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ハイライト
乾燥式真空ポンプシステム GRM41
,PMSM エネルギー効率の良い駆動ポンプ
,半導体真空コーティング溶液
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モデルGRM41
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タイプドライ真空ポンプシステム
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最大排気速度600 L/分 (36 m3/h)
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到達圧力（ガスバラストオープン）≤10Pa
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到達圧力（ガスバラスト閉）≤1Pa
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最大連続入口圧力1000のmbar
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排気圧力≤3000Pa
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モーター出力0.75 kW
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モーターの種類PMSM (常磁気同期モーター)
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電源200-240V、単相、50/60Hz
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定格電流2.4 A
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インレット接続KF40
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コンセント接続KF25
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ガスバラスト接続PT1/4
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ガスバラスト圧力0.02～0.05MPa
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最大水蒸気容量350g/h
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騒音レベル≤65 dB
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油量0.25 L
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重さ54 kg
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寸法630×347×400mm
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保護クラスIP20D
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制御インターフェースRS485リモートモニタリング
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周囲温度5〜40 °C
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起源の場所浙江省、中国
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ブランド名OEM
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モデル番号GRM41
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最小注文数量1セット
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価格negotiable
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パッケージの詳細耐衝撃フォームインサートと真空密閉防湿層を備えた輸出グレードの合板ケース
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受渡し時間注文確認後15〜30営業日
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支払条件T/T
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供給の能力月200セット
GRM41 ドライ真空ポンプシステム 600 L/min KF40 PMSM 半導体真空コーティングのためのエネルギー効率の良い駆動
GRM41 ドライ真空ポンプシステム
GRM41は 高性能で油のない乾燥真空ポンプシステムで 半導体製造,太陽光電池製造,プラットパネル・ディスプレイの製造電力効率の良いPMSM (パーマンマグネット同期モーター) で装備され,出力は0.75kWこのコンパクトなシステムは,最大圧 ≤ 1 Pa で,印象的な 600 L/min (36 m3/h) の最大ポンプ速度を達成します.RS485のリモートモニタリングインターフェイスが組み込まれていて,自動生産環境へのシームレスな統合が可能になります.
主要 な 特徴
- PMSM エネルギー効率の良いドライブ:常磁気同期モーター技術は,高性能を維持しながら,運用コストを削減し,0.75 kWの消費電力で優れたエネルギー効率を提供します.
- 油のない乾燥操作:プロセス室では油汚染の危険性がなく,半導体および太陽光発電の製造に必要な超清潔な真空条件を保証します.
- 高真空性能:極圧 ≤1 Pa (ガスのバルラストは閉ざされた) と ≤10 Pa (ガスのバルラストは開いた) を達成し,高真空要求のアプリケーションに適しています.
- 統合ガス弾筋システム:PT1/4接続の組み込みガス弾圧弁は,水蒸気を最大350g/hまで処理し,凝縮を防止し,ポンプ使用寿命を延長します.
- RS485 リモートモニタリングインテリジェント制御インターフェイスは,リモート操作,パラメータモニタリング,およびIndustry 4.0統合のための診断機能をサポートします.
- コンパクトで軽量デザイン:630*347*400mmの寸法とわずか54kgの重さにより,スペースが限られたクリーンルーム環境でも簡単に設置できます.
- 低騒音操作:騒音レベル ≤65 dB 統合されたサイレンサーとチェックバルブで,快適な作業環境を保証します.
- 頑丈な建築アルミ合金と鋳鉄のホイジングで,フッ素エラストーマー (FKM) 密封は長期の信頼性と化学的互換性を保証します.
- KF標準インターフェース:標準の真空コンポーネントで迅速で道具なしで組み立てられるKF40入口とKF25排気接続.
テクニカル仕様
| パラメータ | 仕様 |
|---|---|
| モデル | GRM41 |
| タイプ | ドライ真空ポンプシステム |
| 最大ポンプ速度 | 600 L/min (36 m3/h) |
| 極限圧 (ガスの弾筋開け) | ≤10 Pa |
| 最終圧 (ガスの弾筋が閉ざされた) | ≤1 Pa |
| 最大連続入口圧 | 1000 mbar |
| 排気圧 | ≤3000 Pa |
| モーターパワー | 0.75kW |
| エンジンの種類 | PMSM (常磁気同期モーター) |
| 電源 | 200-240V,単相,50/60Hz |
| 定位電流 | 2.4 A |
| 入口接続 | KF40 |
| ストローク接続 | KF25 |
| ガスバラスト接続 | PT1/4 |
| ガスの弾筋圧 | 0.02-0.05 MPa |
| 最大水蒸気容量 | 350g/h |
| 騒音レベル | ≤65 dB |
| オイル・ボリューム | 0.25L |
| 体重 | 54kg |
| サイズ (L*W*H) | 630*347*400 mm |
| 保護クラス | IP20D |
| 制御インターフェース | RS485 リモートモニタリング |
| 環境温度 | 5〜40 °C |
典型的な用途
- 半導体ウエフルの加工及び製造
- 光電池製造 (PVD,PECVD,エッチング)
- 平面ディスプレイとOLEDの生産
- バキュームコーティングと薄膜堆積
- 研究および研究室の高真空システム
- レーザーと光学産業
- 分析機器のサポートポンプ
- 負荷ロック室の避難
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