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ハイライト
オイルフリードライ真空ポンプ
,4200 m3/h 乾燥真空ポンプ
,HJT リチウム電池乾燥真空ポンプ
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ポンプの種類乾燥式真空ポンプ
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排気速度4200m3/h
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到達圧力≤0.5Pa
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モーターの種類永久磁石同期モーター (PMSM)
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定格電力13+10kW
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電圧380V三相
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冷却水温5〜25 °C
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冷却水の流れ8～10L/分
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N2パージフロー0～120L/分
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インレット接続ISO160
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コンセント接続KF50
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騒音レベル≤75db（a）
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重さ269のKG
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寸法（l×w×h）1695×600×1450mm
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制御インターフェースI/O および RS485 (Modbus プロトコル)
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シーリングシステムリップシール＋ラビリンスシール（N2パージ付）
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軸承設計デュアルエンドベアリングサポート
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制御モードワンボタンでスタート/ストップできるスマート PLC
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起源の場所中国
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ブランド名GRM
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証明ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018, CE, ETL
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モデル番号GRM4201
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最小注文数量1セット
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価格USD 25,000-45,000 / Set
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パッケージの詳細真空密閉防湿層と耐衝撃フォームインサートを備えた輸出グレードの合板ケース
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受渡し時間25～40営業日
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支払条件T/T、L/C、ウェスタンユニオン
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供給の能力毎月100セット
GRM4201 ドライ真空ポンプ 4200 M3/H オイルフリー PMSM ドライブ ISO160 KF50 HJT リチウム電池用
GRM4201 乾燥式真空ポンプ
GRM4201は,高容量4200m3/hの乾燥真空ポンプで,広範な作業圧力範囲と優れた塵処理で例外的な真空レベルを達成します.水冷完全密閉モーターHJT電池製造,リチウム電池製造,半導体ロードロック迅速避難に最適です.
主要 な 特徴
- VFD駆動付き,水冷蔵された完全密封型永久磁石同期モーターは,油漏出リスクを排除しながら,要求の高いプロセスでトルク出力を最大化します.
- 優れた幾何学的精度を持つ先進機器で製造されたユニークなローター設計 低騒音と延長使用寿命のために完全に交換可能
- 塵や水蒸気に耐えるポンプされたガス流に吸収される塵や水蒸気には敏感ではありません.
- コンパクト で 統合 さ れ た 設計密集した工場環境での安装を容易にするため,システム統合が高く,小さな足跡があります.
- 総合 的 な 保護組み込み保護機能があり,さまざまなプロセス条件に適応する能力が強い.
- 低振動 と 騒音静かな作業場のために最大圧で ≤75 dB (A) で動作します.
- 先進的な密封システム迷路式オイルバリア付きの高度な唇密封は,優れた密封性能と延長使用寿命を提供します.窒素ガス密封浄化と組み合わせると,オイル貯蔵庫のプロセスメディアの汚染を防止する完全に油のない真空環境を実現します
- 遠隔制御と監視工場自動化システムへのシームレスな統合のために,I/OインターフェイスとRS485通信 (Modbusプロトコル) をサポートします.
- 双端ベアリングサポート設計信頼性の高いローターサポート,非常に低い振動,優れた起動信頼性を提供し,厳しいプロセス条件に理想的です.
- 水冷蔵型完全密封型モーター◎ VFD駆動の高効率のPMSMは,トルク出力を最大化します.完全に密閉されたモーター設計は,油漏出リスクをなくし,運用信頼性を向上させ,使用寿命を延長します.
- インテリジェントPLC制御システムスマートプログラミングは1ボタンのスタート/ストップを可能にします.リモコン制御とモニタリング統合のための外部I/OインターフェイスとRS485通信 (Modbus-RTUプロトコル) をサポートします.
テクニカル仕様
| パラメータ | 仕様 |
|---|---|
| パンプ速度 | 4200 m3/h |
| 究極 の 圧力 | ≤0.5 Pa |
| 定数電源 | 13+10 kW |
| 電圧 | 380V 三相 |
| 冷却水圧 | 0.2-0.5 MPa |
| 冷却水流量 | 8〜10L/分 |
| 冷却水温 | 5〜25 °C |
| 冷却水接続 | G3/8 |
| N2 浄化圧 | 0.1-0.7 MPa |
| N2 浄化流量 | 0〜120L/分 |
| N2 浄化接続 | G1/4 |
| 入口接続 | ISO160 |
| ストローク接続 | KF50 |
| 騒音レベル | ≤75 dB (A) |
| 操作環境 | 5~40°C; RH ≤80% |
| 体重 | 269kg |
| サイズ (L*W*H) | 1695*600*1450ミリ |
申請プロセス
清潔 な プロセス
ロードロック,転送,メトロロジー,リトグラフィー
中途半端なプロセス
PVD プロセス,PVD プレクリーン,RTA,ストライプ/アッシュ,オキシドエッチ,シリコンエッチ,インプラントソース,金属エッチ
厳しい 裁判
HDP-CVD,RTP,SACVD,MOCVD,PECVD,LPCVD,ALD
対象産業
- ヘテロジャンクション (HJT) 太陽電池:PECVD プロセスの真空要件
- リチウム電池工業:大規模な真空乾燥と電解質処理
- 半導体:ロードロック 迅速な避難と処理室の粗悪化
- バキュームコーティング:産業用PVD/CVDコーティングシステムロードロックアプリケーション
