Η GRM4201 είναι μια αντλία κενού ξηρού τύπου υψηλής χωρητικότητας 4200 m³/h, η οποία επιτυγχάνει εξαιρετικά επίπεδα κενού με ευρύ φάσμα πίεσης λειτουργίας και ανώτερη διαχείριση σκόνης. Με υποστήριξη ρουλεμάν διπλής όψης, υδρόψυκτο πλήρως σφραγισμένο κινητήρα και έξυπνο έλεγχο PLC με ένα κουμπί, είναι ιδανική για την κατασκευή κυψελών HJT, την παραγωγή μπαταριών λιθίου και την ταχεία εκκένωση Load-Lock ημιαγωγών.
| Παράμετρος | Προδιαγραφή |
|---|---|
| Ταχύτητα άντλησης | 4200 m³/h |
| Τελική πίεση | ≤0.5 Pa |
| Ονομαστική ισχύς | 13+10 kW |
| Τάση | 380V Τριφασικό |
| Πίεση νερού ψύξης | 0.2-0.5 MPa |
| Ροή νερού ψύξης | 8-10 L/min |
| Θερμοκρασία νερού ψύξης | 5-25 °C |
| Σύνδεση νερού ψύξης | G3/8 |
| Πίεση εκκαθάρισης N2 | 0.1-0.7 MPa |
| Ροή εκκαθάρισης N2 | 0-120 L/min |
| Σύνδεση εκκαθάρισης N2 | G1/4 |
| Σύνδεση εισόδου | ISO160 |
| Σύνδεση εξόδου | KF50 |
| Επίπεδο θορύβου | ≤75 dB(A) |
| Περιβάλλον λειτουργίας | 5~40°C; ≤80% RH |
| Βάρος | 269 kg |
| Διαστάσεις (Μ*Π*Υ) | 1695*600*1450 mm |
Load-Lock, Μεταφορά, Μετρολογία, Λιθογραφία
Διεργασία PVD, Προ-καθαρισμός PVD, RTA, Απογύμνωση/Αποξήρανση, Χάραξη Οξειδίου, Χάραξη Πυριτίου, Πηγή Εμφύτευσης, Χάραξη Μετάλλου
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD