La GRM601 est une pompe à vide sèche de 600 m³/h offrant une faible consommation d'énergie et une vitesse de pompage élevée. Elle gère en toute sécurité les gaz de procédé inflammables, explosifs et condensables, conçue pour les procédés de semi-conducteurs PECVD, MOCVD et SIC-CVD.
| Paramètre | Spécification |
|---|---|
| Vitesse de pompage | 600 m³/h |
| Pression ultime | ≤0,15 Pa |
| Puissance nominale | 1,9+1,9 kW |
| Tension | 380V Triphasé |
| Pression d'eau de refroidissement | 0,2-0,6 MPa |
| Débit d'eau de refroidissement | ≥4 L/min |
| Température de l'eau de refroidissement | 5-30 °C |
| Raccord d'eau de refroidissement | G3/8 |
| Pression de purge N2 | 0,2-0,6 MPa |
| Débit de purge N2 | 12-50 L/min |
| Raccord de purge N2 | G1/4 |
| Raccord d'entrée | ISO100 |
| Raccord de sortie | KF25 |
| Niveau sonore | ≤63 dB(A) |
| Environnement d'exploitation | 5~40°C ; ≤80% HR |
| Poids | 260 kg |
| Dimensions (L*l*H) | 865*344*751 mm |
Chambre de chargement, Transfert, Métrologie, Lithographie
Procédé PVD, Prétraitement PVD, RTA, Stripage/Ashing, Gravure d'oxyde, Gravure de silicium, Source d'implantation, Gravure de métal
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD