Η GRH6001 είναι μια αντλία στεγνού κενού υψηλής χωρητικότητας 6000 m3/h που έχει σχεδιαστεί για μεγάλες γραμμές παραγωγής ημιαγωγών και φωτοβολταϊκών.και χαμηλή κατανάλωση ενέργειας για απαιτητικές εφαρμογές μεγάλου όγκου.
| Παράμετρος | Προδιαγραφές |
|---|---|
| Ταχύτητα άντλησης | 6000 m3/h |
| Τελική Πίεση | ≤ 0,5 Pa |
| Κατηγορία ισχύος | 11+7,5 kW |
| Τετάρτη | 380V Τρι φάση |
| Πίεση νερού ψύξης | 0.2-0.6 MPa |
| Ύδρευση ψύξης | ≥ 11 L/min |
| Θερμοκρασία νερού ψύξης | 5-30 °C |
| Σύνδεση νερού ψύξης | G3/8 |
| Πίεση καθαρισμού N2 | 0.2-0.6 MPa |
| Ρυθμιστική ροή N2 | 43-123 λίτρα/min |
| Σύνδεση καθαρισμού N2 | G1/4 |
| Σύνδεση εισόδου | ISO250 |
| Σύνδεση πρίζας | KF40 |
| Επίπεδο θορύβου | ≤ 70 dB (A) |
| Περιβάλλον λειτουργίας | 5~40°C, ≤80% RH |
| Βάρος | 846 κιλά |
| Μέγεθος (L*W*H) | 1076*516*988 mm |
Κλειδώματα φορτίου, μεταφορά, μετρολογία, λιθογραφία
Επεξεργασία PVD, Προκαθαρισμός PVD, RTA, Τρίδα/Καψίλωση, Έκταση Οξυγόνου, Έκταση Σιλικόνης, Πηγή εμφυτεύματος, Έκταση Μεταλλικού
Ειδικότερα, η μέθοδος αυτή μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την ανάλυση των διακυμάνσεων μεταξύ των διακυμάνσεων των τιμών.