GRM4201 là một máy bơm chân không khô công suất cao 4200 m3/h đạt được mức chân không đặc biệt với phạm vi áp suất làm việc rộng và xử lý bụi vượt trội.Động cơ hoàn toàn kín, làm mát bằng nước, và điều khiển một nút PLC thông minh, nó lý tưởng cho sản xuất pin HJT, sản xuất pin lithium và sơ tán nhanh Load-Lock bán dẫn.
| Parameter | Thông số kỹ thuật |
|---|---|
| Tốc độ bơm | 4200 m3/h |
| Áp lực tối đa | ≤ 0,5 Pa |
| Năng lượng định giá | 13+10 kW |
| Điện áp | 380V ba pha |
| Áp suất nước làm mát | 0.2-0.5 MPa |
| Dòng nước làm mát | 8-10 l/phút |
| Nhiệt độ nước làm mát | 5-25 °C |
| Kết nối nước làm mát | G3/8 |
| N2 áp suất thanh lọc | 0.1-0.7 MPa |
| Dòng thanh lọc N2 | 0-120 L/min |
| Kết nối thanh lọc N2 | G1/4 |
| Kết nối đầu vào | ISO160 |
| Kết nối ổ cắm | KF50 |
| Mức tiếng ồn | ≤ 75 dB ((A) |
| Môi trường hoạt động | 5 ~ 40 °C; ≤ 80% RH |
| Trọng lượng | 269 kg |
| Kích thước (L*W*H) | 1695*600*1450 mm |
Load-Lock, Transfer, Metrology, Lithography
Quá trình PVD, PVD Pre-Clean, RTA, Strip/Ashing, Oxide Etch, Silicon Etch, Implant Source, Metal Etch
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD