La GRM4201 est une pompe à vide à sec de haute capacité de 4200 m3/h, qui atteint des niveaux de vide exceptionnels avec une large plage de pression de travail et un traitement supérieur de la poussière.moteur entièrement scellé refroidi à l'eau, et un contrôle PLC intelligent à un bouton, il est idéal pour la fabrication de cellules HJT, la production de batteries au lithium et l'évacuation rapide des semi-conducteurs Load-Lock.
| Paramètre | Spécification |
|---|---|
| Vitesse de pompage | 4200 m3/h |
| Une pression extrême | ≤ 0,5 Pa |
| Puissance nominale | 13+10 kW |
| Voltage | 380 V à trois phases |
| Pression de l'eau de refroidissement | 0.2-0.5 MPa |
| Flux d'eau de refroidissement | 8 à 10 l/min |
| Température de l'eau de refroidissement | 5 à 25 °C |
| Connexion à l'eau de refroidissement | G3/8 |
| N2 Pression de purge | 00,1-0,7 MPa |
| Flux de purge de N2 | 0 à 120 L/min |
| Connexion de purge N2 | G1/4 |
| Connexion d'entrée | Pour les appareils électroniques |
| Connexion de sortie | 50 francs français |
| Niveau de bruit | Le niveau de décharge doit être supérieur ou égal à: |
| Environnement de fonctionnement | 5 à 40 °C; ≤ 80% de RH |
| Le poids | 269 kg |
| Dimensions (L*W*H) | 1695*600*1450 mm |
Le système de chargement, le transfert, la métrologie, la lithographie
Le procédé PVD, le pré-nettoyage PVD, le RTA, la bande/la cendre, la gravure d'oxyde, la gravure de silicium, la source d'implant, la gravure métallique
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