-
Markeren
380V Driefasige droge vacuümpomp
,1800 m3/h droge vacuümpomp
,Een halfgeleiderproces met een droge vacuümpomp
-
Pomptypedroge vacuümpomp
-
Pompsnelheid1800 m³/u
-
Ultieme druk≤0,5 Pa
-
MotortypeSynchrone motor met permanente magneet (PMSM)
-
Nominaal vermogen7,5+4,5 kW
-
Spanning380V driefasig
-
Koelwatertemperatuur10-30°C
-
Koelwaterstroom6 l/min
-
N2 spoelstroom4-96 l/min
-
InlaataansluitingISO160
-
UitgangsaansluitingKF40
-
Geluidsniveau<70 dB(A)
-
Gewicht472 kg
-
Afmetingen (L × W × H)935×420×795mm
-
Controle-interfaceI/O en RS485 (Modbus-protocol)
-
AfdichtingssysteemLipafdichting + Labyrintafdichting met N2 Purge
-
Plaats van herkomstChina
-
MerknaamGRH
-
CertificeringISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
-
ModelnummerGRH1802
-
Min. bestelaantal1 set
-
PrijsUSD 12,000-18,000 / Set
-
Verpakking DetailsMultiplex koffer van exportkwaliteit met vacuümdichte vochtbarrière en schokbestendig schuiminzetstu
-
Levertijd15-30 werkdagen
-
BetalingsconditiesT/T, L/C, Western Union
-
Levering vermogen500 sets per maand
380V Driefasige droge vacuümpomp GRH1802 1800 M3/H
GRH1802 Droge Vacuümpomp
De GRH1802 is een droge vacuümpomp van 1800 m³/u, ontworpen voor veeleisende halfgeleider- en fotovoltaïsche processen. Met een olievrije pompkamer, een compacte voetafdruk en een laag energieverbruik levert hij betrouwbare prestaties met een robuuste stofafvoeringscapaciteit.
Belangrijkste Kenmerken
- Permanente Magneet Synchrone Motor — Levert superieure energie-efficiëntie en lager energieverbruik in vergelijking met conventionele inductiemotoren.
- Geavanceerde Rotorstructuur — Verbeterde stofafvoeringscapaciteit, waardoor de pomp zeer tolerant is voor deeltjeshoudende procesgassen.
- Stof- en Waterdampbestendig — Ongevoelig voor stof en waterdamp die in de gepompte gasstroom worden meegevoerd.
- Compact en Geïntegreerd Ontwerp — Kleine voetafdruk met hoge systeemintegratie voor eenvoudige installatie in drukke fabrieksomgevingen.
- Uitgebreide Bescherming — Ingebouwde beschermingsfuncties met sterke adaptieve capaciteit voor wisselende procesomstandigheden.
- Lage Vibratie en Geluid — Werkt bij <70 dB(A) bij ultieme druk voor een stillere werkplek.
- Geavanceerd Afdichtingssysteem — Lipafdichting en labyrintafdichting gecombineerd met stikstofspoeling voorkomt effectief oliesterugstroming, wat zorgt voor een hoge vacuümreinheid in de proceskamer.
- Afstandsbediening en Monitoring — Ondersteunt I/O-interface en RS485-communicatie (Modbus-protocol) voor naadloze integratie in fabriekautomatiseringssystemen.
Technische Specificaties
| Parameter | Specificatie |
|---|---|
| Pompsnelheid | 1800 m³/u |
| Ultieme Druk | ≤0,5 Pa |
| Nominaal Vermogen | 7,5+4,5 kW |
| Spanning | 380V Driefasig |
| Koelwaterdruk | 0,3-0,6 MPa |
| Koelwaterdebiet | 6 L/min |
| Koelwatertemperatuur | 10-30 °C |
| Koelwateraansluiting | G3/8 |
| N2 Spoeldruk | 0,3-0,6 MPa |
| N2 Spoeldebiet | 4-96 L/min |
| N2 Spoelaansluiting | G1/4 |
| Inlaat Aansluiting | ISO160 |
| Uitlaat Aansluiting | KF40 |
| Geluidsniveau | <70 dB(A) |
| Bedrijfsomgeving | 5~40°C; ≤80% RV |
| Gewicht | 472 kg |
| Afmetingen (L*B*H) | 935*420*795 mm |
Toepassingsprocessen
Schone Processen
Load-Lock, Transfer, Metrologie, Lithografie
Middelmatige Processen
PVD Proces, PVD Voorreiniging, RTA, Strip/Ashen, Oxide Etsen, Silicium Etsen, Implantatie Bron, Metaal Etsen
Zware Processen
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
Doelindustrieën
- Halfgeleider: Etsen, ionenimplantatie, CVD en andere schone, middelmatige en zware procesapplicaties.
- Fotovoltaïsch: Kristalgroeifurnaces, celproductieprocessen.
- Lithiumbatterij: Cel vacuümdrogen, elektrolytvulling en ontgassingsprocessen.
- Plat Paneel Display & LED: Productieprocessen die vacuümomgevingen met hoge reinheid vereisen.
gerelateerde producten
Onze producten worden over de hele wereld verkocht. U kunt gerust zijn op het hele proces van onze producten.
