-
Markeren
Halfgeleider droge vacuümpomp
,1200 m³/u droge vacuümpomp
,Fotovoltaïsche droge vacuümpomp
-
Pomptypedroge vacuümpomp
-
Pompsnelheid1200 m3/h
-
Ultieme druk≤0,5 Pa
-
MotortypeSynchrone motor met permanente magneet (PMSM)
-
Nominaal vermogen7,5+1,9 kW
-
Spanning380V driefasig
-
Koelwatertemperatuur5-30 ° C
-
Koelwaterstroom≥4,7 l/min
-
N2 spoelstroom4-96 l/min
-
InlaataansluitingISO100
-
UitgangsaansluitingKF40
-
Geluidsniveau≤ 70 DB ((A)
-
Gewicht220 kg
-
Afmetingen (L × W × H)821×420×791 mm
-
Controle-interfaceI/O en RS485 (Modbus-protocol)
-
AfdichtingssysteemLipafdichting + Labyrintafdichting met N2 Purge
-
Plaats van herkomstChina
-
MerknaamGRH
-
CertificeringISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
-
ModelnummerGRH1202
-
Min. bestelaantal1 set
-
PrijsUSD 8,000-12,000 / Set
-
Verpakking DetailsMultiplex koffer van exportkwaliteit met vacuümdichte vochtbarrière en schokbestendig schuiminzetstu
-
Levertijd15-30 werkdagen
-
BetalingsconditiesT/T, L/C, Western Union
-
Levering vermogen500 sets per maand
GRH1202 1200 M³/U Droge Vacuümpomp Voor Halfgeleider Fotovoltaïsch
GRH1202 Droge Vacuümpomp
De GRH1202 is een droge vacuümpomp van 1200 m³/u, ontworpen voor productieprocessen in de halfgeleider-, fotovoltaïsche en lithiumbatterij-industrie. Hij beschikt over een volledig olievrije pompkamer, een compacte voetafdruk en een laag energieverbruik, wat zorgt voor betrouwbare prestaties met lage totale eigendomskosten.
Belangrijkste Kenmerken
- Permanente Magneet Synchrone Motor — Levert superieure energie-efficiëntie en lager energieverbruik vergeleken met conventionele inductiemotoren.
- Geavanceerde Rotorstructuur — Verbeterde stofafzuigcapaciteit, waardoor de pomp zeer tolerant is voor procesgassen met deeltjes.
- Stof- en Waterdampbestendig — Ongevoelig voor stof en waterdamp in de gepompte gasstroom.
- Compact en Geïntegreerd Ontwerp — Kleine voetafdruk met hoge systeemintegratie voor eenvoudige installatie in drukke fabrieksomgevingen.
- Uitgebreide Bescherming — Ingebouwde beschermingsfuncties met sterke adaptieve capaciteit voor wisselende procesomstandigheden.
- Lage Vibratie en Geluid — Werkt bij ≤70 dB(A) bij ultieme druk voor een stillere werkplek.
- Geavanceerd Afdichtingssysteem — Lipafdichting en labyrintafdichting gecombineerd met stikstofspoeling voorkomt effectief olierugstroming, wat zorgt voor een hoge vacuümreinheid in de proceskamer.
- Afstandsbediening en Monitoring — Ondersteunt I/O-interface en RS485-communicatie (Modbus-protocol) voor naadloze integratie in fabriekautomatiseringssystemen.
Technische Specificaties
| Parameter | Specificatie |
|---|---|
| Pompsnelheid | 1200 m³/u |
| Ultieme Druk | ≤0,5 Pa |
| Nominaal Vermogen | 7,5+1,9 kW |
| Spanning | 380V Driefasig |
| Koelwaterdruk | 0,1-0,6 MPa |
| Koelwaterdebiet | ≥4,7 L/min |
| Koelwatertemperatuur | 5-30 °C |
| Koelwateraansluiting | G3/8 |
| N2 Spoeldruk | 0,2-0,6 MPa |
| N2 Spoeldebiet | 4-96 L/min |
| N2 Spoelaansluiting | G1/4 |
| Inlaat Aansluiting | ISO100 |
| Uitlaat Aansluiting | KF40 |
| Geluidsniveau | ≤70 dB(A) |
| Bedrijfsomgeving | 5~40°C; ≤80% RV |
| Gewicht | 220 kg |
| Afmetingen (L*B*H) | 821*420*791 mm |
Toepassingsprocessen
Schone Processen
Load-Lock, Transfer, Metrologie, Lithografie
Middelmatige Processen
PVD Proces, PVD Pre-Clean, RTA, Strip/Ashing, Oxide Etch, Silicon Etch, Implant Source, Metal Etch
Zware Processen
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
Doelindustrieën
- Halfgeleider: Etching, ionenimplantatie, CVD en andere schone, middelmatige en zware procesapplicaties.
- Fotovoltaïsch: Kristalgroeifurnaces, celproductieprocessen.
- Lithiumbatterij: Cel vacuümdrogen, elektrolytvulling en ontgassingsprocessen.
- Flat Panel Display & LED: Productieprocessen die vacuümomgevingen met hoge reinheid vereisen.
gerelateerde producten
Onze producten worden over de hele wereld verkocht. U kunt gerust zijn op het hele proces van onze producten.
