logo
SUZHOU KACO VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD. scorpiosyy@foxmail.com
GRH3001 3000 M³/H dry type vacuum pump with Permanent Magnet Synchronous Motor

GRH3001 3000 M³/U droogtype vacuümpomp met permanente magneetsynchrone motor

Producten - Droge Vacuümpompen
  • Markeren

    Droge vacuümpomp met permanente magneetmotor

    ,

    3000 m³/u droge vacuümpomp

    ,

    PV-droge vacuümpomp voor halfgeleiders

  • Pomptype
    droge vacuümpomp
  • Pompsnelheid
    3000 m ³ /h
  • Ultieme druk
    ≤0,5 Pa
  • Motortype
    Synchrone motor met permanente magneet (PMSM)
  • Nominaal vermogen
    11+7,5 kW
  • Spanning
    380V driefasig
  • Koelwatertemperatuur
    5-30 ° C
  • Koelwaterstroom
    ≥11 l/min
  • N2 spoelstroom
    43-123 l/min
  • Inlaataansluiting
    ISO160
  • Uitgangsaansluiting
    KF40
  • Geluidsniveau
    ≤ 70 DB ((A)
  • Gewicht
    770kg
  • Afmetingen (L × W × H)
    922×516×988 mm
  • Controle-interface
    I/O en RS485 (Modbus-protocol)
  • Afdichtingssysteem
    Lipafdichting + Labyrintafdichting met N2 Purge
  • Plaats van herkomst
    China
  • Merknaam
    GRH
  • Certificering
    ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
  • Modelnummer
    GRH3001
  • Min. bestelaantal
    1 set
  • Prijs
    USD 18,000-25,000 / Set
  • Verpakking Details
    Multiplex koffer van exportkwaliteit met vacuümdichte vochtbarrière en schokbestendig schuiminzetstu
  • Levertijd
    15-30 werkdagen
  • Betalingscondities
    T/T, L/C, Western Union
  • Levering vermogen
    500 sets per maand

GRH3001 3000 M³/U droogtype vacuümpomp met permanente magneetsynchrone motor

  • GRH3001 3000 M³/H dry type vacuum pump with Permanent Magnet Synchronous Motor
Prijs opvragen Contact nu

GRH3001 Droge vacuümpomp

De GRH3001 is een 3000 m3/h droge vacuümpomp die is gebouwd voor de middelgrote tot grote productie van halfgeleiders en fotovoltaïsche installaties.en een laag energieverbruik voor betrouwbare prestaties bij grote hoeveelheden.

Belangrijkste kenmerken

  • Permanente magneet synchrone motor: biedt een superieure energie-efficiëntie en een lager stroomverbruik in vergelijking met conventionele inductiemotoren.
  • Geavanceerde rotorstructuur ️ Verbeterde stofonttrekkingscapaciteit, waardoor de pomp zeer bestand is tegen procesgassen met deeltjes.
  • Stof- en waterdampverdraagzaam- ongevoelig voor stof en waterdamp die in de gepompte gasstroom worden opgenomen.
  • Compact en geïntegreerd ontwerp¢ Kleine afmetingen met een hoge systeemintegratie voor gemakkelijke installatie in drukke fabrieksomgevingen.
  • Alomvattende bescherming¢ Ingebouwde beschermingsfuncties met een sterke aanpassingsvermogen voor verschillende procesomstandigheden.
  • Lage trillingen en lawaai¢ werkt bij ≤ 70 dB (A) bij ultieme druk voor een stiller werkplek.
  • Geavanceerd afdichtingssysteem¢ Lipverzegeling en labyrintverzegeling in combinatie met stikstofuitputting voorkomen effectief dat olie terugstroomt, waardoor een hoge vacuümschoonheid in de proceskamer wordt gewaarborgd.
  • Afstandsbediening en monitoringOndersteunt I/O-interface en RS485-communicatie (Modbus-protocol) voor naadloze integratie in fabrieksautomatiseringssystemen.

Technische specificaties

Parameter Specificatie
Pompsnelheid 3000 m3/h
De ultieme druk ≤ 0,5 Pa
Nominaal vermogen 11+7,5 kW
Spanning 380 V driefasig
Koelwaterdruk 0.2-0.6 MPa
Koelwaterstroom ≥ 11 l/min
Temperatuur van het koelwater 5-30 °C
Koelwaterverbinding G3/8
N2-spuitdruk 0.2-0.6 MPa
N2-spoelstroom 43-123 l/min
N2-suiveringsverbinding G1/4
Inlaatverbinding ISO 160
Uitlaatverbinding KF40
Geluidsniveau ≤ 70 dB (A)
Operatieomgeving 5~40°C; ≤ 80% RH
Gewicht 770 kg
Afmetingen (L*W*H) 922*516*988 mm

Aanvraagprocessen

Schone processen

Load-Lock, Transfer, Metrologie, Lithografie

Mediumprocessen

PVD-proces, PVD-pre-reiniging, RTA, strips/ashing, oxide etch, silicon etch, implantatiebron, metale etch

Harde processen

De in de bijlage bij Verordening (EG) nr. 1907/2006 vermelde parameters zijn van toepassing op de in de bijlage bij Verordening (EG) nr. 1907/2006 bedoelde parameters.

Doelgroepen

  • met een vermogen van niet meer dan 50 WEtsen, ionenimplantatie, CVD en andere schone, middelgrote en harde procestoepassingen.
  • Photovoltaïsche:Kristalgroei-ovens, celproductieprocessen.
  • Lithiumbatterie:Vacuümdrogen van cellen, vulling met elektrolyten en ontgasprocessen.
  • Flat Panel Display & LED:Productieprocessen waarvoor vacuümomgevingen met een hoge zuiverheid vereist zijn.
Markeringen:

Olievrije droge vacuümpomp

PMSM energiezuinige aandrijving

RS485 Monitoring met afstandsbediening

gerelateerde producten

Onze producten worden over de hele wereld verkocht. U kunt gerust zijn op het hele proces van onze producten.

Vraag een offerte aan