-
Markeren
Olievrije droge vacuümpomp
,6000 m3/h droge vacuümpomp
,Driefasige droge vacuümpomp
-
Pomptypedroge vacuümpomp
-
Pompsnelheid6000 m3/h
-
Ultieme druk≤0,5 Pa
-
MotortypeSynchrone motor met permanente magneet (PMSM)
-
Nominaal vermogen11+7,5 kW
-
Spanning380V driefasig
-
Koelwatertemperatuur5-30 ° C
-
Koelwaterstroom≥11 l/min
-
N2 spoelstroom43-123 l/min
-
InlaataansluitingISO250
-
UitgangsaansluitingKF40
-
Geluidsniveau≤ 70 DB ((A)
-
Gewicht846 kg
-
Afmetingen (L × W × H)1076×516×988 mm
-
Controle-interfaceI/O en RS485 (Modbus-protocol)
-
AfdichtingssysteemLipafdichting + Labyrintafdichting met N2 Purge
-
Plaats van herkomstChina
-
MerknaamGRH
-
CertificeringISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
-
ModelnummerGRH6001
-
Min. bestelaantal1 set
-
PrijsUSD 25,000-35,000 / Set
-
Verpakking DetailsMultiplex koffer van exportkwaliteit met vacuümdichte vochtbarrière en schokbestendig schuiminzetstu
-
Levertijd15-30 werkdagen
-
BetalingsconditiesT/T, L/C, Western Union
-
Levering vermogen500 sets per maand
GRH6001 6000 M3/H Pomp voor droge werking olievrij 380V Driefase
GRH6001 Droge vacuümpomp
De GRH6001 is een droge vacuümpomp met een grote capaciteit van 6000 m3/h, ontworpen voor grootschalige productielijnen voor halfgeleiders en fotovoltaïsche installaties.en een laag energieverbruik voor veeleisende toepassingen met een hoog volume.
Belangrijkste kenmerken
- Permanente magneet synchrone motor: biedt een superieure energie-efficiëntie en een lager stroomverbruik in vergelijking met conventionele inductiemotoren.
- Geavanceerde rotorstructuur ️ Verbeterde stofonttrekkingscapaciteit, waardoor de pomp zeer bestand is tegen procesgassen met deeltjes.
- Stof- en waterdampverdraagzaam- ongevoelig voor stof en waterdamp die in de gepompte gasstroom worden opgenomen.
- Compact en geïntegreerd ontwerp¢ Kleine afmetingen met een hoge systeemintegratie voor gemakkelijke installatie in drukke fabrieksomgevingen.
- Alomvattende bescherming¢ Ingebouwde beschermingsfuncties met een sterke aanpassingsvermogen voor verschillende procesomstandigheden.
- Lage trillingen en lawaai¢ werkt bij ≤ 70 dB (A) bij ultieme druk voor een stiller werkplek.
- Geavanceerd afdichtingssysteem¢ Lipverzegeling en labyrintverzegeling in combinatie met stikstofuitputting voorkomen effectief dat olie terugstroomt, waardoor een hoge vacuümschoonheid in de proceskamer wordt gewaarborgd.
- Afstandsbediening en monitoringOndersteunt I/O-interface en RS485-communicatie (Modbus-protocol) voor naadloze integratie in fabrieksautomatiseringssystemen.
Technische specificaties
| Parameter | Specificatie |
|---|---|
| Pompsnelheid | 6000 m3/h |
| De ultieme druk | ≤ 0,5 Pa |
| Nominaal vermogen | 11+7,5 kW |
| Spanning | 380 V driefasig |
| Koelwaterdruk | 0.2-0.6 MPa |
| Koelwaterstroom | ≥ 11 l/min |
| Temperatuur van het koelwater | 5-30 °C |
| Koelwaterverbinding | G3/8 |
| N2-spuitdruk | 0.2-0.6 MPa |
| N2-spoelstroom | 43-123 l/min |
| N2-suiveringsverbinding | G1/4 |
| Inlaatverbinding | ISO 250 |
| Uitlaatverbinding | KF40 |
| Geluidsniveau | ≤ 70 dB (A) |
| Operatieomgeving | 5~40°C; ≤ 80% RH |
| Gewicht | 846 kg |
| Afmetingen (L*W*H) | 1076*516*988 mm |
Aanvraagprocessen
Schone processen
Load-Lock, Transfer, Metrologie, Lithografie
Mediumprocessen
PVD-proces, PVD-pre-reiniging, RTA, strips/ashing, oxide etch, silicon etch, implantatiebron, metale etch
Harde processen
De in de bijlage bij Verordening (EG) nr. 1907/2006 vermelde parameters zijn van toepassing op de in de bijlage bij Verordening (EG) nr. 1907/2006 bedoelde parameters.
Doelgroepen
- met een vermogen van niet meer dan 50 WEtsen, ionenimplantatie, CVD en andere schone, middelgrote en harde procestoepassingen.
- Photovoltaïsche:Kristalgroei-ovens, celproductieprocessen.
- Lithiumbatterie:Vacuümdrogen van cellen, vulling met elektrolyten en ontgasprocessen.
- Flat Panel Display & LED:Productieprocessen waarvoor vacuümomgevingen met een hoge zuiverheid vereist zijn.
gerelateerde producten
Onze producten worden over de hele wereld verkocht. U kunt gerust zijn op het hele proces van onze producten.
