GRM4201 Droge Vacuümpomp 4200 M³/H Olievrij PMSM Aandrijving ISO160 KF50 Voor HJT Lithium Batterij
-
Markeren
Olievrije droge vacuümpomp
,4200 m³/u droge vacuümpomp
,HJT Lithium Batterij droge vacuümpomp
-
Pomptypedroge vacuümpomp
-
Pompsnelheid4200 m³/u
-
Ultieme druk≤0,5 Pa
-
MotortypeSynchrone motor met permanente magneet (PMSM)
-
Nominaal vermogen13+10 kW
-
Spanning380V driefasig
-
Koelwatertemperatuur5-25 °C
-
Koelwaterstroom8-10 l/min
-
N2 spoelstroom0-120 l/min
-
InlaataansluitingISO160
-
UitgangsaansluitingKF50
-
Geluidsniveau≤75 dB (a)
-
Gewicht269 kg
-
Afmetingen (L × W × H)1695×600×1450mm
-
Controle-interfaceI/O en RS485 (Modbus-protocol)
-
AfdichtingssysteemLipafdichting + Labyrintafdichting met N2 Purge
-
Ontwerp van het lagerDubbelzijdige lagerondersteuning
-
ControlemodusSlimme PLC met start/stop met één knop
-
Plaats van herkomstChina
-
MerknaamGRM
-
CertificeringISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018, CE, ETL
-
ModelnummerGRM4201
-
Min. bestelaantal1 set
-
PrijsUSD 25,000-45,000 / Set
-
Verpakking DetailsMultiplex koffer van exportkwaliteit met vacuümdichte vochtbarrière en schokbestendig schuiminzetstu
-
Levertijd25-40 werkdagen
-
BetalingsconditiesT/T, L/C, Western Union
-
Levering vermogen100 setjes per maand
GRM4201 Droge Vacuümpomp 4200 M³/H Olievrij PMSM Aandrijving ISO160 KF50 Voor HJT Lithium Batterij
GRM4201 Droge vacuümpomp
De GRM4201 is een 4200 m3/h droge vacuümpomp met een hoge capaciteit die uitzonderlijke vacuümniveaus bereikt met een breed werkdrukbereik en een superieure stofbehandeling.watergekoelde volledig afgesloten motorHet is ideaal voor de productie van HJT-cellen, de productie van lithiumbatterijen en de snelle evacuatie van halfgeleiders.
Belangrijkste kenmerken
- De met water gekoelde, volledig afgesloten permanente magneet synchrone motor met VFD-aandrijving maximaliseert het koppel voor veeleisende processen en elimineert tegelijkertijd het risico op olielekken.
- Uniek rotorontwerp vervaardigd op geavanceerde apparatuur met uitstekende geometrische precisie, volledig uitwisselbaar voor laag geluid en langere levensduur.
- Stof- en waterdampverdraagzaam- ongevoelig voor stof en waterdamp die in de gepompte gasstroom worden opgenomen.
- Compact en geïntegreerd ontwerp¢ Kleine afmetingen met een hoge systeemintegratie voor gemakkelijke installatie in drukke fabrieksomgevingen.
- Alomvattende bescherming¢ Ingebouwde beschermingsfuncties met een sterke aanpassingsvermogen voor verschillende procesomstandigheden.
- Lage trillingen en lawaai¢ werkt bij ≤ 75 dB (A) bij ultieme druk voor een stiller werkplek.
- Geavanceerd afdichtingssysteem¢ Geavanceerde lipdichting met een oliebarrière biedt een superieure afdichtingsprestatie en een langere levensduur.voorkomt verontreiniging van de olie-reservoir met procesmedium, waardoor een volledig olievrije vacuümomgeving wordt bereikt.
- Afstandsbediening en monitoringOndersteunt I/O-interface en RS485-communicatie (Modbus-protocol) voor naadloze integratie in fabrieksautomatiseringssystemen.
- Ontwerp van het draagvlak voor twee-eindlagersHet biedt betrouwbare rotorondersteuning, extreem lage trillingen en een superieure startbetrouwbaarheid, waardoor het ideaal is voor moeilijke procesomstandigheden.
- Volledig afgesloten watergekoelde motorDe motor is volledig afgesloten en het risico op olielekt elimineren, waardoor de betrouwbaarheid van de werking wordt verbeterd en de levensduur wordt verlengd.
- Intelligent PLC-besturingssysteem¢ Slimme programmering met één knop start/stop. Ondersteunt externe I/O-interface en RS485-communicatie (Modbus-RTU-protocol) voor integratie van afstandsbediening en monitoring.
Technische specificaties
| Parameter | Specificatie |
|---|---|
| Pompsnelheid | 4200 m3/h |
| De ultieme druk | ≤ 0,5 Pa |
| Nominaal vermogen | 13+10 kW |
| Spanning | 380 V driefasig |
| Koelwaterdruk | 0.2-0.5 MPa |
| Koelwaterstroom | 8-10 l/min |
| Temperatuur van het koelwater | 5-25 °C |
| Koelwaterverbinding | G3/8 |
| N2-spuitdruk | 0.1-0.7 MPa |
| N2-spoelstroom | 0-120 l/min |
| N2-suiveringsverbinding | G1/4 |
| Inlaatverbinding | ISO 160 |
| Uitlaatverbinding | KF50 |
| Geluidsniveau | ≤ 75 dB (A) |
| Operatieomgeving | 5~40°C; ≤ 80% RH |
| Gewicht | 269 kg |
| Afmetingen (L*W*H) | 1695*600*1450 mm |
Aanvraagprocessen
Schone processen
Load-Lock, Transfer, Metrologie, Lithografie
Mediumprocessen
PVD-proces, PVD-pre-reiniging, RTA, strips/ashing, oxide etch, silicon etch, implantatiebron, metale etch
Harde processen
De in de bijlage bij Verordening (EG) nr. 1907/2006 vermelde parameters zijn van toepassing op de in de bijlage bij Verordening (EG) nr. 1907/2006 bedoelde parameters.
Doelgroepen
- Heterojunctie (HJT) zonnecel:PECVD-procesvacuümvereisten.
- Lithiumbatterijen voor industriële doeleinden:Grootschalige vacuümdrogen en elektrolytenverwerking.
- met een vermogen van niet meer dan 50 WVinnige evacuatie en ruwe proceskamer.
- Vacuümcoating:Industriële PVD/CVD coating system load-lock toepassingen.
gerelateerde producten
Onze producten worden over de hele wereld verkocht. U kunt gerust zijn op het hele proces van onze producten.
