-
Menyoroti
380V Pompa vakum kering tiga fase
,Pompa vakum kering 1800 m3/h
,Semikonduktor Proses kering pompa vakum
-
Tipe PompaPompa vakum kering
-
Kecepatan Pemompaan1800 m³/jam
-
Tekanan Tertinggi≤0,5Pa
-
Tipe MotorMotor Sinkron Magnet Permanen (PMSM)
-
Nilai Daya7,5+4,5kW
-
Voltase380V Tiga Fase
-
Suhu air pendingin10-30 °C
-
Aliran Air Pendingin6 liter/menit
-
Aliran Pembersihan N24-96 liter/menit
-
Koneksi Saluran MasukISO160
-
Koneksi outletKF40
-
Tingkat Kebisingan＜70dB(A)
-
Berat472 kg
-
Dimensi (P×L×T)935×420×795 mm
-
Antarmuka KontrolI/O dan RS485 (Protokol Modbus)
-
Sistem penyegelanSegel Bibir + Segel Labirin dengan N2 Purge
-
Tempat asalCina
-
Nama merekGRH
-
SertifikasiISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
-
Nomor modelGRH1802
-
Kuantitas min Order1 set
-
HargaUSD 12,000-18,000 / Set
-
Kemasan rincianKotak kayu lapis kelas ekspor dengan penghalang kelembapan bersegel vakum dan sisipan busa tahan gun
-
Waktu pengiriman15-30 hari kerja
-
Syarat-syarat pembayaranT/T, L/C, Western Union
-
Menyediakan kemampuan500 set per bulan
Pompa vakum kering tiga fase 380V GRH1802 1800 M3/H
GRH1802 Pompa vakum kering
GRH1802 adalah pompa vakum kering 1800 m3/h yang dirancang untuk proses semikonduktor dan fotovoltaik yang menuntut.memberikan kinerja yang dapat diandalkan dengan kemampuan penanganan debu yang kuat.
Fitur Utama
- Motor Sinkron Magnetik Permanen ️ Menghasilkan efisiensi energi yang lebih tinggi dan konsumsi daya yang lebih rendah dibandingkan dengan motor induksi konvensional.
- Struktur Rotor Canggih Kemampuan ekstraksi debu yang ditingkatkan, membuat pompa sangat toleran terhadap gas proses yang sarat dengan partikel.
- Toleransi debu dan uap airTidak sensitif terhadap debu dan uap air yang masuk ke aliran gas yang dipompa.
- Desain Kompak dan Terintegrasi¢ Jarak kecil dengan integrasi sistem yang tinggi untuk pemasangan mudah di lingkungan pabrik yang ramai.
- Perlindungan yang KomprehensifFungsi perlindungan bawaan dengan kemampuan adaptasi yang kuat untuk kondisi proses yang bervariasi.
- Getaran dan Kebisingan RendahBeroperasi pada <70 dB (A) pada tekanan akhir untuk tempat kerja yang lebih tenang.
- Sistem Segel LanjutanPenutup bibir dan segel labirin dikombinasikan dengan pembersihan nitrogen secara efektif mencegah aliran balik minyak, memastikan kebersihan vakum yang tinggi di ruang proses.
- Kontrol dan Pemantauan Jarak JauhMendukung antarmuka I/O dan komunikasi RS485 (protokol Modbus) untuk integrasi yang mulus ke dalam sistem otomatisasi pabrik.
Spesifikasi Teknis
| Parameter | Spesifikasi |
|---|---|
| Kecepatan Pompa | 1800 m3/jam |
| Tekanan Terakhir | ≤ 0,5 Pa |
| Kekuatan nominal | 7.5 + 4,5 kW |
| Tegangan | 380V Tiga Fase |
| Tekanan Air Pendingin | 0.3-0.6 MPa |
| Aliran Air Pendingin | 6 L/menit |
| Suhu air pendingin | 10-30 °C |
| Koneksi Air Pendingin | G3/8 |
| Tekanan pemurnian N2 | 0.3-0.6 MPa |
| Aliran Pembersihan N2 | 4-96 L/menit |
| N2 Pembersih Sambungan | G1/4 |
| Koneksi Inlet | ISO160 |
| Koneksi outlet | KF40 |
| Tingkat Kebisingan | < 70 dB (A) |
| Lingkungan Operasi | 5~40°C; ≤80% RH |
| Berat badan | 472 kg |
| Dimensi (L*W*H) | 935*420*795 mm |
Proses Aplikasi
Proses Bersih
Load-Lock, Transfer, Metrologi, Litografi
Proses Medium
Proses PVD, Pra-Pembersihan PVD, RTA, Strip/Ashing, Etch Oxide, Etch Silicon, Sumber Implan, Etch Metal
Proses yang Kekerasan
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
Industri sasaran
- Semikonduktor:Etching, implantasi ion, CVD, dan aplikasi proses bersih, menengah, dan keras lainnya.
- Fotovoltaik:Tungku pertumbuhan kristal, proses pembuatan sel.
- Baterai lithium:Proses pengeringan vakum sel, pengisian elektrolit, dan penguras gas.
- Flat Panel Display & LED:Proses manufaktur yang membutuhkan lingkungan vakum dengan kebersihan tinggi.
Produk-produk terkait
Produk kami dijual di seluruh dunia. Anda dapat yakin dengan seluruh proses produk kami.
