logo
SUZHOU KACO VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD. scorpiosyy@foxmail.com
GRM41 Dry Vacuum Pump System 600 L/min KF40 PMSM Energy Efficient Drive for Semiconductor Vacuum Coating

GRM41 Droge Vacuümpomp Systeem 600 L/min KF40 PMSM Energiezuinige Aandrijving voor Halfgeleider Vacuümcoating

  • Markeren

    Droge Vacuümpomp Systeem GRM41

    ,

    PMSM Energiezuinige Aandrijfpomp

    ,

    Halfgeleider Vacuümcoating Oplossing

  • Model
    GRM41
  • Type
    Droog vacuümpompsysteem
  • Maximale pompsnelheid
    600 l/min (36 m³/u)
  • Ultieme druk (gasballast open)
    ≤10 Pa
  • Ultieme druk (gasballast gesloten)
    ≤1 Pa
  • Maximale continue inlaatdruk
    1000 mbar
  • Uitlaatdruk
    ≤3000Pa
  • Motorvermogen
    0,75 kW
  • Motortype
    PMSM (permanente magneet synchrone motor)
  • Voeding
    200-240V, eenfasig, 50/60Hz
  • Nominale stroom
    2.4 A
  • Inlaataansluiting
    KF40
  • Uitgangsaansluiting
    KF25
  • Gasballastaansluiting
    PT1/4
  • Gasballastdruk
    0,02-0,05 MPa
  • Maximale waterdampcapaciteit
    350 g/u
  • Geluidsniveau
    ≤ 65 dB
  • Olie volume
    0,25 L
  • Gewicht
    54 kg
  • Afmetingen
    630×347×400 mm
  • Beschermingsklasse
    IP20D
  • Controle-interface
    RS485-bewaking op afstand
  • Omgevingstemperatuur
    5-40 °C
  • Plaats van herkomst
    Zhejiang, China
  • Merknaam
    OEM
  • Modelnummer
    GRM41
  • Min. bestelaantal
    1 set
  • Prijs
    negotiable
  • Verpakking Details
    Multiplex koffer van exportkwaliteit met schokbestendig schuiminzetstuk en vacuümdichte vochtbarrièr
  • Levertijd
    15-30 werkdagen na orderbevestiging
  • Betalingscondities
    T/T
  • Levering vermogen
    200 sets per maand

GRM41 Droge Vacuümpomp Systeem 600 L/min KF40 PMSM Energiezuinige Aandrijving voor Halfgeleider Vacuümcoating

GRM41 Droge Vacuümpompsysteem

De GRM41 is een hoogwaardig olievrij droog vacuümpompsysteem, ontworpen voor veeleisende hoogzuivere vacuümprocessen in de halfgeleiderproductie, de productie van fotovoltaïsche cellen en de fabricage van flatpaneldisplays. Uitgerust met een energiezuinige PMSM (Permanent Magnet Synchronous Motor) aandrijving met een vermogen van 0,75 kW, bereikt dit compacte systeem een indrukwekkende maximale pompsnelheid van 600 L/min (36 m³/h) met een ultieme druk van ≤1 Pa. De geïntegreerde RS485 interface voor externe monitoring maakt naadloze integratie in geautomatiseerde productieomgevingen mogelijk.

Belangrijkste Kenmerken

  • PMSM Energiezuinige Aandrijving: Permanente magneet synchrone motortechnologie levert superieure energie-efficiëntie met een stroomverbruik van 0,75 kW, waardoor operationele kosten worden verlaagd en tegelijkertijd hoge prestaties behouden blijven.
  • Olievrije Droge Werking: Geen risico op olievervuiling in proceskamers, wat zorgt voor ultra-schone vacuümcondities die essentieel zijn voor de productie van halfgeleiders en fotovoltaïca.
  • Hoge Vacuümprestaties: Bereikt een ultieme druk van ≤1 Pa (gasballast gesloten) en ≤10 Pa (gasballast open), geschikt voor veeleisende hoogvacuümtoepassingen.
  • Geïntegreerd Gasballast Systeem: Ingebouwde gasballastklep met PT1/4 aansluiting verwerkt waterdamp tot 350 g/u, voorkomt condensatie en verlengt de levensduur van de pomp.
  • RS485 Externe Monitoring: Intelligente besturingsinterface ondersteunt externe bediening, parameterbewaking en diagnostische mogelijkheden voor Industry 4.0 integratie.
  • Compact Lichtgewicht Ontwerp: Afmetingen van 630*347*400 mm en een gewicht van slechts 54 kg maken eenvoudige installatie mogelijk in ruimtebeperkte cleanroomomgevingen.
  • Geluidsarme Werking: Geluidsniveau ≤65 dB met geïntegreerde geluiddemper en terugslagklep, wat zorgt voor comfortabele werkomgevingen.
  • Robuuste Constructie: Behuizing van aluminiumlegering en gietijzer met fluorelastomeer (FKM) afdichtingen zorgen voor betrouwbaarheid op lange termijn en chemische compatibiliteit.
  • KF Standaard Interfaces: KF40 inlaat- en KF25 uitlaatverbindingen voor snelle, gereedschapsloze montage met standaard vacuümcomponenten.

Technische Specificaties

ParameterSpecificatie
ModelGRM41
TypeDroog Vacuümpompsysteem
Maximale Pompsnelheid600 L/min (36 m³/h)
Ultieme Druk (Gasballast Open)≤10 Pa
Ultieme Druk (Gasballast Gesloten)≤1 Pa
Max Continue Inlaatdruk1000 mbar
Uitlaatdruk≤3000 Pa
Motorvermogen0,75 kW
MotortypePMSM (Permanent Magnet Synchronous Motor)
Voeding200-240V, Eenfasig, 50/60Hz
Nominale Stroom2,4 A
Inlaat AansluitingKF40
Uitlaat AansluitingKF25
Gasballast AansluitingPT1/4
Gasballast Druk0,02-0,05 MPa
Max Waterdamp Capaciteit350 g/u
Geluidsniveau≤65 dB
Olievolume0,25 L
Gewicht54 kg
Afmetingen (L*B*H)630*347*400 mm
BeschermingsklasseIP20D
BesturingsinterfaceRS485 Externe Monitoring
Omgevingstemperatuur5-40 °C

Typische Toepassingen

  • Verwerking en fabricage van halfgeleiderwafers
  • Productie van fotovoltaïsche cellen (PVD, PECVD, etsen)
  • Productie van flatpaneldisplays en OLED's
  • Vacuümcoating en dunne-film depositie
  • Onderzoeks- en laboratoriumhoogvacuümsystemen
  • Laser- en optische industrie
  • Backingpomp voor analytische instrumentatie
  • Evacuatie van load lock kamers