logo
SUZHOU KACO VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD. scorpiosyy@foxmail.com
GRM4201 Dry Vacuum Pump 4200 M³/H Oil Free PMSM Drive ISO160 KF50 For HJT Lithium Battery

Pompa Vakum Kering GRM4201 4200 M³/H Bebas Oli Penggerak PMSM ISO160 KF50 Untuk Baterai Lithium HJT

  • Menyoroti

    Pompa vakum kering bebas oli

    ,

    Pompa vakum kering 4200 m³/jam

    ,

    Pompa vakum kering Baterai Lithium HJT

  • Tipe Pompa
    Pompa vakum kering
  • Kecepatan Pemompaan
    4200 m³/jam
  • Tekanan Tertinggi
    ≤0,5Pa
  • Tipe Motor
    Motor Sinkron Magnet Permanen (PMSM)
  • Nilai Daya
    13+10kW
  • Voltase
    380V tiga fase
  • Suhu air pendingin
    5-25 °C
  • Aliran Air Pendingin
    8-10 liter/menit
  • Aliran Pembersihan N2
    0-120 L/menit
  • Koneksi Saluran Masuk
    ISO160
  • Koneksi outlet
    KF50
  • Tingkat Kebisingan
    ≤75 dB (a)
  • Berat
    269 ​​kg
  • Dimensi (P×L×T)
    1695×600×1450mm
  • Antarmuka Kontrol
    I/O dan RS485 (Protokol Modbus)
  • Sistem penyegelan
    Segel Bibir + Segel Labirin dengan N2 Purge
  • Desain bantalan
    Dukungan Bantalan Ujung Ganda
  • Modus Kontrol
    PLC Cerdas dengan Start/Stop Satu Tombol
  • Tempat asal
    Cina
  • Nama merek
    GRM
  • Sertifikasi
    ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018, CE, ETL
  • Nomor model
    GRM4201
  • Kuantitas min Order
    1 set
  • Harga
    USD 25,000-45,000 / Set
  • Kemasan rincian
    Kotak kayu lapis kelas ekspor dengan penghalang kelembapan bersegel vakum dan sisipan busa tahan gun
  • Waktu pengiriman
    25-40 hari kerja
  • Syarat-syarat pembayaran
    T/T, L/C, Western Union
  • Menyediakan kemampuan
    100 set per bulan

Pompa Vakum Kering GRM4201 4200 M³/H Bebas Oli Penggerak PMSM ISO160 KF50 Untuk Baterai Lithium HJT

GRM4201 Pompa vakum kering

GRM4201 adalah pompa vakum kering berkapasitas tinggi 4200 m3/h yang mencapai tingkat vakum yang luar biasa dengan rentang tekanan kerja yang luas dan penanganan debu yang unggul.motor dengan pendingin air tertutup penuh, dan kontrol satu tombol PLC cerdas, sangat ideal untuk pembuatan sel HJT, produksi baterai lithium, dan evakuasi cepat Load-Lock semikonduktor.

Fitur Utama

  • Motor sinkron magnet permanen yang didinginkan dengan air dengan VFD drive memaksimalkan output torsi untuk proses yang menuntut sementara menghilangkan risiko kebocoran minyak.
  • Desain rotor yang unik diproduksi pada peralatan canggih dengan presisi geometri yang sangat baik, sepenuhnya saling bergantian untuk kebisingan rendah dan umur layanan yang diperpanjang.
  • Toleransi debu dan uap airTidak sensitif terhadap debu dan uap air yang masuk ke aliran gas yang dipompa.
  • Desain Kompak dan Terintegrasi¢ Jarak kecil dengan integrasi sistem yang tinggi untuk pemasangan mudah di lingkungan pabrik yang ramai.
  • Perlindungan yang KomprehensifFungsi perlindungan bawaan dengan kemampuan adaptasi yang kuat untuk kondisi proses yang bervariasi.
  • Getaran dan Kebisingan Rendah️ Mengoperasikan pada ≤75 dB (A) pada tekanan akhir untuk tempat kerja yang lebih tenang.
  • Sistem Segel LanjutanPenutup bibir canggih dengan penghalang minyak labirin memberikan kinerja penyegelan yang unggul dan masa pakai yang diperpanjang.mencegah kontaminasi media proses dari waduk minyak, mencapai lingkungan vakum bebas minyak sepenuhnya.
  • Kontrol dan Pemantauan Jarak JauhMendukung antarmuka I/O dan komunikasi RS485 (protokol Modbus) untuk integrasi yang mulus ke dalam sistem otomatisasi pabrik.
  • Desain dukungan bantalan dua ujung¢ Menyediakan dukungan rotor yang dapat diandalkan, getaran yang sangat rendah, dan keandalan startup yang unggul, menjadikannya ideal untuk kondisi proses yang keras.
  • Motor dengan pendingin air yang tertutup penuhPMSM efisiensi tinggi dengan VFD drive memaksimalkan output torsi. Desain motor yang disegel sepenuhnya menghilangkan risiko kebocoran minyak, meningkatkan keandalan operasional dan memperpanjang umur layanan.
  • Sistem Kontrol PLC CerdasProgrammer cerdas memungkinkan start/stop satu tombol. Mendukung antarmuka I/O eksternal dan komunikasi RS485 (protokol Modbus-RTU) untuk integrasi remote control dan monitoring.

Spesifikasi Teknis

Parameter Spesifikasi
Kecepatan Pompa 4200 m3/jam
Tekanan Terakhir ≤ 0,5 Pa
Kekuatan nominal 13+10 kW
Tegangan 380V Tiga Fase
Tekanan Air Pendingin 0.2-0.5 MPa
Aliran Air Pendingin 8-10 L/menit
Suhu air pendingin 5-25 °C
Koneksi Air Pendingin G3/8
Tekanan pemurnian N2 0.1-0.7 MPa
Aliran Pembersihan N2 0-120 L/menit
N2 Pembersih Sambungan G1/4
Koneksi Inlet ISO160
Koneksi outlet KF50
Tingkat Kebisingan ≤ 75 dB (A)
Lingkungan Operasi 5~40°C; ≤80% RH
Berat badan 269 kg
Dimensi (L*W*H) 1695*600*1450 mm

Proses Aplikasi

Proses Bersih

Load-Lock, Transfer, Metrologi, Litografi

Proses Medium

Proses PVD, Pra-Pembersihan PVD, RTA, Strip/Ashing, Etch Oxide, Etch Silicon, Sumber Implan, Etch Metal

Proses yang Kekerasan

HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD

Industri sasaran

  • Sel Surya Heterojunction (HJT):Persyaratan vakum proses PECVD.
  • Baterai Lithium Industrial:Pengeringan vakum skala besar dan pengolahan elektrolit.
  • Semikonduktor:Load-Lock evakuasi cepat dan proses kamar kasar.
  • Lapisan vakum:Aplikasi penguncian beban sistem pelapis PVD/CVD industri.