Système de pompe à vide sec GRM41 600 L/min Entraînement économe en énergie PMSM KF40 pour revêtement sous vide de semi-conducteurs

Principales caractéristiques

• PMSM entraînement écoénergétique:La technologie du moteur synchrone à aimants permanents offre une efficacité énergétique supérieure avec une consommation d'énergie de 0,75 kW, réduisant les coûts d'exploitation tout en maintenant des performances élevées.
• Opération à sec sans huile:Aucun risque de contamination par l'huile dans les chambres de processus, assurant des conditions de vide ultra-propres essentielles pour la fabrication de semi-conducteurs et de photovoltaïques.
• Performance élevée sous vide:Réalise une pression finale de ≤1 Pa (ballast de gaz fermé) et ≤10 Pa (ballast de gaz ouvert), adaptée à des applications exigeantes à haut vide.
• Système intégré de ballast de gaz:La soupape de ballast à gaz intégrée avec connexion PT1/4 gère la vapeur d'eau jusqu'à 350 g/h, empêchant la condensation et prolongant la durée de vie de la pompe.
• Surveillance à distance RS485.L'interface de commande intelligente prend en charge le fonctionnement à distance, la surveillance des paramètres et les capacités de diagnostic pour l'intégration de l'industrie 4.0.
• Conception compacte et légère:Les dimensions de 630*347*400 mm et le poids de seulement 54 kg permettent une installation facile dans les salles blanches où l'espace est limité.
• Opération à faible bruit:Niveau sonore ≤ 65 dB avec silencieux et soupape de freinage intégrés, assurant un environnement de travail confortable.
• Construction résistante:L'alliage d'aluminium et le boîtier en fonte avec des joints en fluoroélastomère (FKM) assurent une fiabilité et une compatibilité chimique à long terme.
• Interfaces standard KF:Connexions d'entrée KF40 et d'échappement KF25 pour un montage rapide et sans outils avec des composants sous vide standard.