logo
SUZHOU KACO VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD. scorpiosyy@foxmail.com
GRM41 Dry Vacuum Pump System 600 L/min KF40 PMSM Energy Efficient Drive for Semiconductor Vacuum Coating

GRM41 Sistem Pompa Vakum Kering 600 L/menit KF40 PMSM Drive hemat energi untuk Lapisan Vakum Semikonduktor

  • Menyoroti

    Sistem pompa vakum kering GRM41

    ,

    PMSM Pump Drive Efisiensi Energi

    ,

    Solusi Lapisan Vakuum Semikonduktor

  • Model
    GRM41
  • Jenis
    Sistem Pompa Vakum Kering
  • Kecepatan Pemompaan Maksimum
    600 L/mnt (36 m³/jam)
  • Tekanan Ultimate (Gas Ballast Terbuka)
    T/T,L/C,D/P,D/A
  • Tekanan Ultimate (Gas Ballast Tertutup)
    ≤1 Pa
  • Tekanan Masuk Kontinyu Maks
    1000 mbar
  • Tekanan buang
    ≤3000Pa
  • Tenaga Motorik
    0,75 kW
  • Tipe Motor
    PMSM (motor sinkron magnet permanen)
  • Catu daya
    200-240V, Fase Tunggal, 50/60Hz
  • Nilai Saat Ini
    2.4 A
  • Koneksi Saluran Masuk
    KF40
  • Koneksi outlet
    KF25
  • Sambungan Pemberat Gas
    PT1/4
  • Tekanan Pemberat Gas
    0,02-0,05 MPa
  • Kapasitas Uap Air Maks
    350 gram/jam
  • Tingkat Kebisingan
    ≤65 dB
  • volume minyak
    0,25 liter
  • Berat
    54 kg
  • Ukuran
    630×347×400mm
  • Kelas Perlindungan
    IP20D
  • Antarmuka Kontrol
    Pemantauan Jarak Jauh RS485
  • Suhu lingkungan
    5-40 °C
  • Tempat asal
    Zhejiang, Tiongkok
  • Nama merek
    OEM
  • Nomor model
    GRM41
  • Kuantitas min Order
    1 set
  • Harga
    negotiable
  • Kemasan rincian
    Kotak kayu lapis kelas ekspor dengan sisipan busa tahan guncangan dan penghalang kelembapan yang dis
  • Waktu pengiriman
    15-30 hari kerja setelah konfirmasi pesanan
  • Syarat-syarat pembayaran
    T/T
  • Menyediakan kemampuan
    200 set per bulan

GRM41 Sistem Pompa Vakum Kering 600 L/menit KF40 PMSM Drive hemat energi untuk Lapisan Vakum Semikonduktor

Sistem pompa vakum kering GRM41

GRM41 adalah sistem pompa vakum kering bebas minyak berkinerja tinggi yang dirancang untuk menuntut proses vakum kemurnian tinggi dalam pembuatan semikonduktor, produksi sel fotovoltaik,dan pembuatan layar datarDilengkapi dengan PMSM (Permanent Magnet Synchronous Motor) penggerak hemat energi memberikan output 0,75 kW,Sistem kompak ini mencapai kecepatan pompa maksimum 600 L/min (36 m3/h) yang mengesankan dengan tekanan akhir ≤1 PaAntarmuka pemantauan jarak jauh RS485 yang terintegrasi memungkinkan integrasi yang mulus ke dalam lingkungan produksi otomatis.

Fitur Utama

  • PMSM Drive hemat energi:Teknologi motor sinkron magnet permanen memberikan efisiensi energi yang unggul dengan konsumsi daya 0,75 kW, mengurangi biaya operasi sambil mempertahankan kinerja tinggi.
  • Operasi kering bebas minyak:Tidak ada risiko kontaminasi minyak di ruang proses, memastikan kondisi vakum ultra-bersih yang penting untuk pembuatan semikonduktor dan fotovoltaik.
  • Kinerja vakum tinggi:Mencapai tekanan akhir ≤1 Pa (balas gas tertutup) dan ≤10 Pa (balas gas terbuka), cocok untuk aplikasi vakum tinggi yang menuntut.
  • Sistem Balast Gas Terintegrasi:Katup ballast gas built-in dengan koneksi PT1/4 menangani uap air hingga 350 g/jam, mencegah kondensasi dan memperpanjang umur layanan pompa.
  • RS485 Remote Monitoring:Antarmuka kontrol cerdas mendukung operasi jarak jauh, pemantauan parameter, dan kemampuan diagnostik untuk integrasi Industri 4.0.
  • Desain ringan kompak:Dimensi 630*347*400mm dan berat hanya 54 kg memungkinkan pemasangan mudah di lingkungan kamar bersih yang terbatas ruang.
  • Operasi Low Noise:Tingkat kebisingan ≤65 dB dengan silencer terintegrasi dan katup kontrol, memastikan lingkungan kerja yang nyaman.
  • Konstruksi Kuat:Alloy aluminium dan casing besi cor dengan segel fluoroelastomer (FKM) memastikan keandalan jangka panjang dan kompatibilitas kimia.
  • Interface standar KF:Koneksi inlet KF40 dan exhaust KF25 untuk pemasangan cepat tanpa alat dengan komponen vakum standar.

Spesifikasi Teknis

ParameterSpesifikasi
ModelGRM41
JenisSistem Pompa Vakum kering
Kecepatan Pumping Maksimal600 L/menit (36 m3/jam)
Tekanan akhir (Gas ballast terbuka)≤ 10 Pa
Tekanan akhir (Gas ballast tertutup)≤ 1 Pa
Tekanan masukan terus menerus maksimum1000 mbar
Tekanan knalpot≤ 3000 Pa
Kekuatan motor00,75 kW
Jenis mesinPMSM (Permanent Magnet Synchronous Motor)
Sumber Daya200-240V, Fase Tunggal, 50/60Hz
Listrik nominal2.4 A
Koneksi InletKF40
Koneksi outletKF25
Sambungan ballast gasPT1/4
Tekanan Ballast Gas0.02-0.05 MPa
Kapasitas uap air maksimum350 g/jam
Tingkat Kebisingan≤ 65 dB
Volume minyak0.25 L
Berat badan54 kg
Dimensi (L*W*H)630*347*400 mm
Kelas PerlindunganIP20D
Antarmuka KontrolRS485 Remote Monitoring
Suhu Lingkungan5-40 °C

Aplikasi Tipikal

  • Pengolahan dan pembuatan wafer semikonduktor
  • Pembuatan sel fotovoltaik (PVD, PECVD, etching)
  • Tampilan layar datar dan produksi OLED
  • Lapisan vakum dan deposisi film tipis
  • Sistem vakum tinggi penelitian dan laboratorium
  • Industri laser dan optik
  • Pompa pendukung instrumen analitik
  • Evakuasi ruang kunci beban