logo
SUZHOU KACO VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD. scorpiosyy@foxmail.com
GRM4201 Dry Vacuum Pump 4200 M³/H Oil Free PMSM Drive ISO160 KF50 For HJT Lithium Battery

Máy bơm chân không khô GRM4201 4200 M³/H Truyền động PMSM không dầu ISO160 KF50 Dành cho Pin Lithium HJT

  • Làm nổi bật

    Máy bơm chân không khô không dầu

    ,

    Máy bơm chân không khô 4200 m³/h

    ,

    Máy bơm chân không khô Pin Lithium HJT

  • Loại máy bơm
    Bơm chân không khô
  • Tốc độ bơm
    4200 m³/giờ
  • Áp lực tối đa
    .50,5 Pa
  • Loại động cơ
    Động cơ đồng bộ nam châm vĩnh cửu (PMSM)
  • Công suất định mức
    13+10 kW
  • Điện áp
    380V ba pha
  • Nhiệt độ nước làm mát
    5-25°C
  • Dòng nước làm mát
    8-10 L/phút
  • Dòng thanh lọc N2
    0-120 L/phút
  • Kết nối đầu vào
    ISO160
  • Kết nối đầu ra
    KF50
  • Độ ồn
    ≤75 dB (a)
  • Cân nặng
    269kg
  • Kích thước (L×W×H)
    1695×600×1450mm
  • Giao diện điều khiển
    I/O và RS485 (Giao thức Modbus)
  • Hệ thống niêm phong
    Bịt Môi + Bịt Mê Cung với N2 Purge
  • Thiết kế vòng bi
    Hỗ trợ vòng bi hai đầu
  • Chế độ điều khiển
    PLC thông minh với nút khởi động/dừng một nút
  • Nguồn gốc
    Trung Quốc
  • Hàng hiệu
    GRM
  • Chứng nhận
    ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018, CE, ETL
  • Số mô hình
    GRM4201
  • Số lượng đặt hàng tối thiểu
    1 bộ
  • Giá bán
    USD 25,000-45,000 / Set
  • chi tiết đóng gói
    Vỏ gỗ dán xuất khẩu có lớp chống ẩm kín chân không và lớp xốp chống sốc
  • Thời gian giao hàng
    25-40 ngày làm việc
  • Điều khoản thanh toán
    T/T, L/C, Western Union
  • Khả năng cung cấp
    100 bộ mỗi tháng

Máy bơm chân không khô GRM4201 4200 M³/H Truyền động PMSM không dầu ISO160 KF50 Dành cho Pin Lithium HJT

Máy bơm chân không khô GRM4201

GRM4201 là một máy bơm chân không khô công suất cao 4200 m3/h đạt được mức chân không đặc biệt với phạm vi áp suất làm việc rộng và xử lý bụi vượt trội.Động cơ hoàn toàn kín, làm mát bằng nước, và điều khiển một nút PLC thông minh, nó lý tưởng cho sản xuất pin HJT, sản xuất pin lithium và sơ tán nhanh Load-Lock bán dẫn.

Các đặc điểm chính

  • Động cơ đồng bộ nam châm vĩnh cửu được làm mát bằng nước kín hoàn toàn với động cơ VFD tối đa hóa công suất mô-men xoắn cho các quy trình đòi hỏi cao trong khi loại bỏ rủi ro rò rỉ dầu.
  • Thiết kế rotor độc đáo được sản xuất trên thiết bị tiên tiến với độ chính xác hình học tuyệt vời, hoàn toàn thay thế cho tiếng ồn thấp và tuổi thọ kéo dài.
  • Khả năng chịu bụi và hơi nướcKhông nhạy cảm với bụi và hơi nước bị hút vào dòng khí bơm.
  • Thiết kế nhỏ gọn và tích hợp¢ Bức chân nhỏ với sự tích hợp hệ thống cao để dễ dàng lắp đặt trong môi trường nhà máy đông đúc.
  • Bảo vệ toàn diện️ Các chức năng bảo vệ tích hợp với khả năng thích nghi mạnh mẽ cho các điều kiện quy trình khác nhau.
  • Động lực và tiếng ồn thấp️ Hoạt động ở mức ≤75 dB ((A) ở áp suất tối đa cho một nơi làm việc yên tĩnh hơn.
  • Hệ thống niêm phong tiên tiến ️ Bấm kín môi tiên tiến với rào cản dầu mê cung cấp hiệu suất niêm phong vượt trội và tuổi thọ kéo dài.ngăn ngừa ô nhiễm môi trường quá trình của hồ chứa dầu, đạt được một môi trường chân không hoàn toàn không dầu.
  • Điều khiển và giám sát từ xaHỗ trợ giao diện I / O và giao tiếp RS485 (định lệ Modbus) để tích hợp liền mạch vào các hệ thống tự động hóa nhà máy.
  • Thiết kế hỗ trợ vòng bi hai đầuCung cấp hỗ trợ rotor đáng tin cậy, rung động cực kỳ thấp và độ tin cậy khởi động vượt trội, làm cho nó lý tưởng cho các điều kiện quy trình khắc nghiệt.
  • Động cơ được làm mát bằng nước kín hoàn toàn- PMSM hiệu quả cao với động cơ VFD tối đa hóa công suất mô-men xoắn.
  • Hệ thống điều khiển PLC thông minh¢ Lập trình thông minh cho phép khởi động / dừng bằng một nút. Hỗ trợ giao diện I / O bên ngoài và giao tiếp RS485 (Protocol Modbus-RTU) để tích hợp điều khiển từ xa và giám sát.

Thông số kỹ thuật

Parameter Thông số kỹ thuật
Tốc độ bơm 4200 m3/h
Áp lực tối đa ≤ 0,5 Pa
Năng lượng định giá 13+10 kW
Điện áp 380V ba pha
Áp suất nước làm mát 0.2-0.5 MPa
Dòng nước làm mát 8-10 l/phút
Nhiệt độ nước làm mát 5-25 °C
Kết nối nước làm mát G3/8
N2 áp suất thanh lọc 0.1-0.7 MPa
Dòng thanh lọc N2 0-120 L/min
Kết nối thanh lọc N2 G1/4
Kết nối đầu vào ISO160
Kết nối ổ cắm KF50
Mức tiếng ồn ≤ 75 dB ((A)
Môi trường hoạt động 5 ~ 40 °C; ≤ 80% RH
Trọng lượng 269 kg
Kích thước (L*W*H) 1695*600*1450 mm

Quá trình nộp đơn

Các quy trình sạch

Load-Lock, Transfer, Metrology, Lithography

Các quy trình trung bình

Quá trình PVD, PVD Pre-Clean, RTA, Strip/Ashing, Oxide Etch, Silicon Etch, Implant Source, Metal Etch

Các quy trình khắc nghiệt

HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD

Các ngành mục tiêu

  • Phòng pin mặt trời Heterojunction (HJT):Yêu cầu chân không trong quá trình PECVD.
  • Lithium Battery Industrial:Sấy chân không quy mô lớn và xử lý chất điện giải.
  • Máy bán dẫn:Load-Lock sơ tán nhanh và xử lý khoang thô.
  • Lớp phủ chân không:Ứng dụng khóa tải hệ thống lớp phủ PVD/CVD công nghiệp.