logo
SUZHOU KACO VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD. scorpiosyy@foxmail.com
GRH3001 3000 M³/H dry type vacuum pump with Permanent Magnet Synchronous Motor

Máy bơm chân không khô GRH3001 3000 M³/H với động cơ đồng bộ nam châm vĩnh cửu

Sản phẩm - Bơm chân không khô
  • Làm nổi bật

    Máy bơm chân không khô động cơ nam châm vĩnh cửu

    ,

    Máy bơm chân không khô 3000 m³/h

    ,

    Bơm chân không khô bán dẫn PV

  • Loại máy bơm
    Bơm chân không khô
  • Tốc độ bơm
    3000 m³/giờ
  • Áp lực tối đa
    .50,5 Pa
  • Loại động cơ
    Động cơ đồng bộ nam châm vĩnh cửu (PMSM)
  • Công suất định mức
    11+7,5 kW
  • Điện áp
    380V ba pha
  • Nhiệt độ nước làm mát
    5-30 ° C.
  • Dòng nước làm mát
    ≥11 L/phút
  • Dòng thanh lọc N2
    43-123 L/phút
  • Kết nối đầu vào
    ISO160
  • Kết nối đầu ra
    KF40
  • Độ ồn
    ≤70 ĐB(A)
  • Cân nặng
    770 kg
  • Kích thước (L×W×H)
    922×516×988 mm
  • Giao diện điều khiển
    I/O và RS485 (Giao thức Modbus)
  • Hệ thống niêm phong
    Bịt Môi + Bịt Mê Cung với N2 Purge
  • Nguồn gốc
    Trung Quốc
  • Hàng hiệu
    GRH
  • Chứng nhận
    ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
  • Số mô hình
    GRH3001
  • Số lượng đặt hàng tối thiểu
    1 bộ
  • Giá bán
    USD 18,000-25,000 / Set
  • chi tiết đóng gói
    Vỏ gỗ dán xuất khẩu có lớp chống ẩm kín chân không và lớp xốp chống sốc
  • Thời gian giao hàng
    15-30 ngày làm việc
  • Điều khoản thanh toán
    T/T, L/C, Western Union
  • Khả năng cung cấp
    500 bộ mỗi tháng

Máy bơm chân không khô GRH3001 3000 M³/H với động cơ đồng bộ nam châm vĩnh cửu

  • GRH3001 3000 M³/H dry type vacuum pump with Permanent Magnet Synchronous Motor
Nhận giá Liên hệ với bây giờ

GRH3001 Máy bơm chân không khô

GRH3001 là một máy bơm chân không khô 3000 m3/h được xây dựng cho sản xuất bán dẫn và quang điện quy mô trung bình đến lớn.và tiêu thụ năng lượng thấp cho hiệu suất khối lượng lớn đáng tin cậy.

Các đặc điểm chính

  • Động cơ đồng bộ nam châm vĩnh cửu ️ Cung cấp hiệu quả năng lượng cao hơn và tiêu thụ năng lượng thấp hơn so với động cơ cảm ứng thông thường.
  • Cấu trúc Rotor tiên tiến Khả năng loại bỏ bụi được cải thiện, làm cho máy bơm chịu đựng cao khí quá trình chứa hạt.
  • Khả năng chịu bụi và hơi nướcKhông nhạy cảm với bụi và hơi nước bị hút vào dòng khí bơm.
  • Thiết kế nhỏ gọn và tích hợp¢ Bức chân nhỏ với sự tích hợp hệ thống cao để dễ dàng lắp đặt trong môi trường nhà máy đông đúc.
  • Bảo vệ toàn diện️ Các chức năng bảo vệ tích hợp với khả năng thích nghi mạnh mẽ cho các điều kiện quy trình khác nhau.
  • Động lực và tiếng ồn thấp️ Hoạt động ở mức ≤70 dB (A) ở áp suất tối đa cho một nơi làm việc yên tĩnh hơn.
  • Hệ thống niêm phong tiên tiến¢ Bấm kín môi và niêm phong mê cung kết hợp với thanh lọc nitơ có hiệu quả ngăn chặn dầu ngược dòng, đảm bảo độ sạch chân không cao trong buồng quy trình.
  • Điều khiển và giám sát từ xaHỗ trợ giao diện I / O và giao tiếp RS485 (định lệ Modbus) để tích hợp liền mạch vào các hệ thống tự động hóa nhà máy.

Thông số kỹ thuật

Parameter Thông số kỹ thuật
Tốc độ bơm 3000 m3/h
Áp lực tối đa ≤ 0,5 Pa
Năng lượng định giá 11+7,5 kW
Điện áp 380V ba pha
Áp suất nước làm mát 0.2-0.6 MPa
Dòng nước làm mát ≥ 11 l/min
Nhiệt độ nước làm mát 5-30 °C
Kết nối nước làm mát G3/8
N2 áp suất thanh lọc 0.2-0.6 MPa
Dòng thanh lọc N2 43-123 L/min
Kết nối thanh lọc N2 G1/4
Kết nối đầu vào ISO160
Kết nối ổ cắm KF40
Mức tiếng ồn ≤ 70 dB ((A)
Môi trường hoạt động 5 ~ 40 °C; ≤ 80% RH
Trọng lượng 770 kg
Kích thước (L*W*H) 922*516*988 mm

Quá trình nộp đơn

Các quy trình sạch

Load-Lock, Transfer, Metrology, Lithography

Các quy trình trung bình

Quá trình PVD, PVD Pre-Clean, RTA, Strip/Ashing, Oxide Etch, Silicon Etch, Implant Source, Metal Etch

Các quy trình khắc nghiệt

HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD

Các ngành mục tiêu

  • Máy bán dẫn:Chụp khắc, cấy ghép ion, CVD và các ứng dụng quy trình sạch, trung bình và khắc nghiệt khác.
  • Photovoltaic:Các lò phát triển tinh thể, quy trình sản xuất tế bào.
  • Pin lithium:Các quá trình sấy khô tế bào, lấp đầy chất điện giải và khử khí.
  • Màn hình màn hình phẳng & đèn LED:Các quy trình sản xuất đòi hỏi môi trường chân không có độ sạch cao.
thẻ:

Máy bơm chân không khô không dầu

PMSM Động cơ tiết kiệm năng lượng

RS485 Kiểm soát điều khiển từ xa

Những sảm phẩm tương tự

Sản phẩm của chúng tôi được bán trên toàn thế giới. Bạn có thể yên tâm về toàn bộ quá trình sản xuất sản phẩm của chúng tôi.

Nhận báo giá