GRM4201 adalah pompa vakum kering berkapasitas tinggi 4200 m3/h yang mencapai tingkat vakum yang luar biasa dengan rentang tekanan kerja yang luas dan penanganan debu yang unggul.motor dengan pendingin air tertutup penuh, dan kontrol satu tombol PLC cerdas, sangat ideal untuk pembuatan sel HJT, produksi baterai lithium, dan evakuasi cepat Load-Lock semikonduktor.
| Parameter | Spesifikasi |
|---|---|
| Kecepatan Pompa | 4200 m3/jam |
| Tekanan Terakhir | ≤ 0,5 Pa |
| Kekuatan nominal | 13+10 kW |
| Tegangan | 380V Tiga Fase |
| Tekanan Air Pendingin | 0.2-0.5 MPa |
| Aliran Air Pendingin | 8-10 L/menit |
| Suhu air pendingin | 5-25 °C |
| Koneksi Air Pendingin | G3/8 |
| Tekanan pemurnian N2 | 0.1-0.7 MPa |
| Aliran Pembersihan N2 | 0-120 L/menit |
| N2 Pembersih Sambungan | G1/4 |
| Koneksi Inlet | ISO160 |
| Koneksi outlet | KF50 |
| Tingkat Kebisingan | ≤ 75 dB (A) |
| Lingkungan Operasi | 5~40°C; ≤80% RH |
| Berat badan | 269 kg |
| Dimensi (L*W*H) | 1695*600*1450 mm |
Load-Lock, Transfer, Metrologi, Litografi
Proses PVD, Pra-Pembersihan PVD, RTA, Strip/Ashing, Etch Oxide, Etch Silicon, Sumber Implan, Etch Metal
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD