-
Menyoroti
Pompa vakum kering bebas oli
,Pompa vakum kering 6000 m³/jam
,Pompa vakum kering Tiga Fasa
-
Tipe PompaPompa vakum kering
-
Kecepatan Pemompaan6000 m3/jam
-
Tekanan Tertinggi≤0,5Pa
-
Tipe MotorMotor Sinkron Magnet Permanen (PMSM)
-
Nilai Daya11+7,5kW
-
Voltase380V Tiga Fase
-
Suhu air pendingin5-30 ° C.
-
Aliran Air Pendingin≥11 liter/menit
-
Aliran Pembersihan N243-123 liter/menit
-
Koneksi Saluran MasukISO250
-
Koneksi outletKF40
-
Tingkat Kebisingan≤70DB(A)
-
Berat846kg
-
Dimensi (P×L×T)1076×516×988mm
-
Antarmuka KontrolI/O dan RS485 (Protokol Modbus)
-
Sistem penyegelanSegel Bibir + Segel Labirin dengan N2 Purge
-
Tempat asalCina
-
Nama merekGRH
-
SertifikasiISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
-
Nomor modelGRH6001
-
Kuantitas min Order1 set
-
HargaUSD 25,000-35,000 / Set
-
Kemasan rincianKotak kayu lapis kelas ekspor dengan penghalang kelembapan bersegel vakum dan sisipan busa tahan gun
-
Waktu pengiriman15-30 hari kerja
-
Syarat-syarat pembayaranT/T, L/C, Western Union
-
Menyediakan kemampuan500 set per bulan
Pompa GRH6001 6000 M³/H Berjalan Kering Bebas Minyak 380V Tiga Fasa
Pompa Vakum Kering GRH6001
GRH6001 adalah pompa vakum kering berkapasitas tinggi 6000 m³/jam yang direkayasa untuk lini produksi semikonduktor dan fotovoltaik skala besar. Pompa ini memiliki ruang pompa bebas oli, jejak kaki yang ringkas, dan konsumsi energi rendah untuk aplikasi bervolume tinggi yang menuntut.
Fitur Utama
- Motor Sinkron Magnet Permanen — Memberikan efisiensi energi yang unggul dan konsumsi daya yang lebih rendah dibandingkan motor induksi konvensional.
- Struktur Rotor Canggih — Kemampuan ekstraksi debu yang ditingkatkan, membuat pompa sangat toleran terhadap gas proses yang sarat partikulat.
- Toleran Terhadap Debu dan Uap Air — Tidak terpengaruh oleh debu dan uap air yang terbawa dalam aliran gas yang dipompa.
- Desain Ringkas dan Terintegrasi — Jejak kaki kecil dengan integrasi sistem tinggi untuk pemasangan yang mudah di lingkungan pabrik yang padat.
- Perlindungan Komprehensif — Fungsi perlindungan bawaan dengan kemampuan adaptif yang kuat untuk kondisi proses yang bervariasi.
- Getaran dan Kebisingan Rendah — Beroperasi pada ≤70 dB(A) pada tekanan akhir untuk tempat kerja yang lebih tenang.
- Sistem Penyegelan Canggih — Segel bibir dan segel labirin yang dikombinasikan dengan pembersihan nitrogen secara efektif mencegah aliran balik oli, memastikan kebersihan vakum tinggi di ruang proses.
- Kontrol dan Pemantauan Jarak Jauh — Mendukung antarmuka I/O dan komunikasi RS485 (protokol Modbus) untuk integrasi yang mulus ke dalam sistem otomatisasi pabrik.
Spesifikasi Teknis
| Parameter | Spesifikasi |
|---|---|
| Kecepatan Pemompaan | 6000 m³/jam |
| Tekanan Akhir | ≤0,5 Pa |
| Daya Terukur | 11+7,5 kW |
| Tegangan | 380V Tiga Fasa |
| Tekanan Air Pendingin | 0,2-0,6 MPa |
| Aliran Air Pendingin | ≥11 L/menit |
| Suhu Air Pendingin | 5-30 °C |
| Koneksi Air Pendingin | G3/8 |
| Tekanan Pembersihan N2 | 0,2-0,6 MPa |
| Aliran Pembersihan N2 | 43-123 L/menit |
| Koneksi Pembersihan N2 | G1/4 |
| Koneksi Saluran Masuk | ISO250 |
| Koneksi Saluran Keluar | KF40 |
| Tingkat Kebisingan | ≤70 dB(A) |
| Lingkungan Operasi | 5~40°C; ≤80% RH |
| Berat | 846 kg |
| Dimensi (P*L*T) | 1076*516*988 mm |
Proses Aplikasi
Proses Bersih
Load-Lock, Transfer, Metrologi, Litografi
Proses Sedang
Proses PVD, Pra-Pembersihan PVD, RTA, Strip/Ashing, Etch Oksida, Etch Silikon, Sumber Implan, Etch Logam
Proses Keras
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
Industri Target
- Semikonduktor: Etching, implantasi ion, CVD, dan aplikasi proses bersih, sedang, dan keras lainnya.
- Fotovoltaik: Tungku pertumbuhan kristal, proses manufaktur sel.
- Baterai Lithium: Proses pengeringan vakum sel, pengisian elektrolit, dan degassing.
- Layar Panel Datar & LED: Proses manufaktur yang membutuhkan lingkungan vakum kebersihan tinggi.
Produk-produk terkait
Produk kami dijual di seluruh dunia. Anda dapat yakin dengan seluruh proses produk kami.
