GRM41 Hệ thống bơm chân không khô 600 L/min KF40 PMSM Động cơ tiết kiệm năng lượng cho lớp phủ chân không bán dẫn

Các tính năng chính

• Bộ truyền động tiết kiệm năng lượng PMSM: Công nghệ động cơ đồng bộ nam châm vĩnh cửu mang lại hiệu quả năng lượng vượt trội với mức tiêu thụ điện 0,75 kW, giảm chi phí vận hành đồng thời duy trì hiệu suất cao.
• Hoạt động khô không dầu: Không có nguy cơ nhiễm dầu trong buồng xử lý, đảm bảo điều kiện chân không siêu sạch cần thiết cho sản xuất bán dẫn và quang điện.
• Hiệu suất chân không cao: Đạt áp suất cuối cùng ≤1 Pa (van thông khí đóng) và ≤10 Pa (van thông khí mở), phù hợp với các ứng dụng chân không cao đòi hỏi khắt khe.
• Hệ thống thông khí tích hợp: Van thông khí tích hợp với kết nối PT1/4 xử lý hơi nước lên đến 350 g/h, ngăn ngừa ngưng tụ và kéo dài tuổi thọ bơm.
• Giám sát từ xa RS485: Giao diện điều khiển thông minh hỗ trợ vận hành từ xa, giám sát thông số và khả năng chẩn đoán để tích hợp Công nghiệp 4.0.
• Thiết kế nhỏ gọn, trọng lượng nhẹ: Kích thước 630*347*400mm và trọng lượng chỉ 54 kg cho phép lắp đặt dễ dàng trong môi trường phòng sạch bị hạn chế về không gian.
• Hoạt động êm ái: Mức độ tiếng ồn ≤65 dB với bộ giảm thanh và van một chiều tích hợp, đảm bảo môi trường làm việc thoải mái.
• Cấu trúc chắc chắn: Vỏ hợp kim nhôm và gang với các vòng đệm fluoroelastomer (FKM) đảm bảo độ tin cậy lâu dài và khả năng tương thích hóa học.
• Giao diện tiêu chuẩn KF: Kết nối đầu vào KF40 và đầu ra KF25 cho phép lắp ráp nhanh chóng, không cần dụng cụ với các bộ phận chân không tiêu chuẩn.