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Pompe à vide sèche sans huile
,Pompe à vide sec 6000 m³/h
,Pompe à vide sec triphasée
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Type de pompepompe à vide sèche
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Vitesse de pompage6 000 m3/h
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Pression ultime≤0,5 Pa
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Type de moteurMoteur synchrone à aimant permanent (PMSM)
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Puissance nominale11+7,5 kW
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Tension380V triphasé
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Température de l'eau de refroidissement5-30 ° C
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Débit d'eau de refroidissement≥11 L/min
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Débit de purge N243-123 L/min
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Connexion d'entréeISO250
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Connexion de sortieLe prix de vente
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Niveau de bruit≤ 70 dB (A)
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Poids846 kg
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Dimensions (L × W × H)1076×516×988 millimètres
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Interface de contrôleE/S et RS485 (protocole Modbus)
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Système d'étanchéitéJoint à lèvres + joint labyrinthe avec purge N2
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Lieu d'origineChine
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Nom de marqueGRH
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CertificationISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
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Numéro de modèleGRH6001
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Quantité de commande min1 ensemble
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PrixUSD 25,000-35,000 / Set
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Détails d'emballageBoîtier en contreplaqué de qualité export avec barrière contre l'humidité scellée sous vide et i
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Délai de livraison15-30 jours ouvrables
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Conditions de paiementT/T, LC, Western Union
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Capacité d'approvisionnement500 ensembles par mois
GRH6001 6000 M³/H Pompe à vide sans huile 380V Triphasé
GRH6001 Pompes à vide à sec
La GRH6001 est une pompe à vide à sec de grande capacité de 6000 m3/h conçue pour les chaînes de production de semi-conducteurs et photovoltaïques à grande échelle.et une faible consommation d'énergie pour des applications exigeantes à haut volume.
Principales caractéristiques
- Le moteur synchrone à aimant permanent offre une efficacité énergétique supérieure et une consommation d'énergie plus faible que les moteurs à induction conventionnels.
- Structure avancée du rotor
- Tolérant à la poussière et à la vapeur d'eau- Insensible à la poussière et à la vapeur d'eau entraînées dans le courant de gaz pompé.
- Conception compacte et intégrée¢ Petite empreinte avec une forte intégration des systèmes pour une installation facile dans des environnements de fabrication surpeuplés.
- Protection complète¢ Fonctions de protection intégrées avec une forte capacité d'adaptation à différentes conditions de processus.
- Faible vibration et bruit¢ fonctionne à une pression maximale de ≤ 70 dB (A) pour un lieu de travail plus silencieux.
- Système d'étanchéité avancéLe joint de lèvres et le joint de labyrinthe combinés à la purge d'azote empêchent efficacement le reflux d'huile, assurant ainsi une grande propreté sous vide dans la chambre de traitement.
- Contrôle et surveillance à distanceIl prend en charge l'interface E/S et la communication RS485 (protocole Modbus) pour une intégration transparente dans les systèmes d'automatisation d'usine.
Spécifications techniques
| Paramètre | Spécification |
|---|---|
| Vitesse de pompage | 6 000 m3/h |
| Une pression extrême | ≤ 0,5 Pa |
| Puissance nominale | 11+7,5 kW |
| Voltage | 380 V à trois phases |
| Pression de l'eau de refroidissement | 0.2-0.6 MPa |
| Flux d'eau de refroidissement | ≥ 11 L/min |
| Température de l'eau de refroidissement | 5 à 30 °C |
| Connexion à l'eau de refroidissement | G3/8 |
| N2 Pression de purge | 0.2-0.6 MPa |
| Flux de purge de N2 | 43 à 123 L/min |
| Connexion de purge N2 | G1/4 |
| Connexion d'entrée | Pour les appareils électroniques |
| Connexion de sortie | Le prix de vente |
| Niveau de bruit | Le niveau d'éclairage doit être supérieur ou égal à: |
| Environnement de fonctionnement | 5 à 40 °C; ≤ 80% de RH |
| Le poids | 846 kg |
| Dimensions (L*W*H) | 1076*516*988 mm |
Procédures de demande
Des procédés propres
Le système de chargement, le transfert, la métrologie, la lithographie
Processus de taille moyenne
Le procédé PVD, le pré-nettoyage PVD, le RTA, la bande/la cendre, la gravure d'oxyde, la gravure de silicium, la source d'implant, la gravure métallique
Des procès difficiles
Les données sont fournies par les autorités compétentes de l'État membre dans lequel elles sont situées.
Industries visées
- Pour les appareils de traitement de l'airLa gravure, l'implantation d'ions, la CVD et d'autres applications de procédé propres, moyennes et difficiles.
- Pneumatiques:Fours de croissance de cristaux, procédés de fabrication de cellules.
- Batterie au lithium:Séchage sous vide des cellules, remplissage d'électrolyte et processus de dégazage.
- Affichage à écran plat et LED:Processus de fabrication nécessitant des environnements sous vide de haute propreté.
Produits connexes
Nos produits sont vendus dans le monde entier. Vous pouvez être assuré de l'ensemble du processus de nos produits.
