GRM601 600 M3/H 乾燥真空ポンプ ISO100 KF25

主な特長

• 永久磁石同期モーター — 業界をリードする低消費電力で優れたエネルギー効率を実現します。
• 先進的なローター構造 — 粉塵除去能力が向上し、粒子が多いプロセス環境での信頼性の高い動作を保証します。
• 粉塵・水蒸気耐性 — ポンプガス流に混入する粉塵や水蒸気に影響されません。
• コンパクトで統合された設計 — 省スペース設計と高いシステム統合性により、混雑したファブ環境への設置が容易です。
• 包括的な保護機能 — 内蔵された保護機能と、変化するプロセス条件への強力な適応能力を備えています。
• 低振動・低騒音 — 最終到達圧力で≤63 dB(A)の低騒音を実現し、より静かな作業環境を提供します。
• 先進的なシールシステム — リップシールとラビリンスシールを窒素パージと組み合わせることで、オイルの逆流を効果的に防止し、プロセスチャンバー内の高真空清浄度を維持します。
• リモート制御・監視 — I/OインターフェースとRS485通信（Modbusプロトコル）をサポートし、ファクトリーオートメーションシステムとのシームレスな統合を実現します。
• 有害ガス対応 — 可燃性、爆発性、凝縮性のプロセスガスでの安全な動作を実現します。