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Pompes à vide sèche à trois phases 380V
,Pompes à vide à sec de 1800 m3/h
,Pompes à vide sèche à semi-conducteur
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Type de pompepompe à vide sèche
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Vitesse de pompage1800 m³/h
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Pression ultime≤0,5 Pa
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Type de moteurMoteur synchrone à aimant permanent (PMSM)
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Puissance nominale7,5+4,5 kW
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Tension380V triphasé
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Température de l'eau de refroidissement10-30 °C
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Débit d'eau de refroidissement6 L/min
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Débit de purge N24-96 L/min
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Connexion d'entréeISO160
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Connexion de sortieLe prix de vente
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Niveau de bruit＜70 dB(A)
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Poids472 kilogrammes
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Dimensions (L × W × H)935×420×795 millimètres
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Interface de contrôleE/S et RS485 (protocole Modbus)
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Système d'étanchéitéJoint à lèvres + joint labyrinthe avec purge N2
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Lieu d'origineChine
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Nom de marqueGRH
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CertificationISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
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Numéro de modèleGRH1802
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Quantité de commande min1 ensemble
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PrixUSD 12,000-18,000 / Set
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Détails d'emballageBoîtier en contreplaqué de qualité export avec barrière contre l'humidité scellée sous vide et i
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Délai de livraison15-30 jours ouvrables
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Conditions de paiementT/T, LC, Western Union
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Capacité d'approvisionnement500 ensembles par mois
Pompes à vide sèche à trois phases de 380 V GRH1802 1800 M3/H
GRH1802 Pompes à vide à sec
La GRH1802 est une pompe à vide à sec de 1800 m3/h conçue pour des procédés photovoltaïques et semi-conducteurs exigeants.il offre des performances fiables avec une capacité robuste de traitement de la poussière.
Principales caractéristiques
- Le moteur synchrone à aimant permanent offre une efficacité énergétique supérieure et une consommation d'énergie plus faible que les moteurs à induction conventionnels.
- Structure avancée du rotor
- Tolérant à la poussière et à la vapeur d'eau- Insensible à la poussière et à la vapeur d'eau entraînées dans le courant de gaz pompé.
- Conception compacte et intégrée¢ Petite empreinte avec une forte intégration des systèmes pour une installation facile dans des environnements de fabrication surpeuplés.
- Protection complète¢ Fonctions de protection intégrées avec une forte capacité d'adaptation à différentes conditions de processus.
- Faible vibration et bruit¢ fonctionne à une pression maximale de < 70 dB (A) pour un lieu de travail plus silencieux.
- Système d'étanchéité avancéLe joint de lèvres et le joint de labyrinthe combinés à la purge d'azote empêchent efficacement le reflux d'huile, assurant ainsi une grande propreté sous vide dans la chambre de traitement.
- Contrôle et surveillance à distanceIl prend en charge l'interface E/S et la communication RS485 (protocole Modbus) pour une intégration transparente dans les systèmes d'automatisation d'usine.
Spécifications techniques
| Paramètre | Spécification |
|---|---|
| Vitesse de pompage | 1800 m3/h |
| Une pression extrême | ≤ 0,5 Pa |
| Puissance nominale | 7.5 + 4,5 kW |
| Voltage | 380 V à trois phases |
| Pression de l'eau de refroidissement | 0.3-0.6 MPa |
| Flux d'eau de refroidissement | 6 L/min |
| Température de l'eau de refroidissement | 10 à 30 °C |
| Connexion à l'eau de refroidissement | G3/8 |
| N2 Pression de purge | 0.3-0.6 MPa |
| Flux de purge de N2 | 4 à 96 L/min |
| Connexion de purge N2 | G1/4 |
| Connexion d'entrée | Pour les appareils électroniques |
| Connexion de sortie | Le prix de vente |
| Niveau de bruit | Le niveau d'humidité est supérieur ou égal à: |
| Environnement de fonctionnement | 5 à 40 °C; ≤ 80% de RH |
| Le poids | 472 kg |
| Dimensions (L*W*H) | 935*420*795 mm |
Procédures de demande
Des procédés propres
Le système de chargement, le transfert, la métrologie, la lithographie
Processus de taille moyenne
Le procédé PVD, le pré-nettoyage PVD, le RTA, la bande/la cendre, la gravure d'oxyde, la gravure de silicium, la source d'implant, la gravure métallique
Des procès difficiles
Les données sont fournies par les autorités compétentes de l'État membre dans lequel elles sont situées.
Industries visées
- Pour les appareils de traitement de l'airLa gravure, l'implantation d'ions, la CVD et d'autres applications de procédé propres, moyennes et difficiles.
- Pneumatiques:Fours de croissance de cristaux, procédés de fabrication de cellules.
- Batterie au lithium:Séchage sous vide des cellules, remplissage d'électrolyte et processus de dégazage.
- Affichage à écran plat et LED:Processus de fabrication nécessitant des environnements sous vide de haute propreté.
Produits connexes
Nos produits sont vendus dans le monde entier. Vous pouvez être assuré de l'ensemble du processus de nos produits.
