-
Làm nổi bật
Bơm chân không khô ba pha 380V
,Bơm chân không khô 1800 m³/h
,Bơm chân không khô cho quy trình bán dẫn
-
Loại máy bơmBơm chân không khô
-
Tốc độ bơm1800 m³/h
-
Áp lực tối đa.50,5 Pa
-
Loại động cơĐộng cơ đồng bộ nam châm vĩnh cửu (PMSM)
-
Công suất định mức7,5+4,5 kW
-
Điện áp380V ba pha
-
Nhiệt độ nước làm mát10-30°C
-
Dòng nước làm mát6 lít/phút
-
Dòng thanh lọc N24-96 L/phút
-
Kết nối đầu vàoISO160
-
Kết nối đầu raKF40
-
Độ ồn＜70 dB(A)
-
Cân nặng472kg
-
Kích thước (L×W×H)935×420×795 mm
-
Giao diện điều khiểnI/O và RS485 (Giao thức Modbus)
-
Hệ thống niêm phongBịt Môi + Bịt Mê Cung với N2 Purge
-
Nguồn gốcTrung Quốc
-
Hàng hiệuGRH
-
Chứng nhậnISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
-
Số mô hìnhGRH1802
-
Số lượng đặt hàng tối thiểu1 bộ
-
Giá bánUSD 12,000-18,000 / Set
-
chi tiết đóng góiVỏ gỗ dán xuất khẩu có lớp chống ẩm kín chân không và lớp xốp chống sốc
-
Thời gian giao hàng15-30 ngày làm việc
-
Điều khoản thanh toánT/T, L/C, Western Union
-
Khả năng cung cấp500 bộ mỗi tháng
Bơm chân không khô ba pha 380V GRH1802 1800 M³/H
Máy bơm chân không khô GRH1802
GRH1802 là máy bơm chân không khô 1800 m³/h được thiết kế cho các quy trình bán dẫn và quang điện đòi hỏi khắt khe. Với buồng bơm không dầu, diện tích nhỏ gọn và tiêu thụ năng lượng thấp, máy mang lại hiệu suất đáng tin cậy với khả năng xử lý bụi mạnh mẽ.
Tính năng chính
- Động cơ đồng bộ nam châm vĩnh cửu — Cung cấp hiệu quả năng lượng vượt trội và tiêu thụ điện năng thấp hơn so với động cơ cảm ứng thông thường.
- Cấu trúc rôto tiên tiến — Khả năng hút bụi được cải thiện, giúp máy bơm có khả năng chịu đựng cao đối với khí quy trình chứa nhiều hạt.
- Chịu được bụi và hơi nước — Không bị ảnh hưởng bởi bụi và hơi nước cuốn theo trong dòng khí được bơm.
- Thiết kế nhỏ gọn và tích hợp — Diện tích nhỏ với khả năng tích hợp hệ thống cao, dễ dàng lắp đặt trong môi trường nhà máy chật chội.
- Bảo vệ toàn diện — Chức năng bảo vệ tích hợp với khả năng thích ứng mạnh mẽ với các điều kiện quy trình khác nhau.
- Độ rung và tiếng ồn thấp — Hoạt động ở mức <70 dB(A) ở áp suất cuối cùng, mang lại môi trường làm việc yên tĩnh hơn.
- Hệ thống làm kín tiên tiến — Phớt môi và phớt mê cung kết hợp với khí nitơ làm sạch hiệu quả ngăn chặn sự chảy ngược của dầu, đảm bảo độ sạch chân không cao trong buồng quy trình.
- Điều khiển và giám sát từ xa — Hỗ trợ giao diện I/O và giao tiếp RS485 (giao thức Modbus) để tích hợp liền mạch vào các hệ thống tự động hóa nhà máy.
Thông số kỹ thuật
| Thông số | Thông số kỹ thuật |
|---|---|
| Tốc độ hút | 1800 m³/h |
| Áp suất cuối cùng | ≤0.5 Pa |
| Công suất định mức | 7.5+4.5 kW |
| Điện áp | 380V Ba pha |
| Áp suất nước làm mát | 0.3-0.6 MPa |
| Lưu lượng nước làm mát | 6 L/min |
| Nhiệt độ nước làm mát | 10-30 °C |
| Kết nối nước làm mát | G3/8 |
| Áp suất khí N2 | 0.3-0.6 MPa |
| Lưu lượng khí N2 | 4-96 L/min |
| Kết nối khí N2 | G1/4 |
| Kết nối đầu vào | ISO160 |
| Kết nối đầu ra | KF40 |
| Mức độ tiếng ồn | <70 dB(A) |
| Môi trường hoạt động | 5~40°C; ≤80% RH |
| Trọng lượng | 472 kg |
| Kích thước (D*R*C) | 935*420*795 mm |
Quy trình ứng dụng
Quy trình sạch
Load-Lock, Transfer, Metrology, Lithography
Quy trình trung bình
Quy trình PVD, Tiền xử lý PVD, RTA, Strip/Ashing, Khắc Oxit, Khắc Silicon, Nguồn cấy, Khắc Kim loại
Quy trình khắc nghiệt
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
Ngành mục tiêu
- Bán dẫn: Khắc, cấy ion, CVD và các ứng dụng quy trình sạch, trung bình và khắc nghiệt khác.
- Quang điện: Lò nấu tinh thể, quy trình sản xuất pin.
- Pin Lithium: Quy trình sấy khô chân không pin, nạp điện giải và khử khí.
- Màn hình phẳng & LED: Quy trình sản xuất yêu cầu môi trường chân không có độ sạch cao.
Những sảm phẩm tương tự
Sản phẩm của chúng tôi được bán trên toàn thế giới. Bạn có thể yên tâm về toàn bộ quá trình sản xuất sản phẩm của chúng tôi.
