-
Làm nổi bật
Máy bơm chân không khô không dầu
,Máy bơm chân không khô 6000 m3/h
,Máy bơm chân không khô ba pha
-
Loại máy bơmBơm chân không khô
-
Tốc độ bơm6000 m3/h
-
Áp lực tối đa.50,5 Pa
-
Loại động cơĐộng cơ đồng bộ nam châm vĩnh cửu (PMSM)
-
Công suất định mức11+7,5 kW
-
Điện áp380V ba pha
-
Nhiệt độ nước làm mát5-30 ° C.
-
Dòng nước làm mát≥11 L/phút
-
Dòng thanh lọc N243-123 L/phút
-
Kết nối đầu vàoISO250
-
Kết nối đầu raKF40
-
Độ ồn≤70 ĐB(A)
-
Cân nặng846 kg
-
Kích thước (L×W×H)1076×516×988 mm
-
Giao diện điều khiểnI/O và RS485 (Giao thức Modbus)
-
Hệ thống niêm phongBịt Môi + Bịt Mê Cung với N2 Purge
-
Nguồn gốcTrung Quốc
-
Hàng hiệuGRH
-
Chứng nhậnISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
-
Số mô hìnhGRH6001
-
Số lượng đặt hàng tối thiểu1 bộ
-
Giá bánUSD 25,000-35,000 / Set
-
chi tiết đóng góiVỏ gỗ dán xuất khẩu có lớp chống ẩm kín chân không và lớp xốp chống sốc
-
Thời gian giao hàng15-30 ngày làm việc
-
Điều khoản thanh toánT/T, L/C, Western Union
-
Khả năng cung cấp500 bộ mỗi tháng
GRH6001 6000 M3/H Máy bơm chạy khô không dầu 380V Ba pha
Máy bơm chân không khô GRH6001
GRH6001 là máy bơm chân không khô dung tích lớn 6000 m³/h được thiết kế cho các dây chuyền sản xuất bán dẫn và quang điện quy mô lớn. Máy có buồng bơm không dầu, kích thước nhỏ gọn và tiêu thụ năng lượng thấp cho các ứng dụng yêu cầu khối lượng lớn.
Các tính năng chính
- Động cơ đồng bộ nam châm vĩnh cửu — Cung cấp hiệu suất năng lượng vượt trội và tiêu thụ điện năng thấp hơn so với động cơ cảm ứng thông thường.
- Cấu trúc rôto tiên tiến — Khả năng hút bụi được cải thiện, giúp máy bơm có khả năng chịu đựng cao đối với khí quy trình chứa nhiều hạt.
- Chịu được bụi và hơi nước — Không bị ảnh hưởng bởi bụi và hơi nước cuốn theo trong dòng khí được bơm.
- Thiết kế nhỏ gọn và tích hợp — Kích thước nhỏ với khả năng tích hợp hệ thống cao, dễ dàng lắp đặt trong môi trường nhà máy chật chội.
- Bảo vệ toàn diện — Chức năng bảo vệ tích hợp với khả năng thích ứng mạnh mẽ cho các điều kiện quy trình khác nhau.
- Độ rung và tiếng ồn thấp — Hoạt động ở mức ≤70 dB(A) ở áp suất cuối cùng, mang lại môi trường làm việc yên tĩnh hơn.
- Hệ thống làm kín tiên tiến — Phớt môi và phớt mê cung kết hợp với khí nitơ làm sạch ngăn chặn hiệu quả sự chảy ngược của dầu, đảm bảo độ sạch chân không cao trong buồng quy trình.
- Điều khiển và giám sát từ xa — Hỗ trợ giao diện I/O và giao tiếp RS485 (giao thức Modbus) để tích hợp liền mạch vào các hệ thống tự động hóa nhà máy.
Thông số kỹ thuật
| Thông số | Thông số kỹ thuật |
|---|---|
| Tốc độ bơm | 6000 m³/h |
| Áp suất cuối cùng | ≤0.5 Pa |
| Công suất định mức | 11+7.5 kW |
| Điện áp | 380V Ba pha |
| Áp suất nước làm mát | 0.2-0.6 MPa |
| Lưu lượng nước làm mát | ≥11 L/min |
| Nhiệt độ nước làm mát | 5-30 °C |
| Kết nối nước làm mát | G3/8 |
| Áp suất khí N2 làm sạch | 0.2-0.6 MPa |
| Lưu lượng khí N2 làm sạch | 43-123 L/min |
| Kết nối khí N2 làm sạch | G1/4 |
| Kết nối đầu vào | ISO250 |
| Kết nối đầu ra | KF40 |
| Mức độ tiếng ồn | ≤70 dB(A) |
| Môi trường hoạt động | 5~40°C; ≤80% RH |
| Trọng lượng | 846 kg |
| Kích thước (D*R*C) | 1076*516*988 mm |
Các quy trình ứng dụng
Quy trình sạch
Load-Lock, Transfer, Metrology, Lithography
Quy trình trung bình
Quy trình PVD, Tiền xử lý PVD, RTA, Strip/Ashing, Khắc Oxit, Khắc Silicon, Nguồn cấy, Khắc Kim loại
Quy trình khắc nghiệt
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
Các ngành công nghiệp mục tiêu
- Bán dẫn: Khắc, cấy ion, CVD và các ứng dụng quy trình sạch, trung bình và khắc nghiệt khác.
- Quang điện: Lò nấu tinh thể, các quy trình sản xuất tế bào.
- Pin Lithium: Quy trình sấy chân không tế bào, đổ đầy chất điện phân và khử khí.
- Màn hình phẳng & LED: Các quy trình sản xuất yêu cầu môi trường chân không có độ sạch cao.
Những sảm phẩm tương tự
Sản phẩm của chúng tôi được bán trên toàn thế giới. Bạn có thể yên tâm về toàn bộ quá trình sản xuất sản phẩm của chúng tôi.
