logo
SUZHOU KACO VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD. scorpiosyy@foxmail.com
GRH1202 1200 M³/H Dry Vacuum Pump For Semiconductor Photovoltaic

GRH1202 1200 M3/H στεγνή αντλία κενού για ημιαγωγούς φωτοβολταϊκών

  • Επισημαίνω

    Αντλίες κενού ξηρών ημιαγωγών

    ,

    1200 m3/h αντλία κενού ξηράς

    ,

    Φωτοηλεκτρική αντλία στεγνού κενού

  • Τύπος αντλίας
    αντλία κενού ξηρού τύπου
  • Ταχύτητα άντλησης
    1200 M3/h
  • Τελική πίεση
    ≤0,5 Pa
  • Τύπος κινητήρα
    Σύγχρονος κινητήρας μόνιμου μαγνήτη (PMSM)
  • Ονομαστική ισχύς
    7,5+1,9 kW
  • Δυναμικό
    Τριφασικό 380V
  • Θερμοκρασία νερού ψύξης
    5-30 ° C
  • Ροή Νερού Ψύξης
    ≥4,7 L/min
  • N2 Purge Flow
    4-96 L/min
  • Σύνδεση εισόδου
    ISO100
  • Σύνδεση πρίζας
    KF40
  • Επίπεδο θορύβου
    ≤ 70 DB ((A)
  • Βάρος
    220 κιλά
  • Διαστάσεις (L × W × H)
    821×420×791 χλστ
  • Διασύνδεση ελέγχου
    I/O και RS485 (Πρωτόκολλο Modbus)
  • Σύστημα στεγανοποίησης
    Lip Seal + Labyrinth Seal with N2 Purge
  • Τόπος καταγωγής
    Κίνα
  • Μάρκα
    GRH
  • Πιστοποίηση
    ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
  • Αριθμό μοντέλου
    GRH1202
  • Ποσότητα παραγγελίας min
    1 σετ
  • Τιμή
    USD 8,000-12,000 / Set
  • Συσκευασία λεπτομέρειες
    Θήκη από κόντρα πλακέ ποιότητας εξαγωγής με φράγμα υγρασίας στεγανοποιημένο σε κενό και ένθετο αφρού
  • Χρόνος παράδοσης
    15-30 εργάσιμες ημέρες
  • Όροι πληρωμής
    T/T, L/C, Western Union
  • Δυνατότητα προσφοράς
    500 σετ το μήνα

GRH1202 1200 M3/H στεγνή αντλία κενού για ημιαγωγούς φωτοβολταϊκών

Αντλία κενού ξηρού τύπου GRH1202

Η GRH1202 είναι μια αντλία κενού ξηρού τύπου 1200 m³/h σχεδιασμένη για διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών, φωτοβολταϊκών και μπαταριών λιθίου. Διαθέτει θάλαμο αντλίας εντελώς χωρίς λάδι, συμπαγείς διαστάσεις και χαμηλή κατανάλωση ενέργειας, προσφέροντας αξιόπιστη απόδοση με χαμηλό συνολικό κόστος ιδιοκτησίας.

Βασικά Χαρακτηριστικά

  • Μοτέρ σύγχρονου μαγνήτη νεοδυμίου — Προσφέρει ανώτερη ενεργειακή απόδοση και χαμηλότερη κατανάλωση ενέργειας σε σύγκριση με τους συμβατικούς κινητήρες επαγωγής.
  • Προηγμένη Δομή Ρότορα — Βελτιωμένη ικανότητα εξαγωγής σκόνης, καθιστώντας την αντλία εξαιρετικά ανθεκτική σε αέρια διεργασιών που περιέχουν σωματίδια.
  • Ανθεκτική σε Σκόνη και Υδρατμούς — Ανεπηρέαστη από σκόνη και υδρατμούς που μεταφέρονται στη ροή του αερίου που αντλείται.
  • Συμπαγής και Ολοκληρωμένος Σχεδιασμός — Μικρό αποτύπωμα με υψηλή ολοκλήρωση συστήματος για εύκολη εγκατάσταση σε πολυσύχναστα περιβάλλοντα εργοστασίων.
  • Ολοκληρωμένη Προστασία — Ενσωματωμένες λειτουργίες προστασίας με ισχυρή προσαρμοστική ικανότητα σε μεταβαλλόμενες συνθήκες διεργασίας.
  • Χαμηλοί Κραδασμοί και Θόρυβος — Λειτουργεί σε ≤70 dB(A) στην τελική πίεση για ένα πιο ήσυχο περιβάλλον εργασίας.
  • Προηγμένο Σύστημα Στεγανοποίησης — Ο συνδυασμός στεγανοποίησης χειλιών και λαβυρίνθου με καθαρισμό με άζωτο αποτρέπει αποτελεσματικά την αντίστροφη ροή λαδιού, διασφαλίζοντας υψηλή καθαρότητα κενού στον θάλαμο διεργασίας.
  • Απομακρυσμένος Έλεγχος και Παρακολούθηση — Υποστηρίζει διεπαφή I/O και επικοινωνία RS485 (πρωτόκολλο Modbus) για απρόσκοπτη ενσωμάτωση σε συστήματα αυτοματισμού εργοστασίων.

Τεχνικές Προδιαγραφές

Παράμετρος Προδιαγραφή
Ρυθμός άντλησης 1200 m³/h
Τελική πίεση ≤0.5 Pa
Ονομαστική ισχύς 7.5+1.9 kW
Τάση 380V Τριφασικό
Πίεση νερού ψύξης 0.1-0.6 MPa
Ροή νερού ψύξης ≥4.7 L/min
Θερμοκρασία νερού ψύξης 5-30 °C
Σύνδεση νερού ψύξης G3/8
Πίεση καθαρισμού με Ν2 0.2-0.6 MPa
Ροή καθαρισμού με Ν2 4-96 L/min
Σύνδεση καθαρισμού με Ν2 G1/4
Σύνδεση εισόδου ISO100
Σύνδεση εξόδου KF40
Επίπεδο θορύβου ≤70 dB(A)
Περιβάλλον λειτουργίας 5~40°C; ≤80% RH
Βάρος 220 kg
Διαστάσεις (Μ*Π*Υ) 821*420*791 mm

Διεργασίες εφαρμογής

Καθαρές Διεργασίες

Load-Lock, Μεταφορά, Μετρολογία, Λιθογραφία

Μεσαίες Διεργασίες

Διεργασία PVD, Προ-καθαρισμός PVD, RTA, Strip/Ashing, Οξείδωση χάραξης, Χάραξη πυριτίου, Πηγή εμφύτευσης, Χάραξη μετάλλων

Σκληρές Διεργασίες

HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD

Στοχευόμενες Βιομηχανίες

  • Ημιαγωγοί: Χάραξη, ιοντική εμφύτευση, CVD και άλλες καθαρές, μεσαίες και σκληρές διεργασίες.
  • Φωτοβολταϊκά: Φούρνοι ανάπτυξης κρυστάλλων, διεργασίες κατασκευής κυψελών.
  • Μπαταρίες Λιθίου: Ξήρανση κελιών υπό κενό, πλήρωση ηλεκτρολύτη και διεργασίες εκκένωσης αερίων.
  • Επίπεδες Οθόνες & LED: Διεργασίες κατασκευής που απαιτούν περιβάλλοντα κενού υψηλής καθαρότητας.