

  • Ηλιακά Κύτταρα Ετεροδομής (HJT): Απαιτήσεις κενού διεργασίας PECVD.
  • Βιομηχανία Μπαταριών Λιθίου: Μεγάλης κλίμακας ξήρανση κενού και επεξεργασία ηλεκτρολύτη.
  • Ημιαγωγοί: Ταχεία εκκένωση Load-Lock και προ-άντληση θαλάμου διεργασίας.
  • Επίστρωση κενού: Εφαρμογές Load-Lock σε βιομηχανικά συστήματα επίστρωσης PVD/CVD.