-
Làm nổi bật
Máy bơm chân không khô đầu vào ISO100
,Máy bơm chân không khô 600 m³/h
,Máy bơm chân không khô đầu ra KF25
-
Loại máy bơmBơm chân không khô
-
Tốc độ bơm600 m³/giờ
-
Áp lực tối đa.150,15 Pa
-
Loại động cơĐộng cơ đồng bộ nam châm vĩnh cửu (PMSM)
-
Công suất định mức1,9+1,9 kW
-
Điện áp380V ba pha
-
Nhiệt độ nước làm mát5-30 ° C.
-
Dòng nước làm mát≥4 L/phút
-
Dòng thanh lọc N212-50 L/phút
-
Kết nối đầu vàoISO100
-
Kết nối đầu raKF25
-
Độ ồn63 dB(A)
-
Cân nặng260 kg
-
Kích thước (L×W×H)865×344×751 mm
-
Giao diện điều khiểnI/O và RS485 (Giao thức Modbus)
-
Hệ thống niêm phongBịt Môi + Bịt Mê Cung với N2 Purge
-
Khả năng tương thích khíKhí quá trình dễ cháy, nổ và ngưng tụ
-
Nguồn gốcTrung Quốc
-
Hàng hiệuGRM
-
Chứng nhậnISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
-
Số mô hìnhGRM601
-
Số lượng đặt hàng tối thiểu1 bộ
-
Giá bánUSD 8,000-13,000 / Set
-
chi tiết đóng góiVỏ gỗ dán xuất khẩu có lớp chống ẩm kín chân không và lớp xốp chống sốc
-
Thời gian giao hàng15-30 ngày làm việc
-
Điều khoản thanh toánT/T, L/C, Western Union
-
Khả năng cung cấp300 bộ mỗi tháng
Máy bơm chân không khô GRM601 600 M³/H ISO100 KF25
Máy bơm chân không khô GRM601
GRM601 là một máy bơm chân không khô 600 m 3 / h cung cấp tiêu thụ năng lượng thấp và tốc độ bơm cao. Nó xử lý an toàn khí quá trình dễ cháy, nổ và ngưng tụ, được thiết kế cho PECVD, MOCVD,và các quy trình bán dẫn SIC-CVD.
Các đặc điểm chính
- Động cơ đồng bộ từ vĩnh cửu ️ Mang lại hiệu quả năng lượng vượt trội với mức tiêu thụ năng lượng thấp hàng đầu trong ngành.
- Cấu trúc rotor tiên tiến Khả năng loại bỏ bụi được cải thiện đảm bảo hoạt động đáng tin cậy trong môi trường quá trình nặng hạt.
- Khả năng chịu bụi và hơi nướcKhông nhạy cảm với bụi và hơi nước bị hút vào dòng khí bơm.
- Thiết kế nhỏ gọn và tích hợp¢ Bức chân nhỏ với sự tích hợp hệ thống cao để dễ dàng lắp đặt trong môi trường nhà máy đông đúc.
- Bảo vệ toàn diện️ Các chức năng bảo vệ tích hợp với khả năng thích nghi mạnh mẽ cho các điều kiện quy trình khác nhau.
- Động lực và tiếng ồn thấp️ Hoạt động ở mức ≤63 dB ((A) ở áp suất tối đa cho một nơi làm việc yên tĩnh hơn.
- Hệ thống niêm phong tiên tiến¢ Bấm kín môi và niêm phong mê cung kết hợp với thanh lọc nitơ có hiệu quả ngăn chặn dầu ngược dòng, duy trì độ sạch chân không cao trong buồng quy trình.
- Điều khiển và giám sát từ xaHỗ trợ giao diện I / O và giao tiếp RS485 (định lệ Modbus) để tích hợp liền mạch vào các hệ thống tự động hóa nhà máy.
- Khả năng tương thích với khí độc️ Hoạt động an toàn với khí quá trình dễ cháy, nổ và ngưng tụ.
Thông số kỹ thuật
| Parameter | Thông số kỹ thuật |
|---|---|
| Tốc độ bơm | 600 m3/h |
| Áp lực tối đa | ≤ 0,15 Pa |
| Năng lượng định giá | 1.9+1.9 kW |
| Điện áp | 380V ba pha |
| Áp suất nước làm mát | 0.2-0.6 MPa |
| Dòng nước làm mát | ≥4 L/min |
| Nhiệt độ nước làm mát | 5-30 °C |
| Kết nối nước làm mát | G3/8 |
| N2 áp suất thanh lọc | 0.2-0.6 MPa |
| Dòng thanh lọc N2 | 12-50 l/phút |
| Kết nối thanh lọc N2 | G1/4 |
| Kết nối đầu vào | ISO100 |
| Kết nối ổ cắm | KF25 |
| Mức tiếng ồn | ≤ 63 dB ((A) |
| Môi trường hoạt động | 5 ~ 40 °C; ≤ 80% RH |
| Trọng lượng | 260 kg |
| Kích thước (L*W*H) | 865*344*751 mm |
Quá trình nộp đơn
Các quy trình sạch
Load-Lock, Transfer, Metrology, Lithography
Các quy trình trung bình
Quá trình PVD, PVD Pre-Clean, RTA, Strip/Ashing, Oxide Etch, Silicon Etch, Implant Source, Metal Etch
Các quy trình khắc nghiệt
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
Các ngành mục tiêu
- Máy bán dẫn:Chụp, cấy ghép ion, CVD, PECVD, MOCVD và SIC-CVD ứng dụng quá trình sạch / trung bình / khắc nghiệt.
- Photovoltaic:Các lò phát triển tinh thể, quy trình sản xuất tế bào.
- Pin lithium:Các quá trình sấy khô tế bào, lấp đầy chất điện giải và khử khí.
- Màn hình màn hình phẳng & đèn LED:Các quy trình sản xuất đòi hỏi môi trường chân không có độ sạch cao.
Những sảm phẩm tương tự
Sản phẩm của chúng tôi được bán trên toàn thế giới. Bạn có thể yên tâm về toàn bộ quá trình sản xuất sản phẩm của chúng tôi.
