Η GRH1202 είναι μια αντλία κενού ξηρού τύπου 1200 m³/h σχεδιασμένη για διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών, φωτοβολταϊκών και μπαταριών λιθίου. Διαθέτει θάλαμο αντλίας εντελώς χωρίς λάδι, συμπαγείς διαστάσεις και χαμηλή κατανάλωση ενέργειας, προσφέροντας αξιόπιστη απόδοση με χαμηλό συνολικό κόστος ιδιοκτησίας.
| Παράμετρος | Προδιαγραφή |
|---|---|
| Ρυθμός άντλησης | 1200 m³/h |
| Τελική πίεση | ≤0.5 Pa |
| Ονομαστική ισχύς | 7.5+1.9 kW |
| Τάση | 380V Τριφασικό |
| Πίεση νερού ψύξης | 0.1-0.6 MPa |
| Ροή νερού ψύξης | ≥4.7 L/min |
| Θερμοκρασία νερού ψύξης | 5-30 °C |
| Σύνδεση νερού ψύξης | G3/8 |
| Πίεση καθαρισμού με Ν2 | 0.2-0.6 MPa |
| Ροή καθαρισμού με Ν2 | 4-96 L/min |
| Σύνδεση καθαρισμού με Ν2 | G1/4 |
| Σύνδεση εισόδου | ISO100 |
| Σύνδεση εξόδου | KF40 |
| Επίπεδο θορύβου | ≤70 dB(A) |
| Περιβάλλον λειτουργίας | 5~40°C; ≤80% RH |
| Βάρος | 220 kg |
| Διαστάσεις (Μ*Π*Υ) | 821*420*791 mm |
Load-Lock, Μεταφορά, Μετρολογία, Λιθογραφία
Διεργασία PVD, Προ-καθαρισμός PVD, RTA, Strip/Ashing, Οξείδωση χάραξης, Χάραξη πυριτίου, Πηγή εμφύτευσης, Χάραξη μετάλλων
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD