Η GRM601 είναι μια αντλία στεγνού κενού 600 m3/h που προσφέρει χαμηλή κατανάλωση ενέργειας και υψηλή ταχύτητα άντλησης.και SIC-CVD διεργασίες ημιαγωγών.
| Παράμετρος | Προδιαγραφές |
|---|---|
| Ταχύτητα άντλησης | 600 m3/h |
| Τελική Πίεση | ≤ 0,15 Pa |
| Κατηγορία ισχύος | 10,9+1,9 kW |
| Τετάρτη | 380V Τρι φάση |
| Πίεση νερού ψύξης | 0.2-0.6 MPa |
| Ύδρευση ψύξης | ≥ 4 L/min |
| Θερμοκρασία νερού ψύξης | 5-30 °C |
| Σύνδεση νερού ψύξης | G3/8 |
| Πίεση καθαρισμού N2 | 0.2-0.6 MPa |
| Ρυθμιστική ροή N2 | 12-50 λίτρα/min |
| Σύνδεση καθαρισμού N2 | G1/4 |
| Σύνδεση εισόδου | ISO100 |
| Σύνδεση πρίζας | KF25 |
| Επίπεδο θορύβου | ≤ 63 dB (A) |
| Περιβάλλον λειτουργίας | 5~40°C, ≤80% RH |
| Βάρος | 260 κιλά |
| Μέγεθος (L*W*H) | 865*344*751 mm |
Κλειδώματα φορτίου, μεταφορά, μετρολογία, λιθογραφία
Επεξεργασία PVD, Προκαθαρισμός PVD, RTA, Τρίδα/Καψίλωση, Έκταση Οξυγόνου, Έκταση Σιλικόνης, Πηγή εμφυτεύματος, Έκταση Μεταλλικού
Ειδικότερα, η μέθοδος αυτή μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την ανάλυση των διακυμάνσεων μεταξύ των διακυμάνσεων των τιμών.