-
Menyoroti
Pompa vakum kering inlet ISO100
,Pompa vakum kering 600 m³/jam
,Pompa vakum kering outlet KF25
-
Tipe PompaPompa vakum kering
-
Kecepatan Pemompaan600 m³/jam
-
Tekanan Tertinggi≤0,15 Pa
-
Tipe MotorMotor Sinkron Magnet Permanen (PMSM)
-
Nilai Daya1,9+1,9kW
-
Voltase380V tiga fase
-
Suhu air pendingin5-30 ° C.
-
Aliran Air Pendingin≥4 liter/menit
-
Aliran Pembersihan N212-50 liter/menit
-
Koneksi Saluran MasukISO100
-
Koneksi outletKF25
-
Tingkat Kebisingan≤63dB(A)
-
Berat260 kg
-
Dimensi (P×L×T)865×344×751mm
-
Antarmuka KontrolI/O dan RS485 (Protokol Modbus)
-
Sistem penyegelanSegel Bibir + Segel Labirin dengan N2 Purge
-
Kompatibilitas GasGas proses yang mudah terbakar, meledak, dan dapat terkondensasi
-
Tempat asalCina
-
Nama merekGRM
-
SertifikasiISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
-
Nomor modelGRM601
-
Kuantitas min Order1 set
-
HargaUSD 8,000-13,000 / Set
-
Kemasan rincianKotak kayu lapis kelas ekspor dengan penghalang kelembapan bersegel vakum dan sisipan busa tahan gun
-
Waktu pengiriman15-30 hari kerja
-
Syarat-syarat pembayaranT/T, L/C, Western Union
-
Menyediakan kemampuan300 set per bulan
Pompa Vakum Kering GRM601 600 M³/H ISO100 KF25
Pompa Vakum Kering GRM601
GRM601 adalah pompa vakum kering 600 m³/jam yang menawarkan konsumsi daya rendah dan kecepatan pemompaan tinggi. Pompa ini aman menangani gas proses yang mudah terbakar, meledak, dan dapat mengembun, direkayasa untuk proses semikonduktor PECVD, MOCVD, dan SIC-CVD.
Fitur Utama
- Motor Sinkron Magnet Permanen — Memberikan efisiensi energi superior dengan konsumsi daya rendah terkemuka di industri.
- Struktur Rotor Canggih — Kemampuan ekstraksi debu yang ditingkatkan memastikan operasi yang andal di lingkungan proses yang kaya partikulat.
- Toleran Terhadap Debu dan Uap Air — Tidak terpengaruh oleh debu dan uap air yang terbawa dalam aliran gas yang dipompa.
- Desain Ringkas dan Terintegrasi — Jejak kecil dengan integrasi sistem tinggi untuk pemasangan yang mudah di lingkungan pabrik yang padat.
- Perlindungan Komprehensif — Fungsi perlindungan bawaan dengan kemampuan adaptif yang kuat untuk kondisi proses yang bervariasi.
- Getaran dan Kebisingan Rendah — Beroperasi pada ≤63 dB(A) pada tekanan akhir untuk tempat kerja yang lebih tenang.
- Sistem Penyegelan Canggih — Segel bibir dan segel labirin dikombinasikan dengan pembersihan nitrogen secara efektif mencegah aliran balik minyak, menjaga kebersihan vakum tinggi di ruang proses.
- Kontrol dan Pemantauan Jarak Jauh — Mendukung antarmuka I/O dan komunikasi RS485 (protokol Modbus) untuk integrasi yang mulus ke dalam sistem otomatisasi pabrik.
- Kompatibel dengan Gas Berbahaya — Operasi aman dengan gas proses yang mudah terbakar, meledak, dan dapat mengembun.
Spesifikasi Teknis
| Parameter | Spesifikasi |
|---|---|
| Kecepatan Pemompaan | 600 m³/jam |
| Tekanan Akhir | ≤0,15 Pa |
| Daya Terukur | 1,9+1,9 kW |
| Tegangan | 380V Tiga Fasa |
| Tekanan Air Pendingin | 0,2-0,6 MPa |
| Aliran Air Pendingin | ≥4 L/menit |
| Suhu Air Pendingin | 5-30 °C |
| Koneksi Air Pendingin | G3/8 |
| Tekanan Pembersihan N2 | 0,2-0,6 MPa |
| Aliran Pembersihan N2 | 12-50 L/menit |
| Koneksi Pembersihan N2 | G1/4 |
| Koneksi Inlet | ISO100 |
| Koneksi Outlet | KF25 |
| Tingkat Kebisingan | ≤63 dB(A) |
| Lingkungan Operasi | 5~40°C; ≤80% RH |
| Berat | 260 kg |
| Dimensi (P*L*T) | 865*344*751 mm |
Proses Aplikasi
Proses Bersih
Load-Lock, Transfer, Metrologi, Litografi
Proses Sedang
Proses PVD, Pra-Pembersihan PVD, RTA, Strip/Ashing, Etch Oksida, Etch Silikon, Sumber Implan, Etch Logam
Proses Keras
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
Industri Target
- Semikonduktor: Aplikasi proses bersih/sedang/keras Etching, implantasi ion, CVD, PECVD, MOCVD, dan SIC-CVD.
- Fotovoltaik: Tungku pertumbuhan kristal, proses manufaktur sel.
- Baterai Lithium: Proses pengeringan vakum sel, pengisian elektrolit, dan degassing.
- Layar Datar & LED: Proses manufaktur yang membutuhkan lingkungan vakum kebersihan tinggi.
Produk-produk terkait
Produk kami dijual di seluruh dunia. Anda dapat yakin dengan seluruh proses produk kami.
