GRH3001 3000 M3/H 固磁気同期モーター付き乾式真空ポンプ

主な特徴

• 永久磁石同期モーター — 従来の誘導モーターと比較して、優れたエネルギー効率と低消費電力を実現します。
• 先進的なローター構造 — 粉塵除去能力が向上し、粒子を含むプロセスガスに対するポンプの耐性が高まります。
• 粉塵・水蒸気耐性 — ポンプされるガス流に混入する粉塵や水蒸気の影響を受けません。
• コンパクトで統合された設計 — 省スペース設計でシステム統合性が高く、混雑したファブ環境への設置が容易です。
• 包括的な保護機能 — 内蔵された保護機能と、様々なプロセス条件に対応する強力な適応能力を備えています。
• 低振動・低騒音 — 真空到達時でも≤70 dB(A)の低騒音で、より静かな作業環境を提供します。
• 先進的なシールシステム — リップシールとラビリンスシールを窒素パージと組み合わせることで、オイルの逆流を効果的に防止し、プロセスチャンバー内の高真空清浄度を保証します。
• リモート制御・監視 — I/OインターフェースおよびRS485通信（Modbusプロトコル）をサポートし、ファクトリーオートメーションシステムとのシームレスな統合が可能です。