-
Menyoroti
Pompa vakum kering semikonduktor
,Pompa vakum kering 1200 m3/h
,Pompa vakum kering fotovoltaik
-
Tipe PompaPompa vakum kering
-
Kecepatan Pemompaan1200 m³/jam
-
Tekanan Tertinggi≤0,5Pa
-
Tipe MotorMotor Sinkron Magnet Permanen (PMSM)
-
Nilai Daya7,5+1,9kW
-
Voltase380V tiga fase
-
Suhu air pendingin5-30 ° C.
-
Aliran Air Pendingin≥4,7 L/menit
-
Aliran Pembersihan N24-96 liter/menit
-
Koneksi Saluran MasukISO100
-
Koneksi outletKF40
-
Tingkat Kebisingan≤70DB(A)
-
Berat220kg
-
Dimensi (P×L×T)821×420×791 mm
-
Antarmuka KontrolI/O dan RS485 (Protokol Modbus)
-
Sistem penyegelanSegel Bibir + Segel Labirin dengan N2 Purge
-
Tempat asalCina
-
Nama merekGRH
-
SertifikasiISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
-
Nomor modelGRH1202
-
Kuantitas min Order1 set
-
HargaUSD 8,000-12,000 / Set
-
Kemasan rincianKotak kayu lapis kelas ekspor dengan penghalang kelembapan bersegel vakum dan sisipan busa tahan gun
-
Waktu pengiriman15-30 hari kerja
-
Syarat-syarat pembayaranT/T, L/C, Western Union
-
Menyediakan kemampuan500 set per bulan
GRH1202 1200 M3/H Pompa vakum kering untuk fotovoltaik semikonduktor
Pompa Vakum Kering GRH1202
GRH1202 adalah pompa vakum kering 1200 m³/jam yang direkayasa untuk proses manufaktur semikonduktor, fotovoltaik, dan baterai lithium. Pompa ini memiliki ruang pompa yang sepenuhnya bebas oli, jejak kaki yang ringkas, dan konsumsi energi yang rendah, memberikan kinerja yang andal dengan biaya kepemilikan total yang rendah.
Fitur Utama
- Motor Sinkron Magnet Permanen — Memberikan efisiensi energi yang unggul dan konsumsi daya yang lebih rendah dibandingkan motor induksi konvensional.
- Struktur Rotor Canggih — Kemampuan ekstraksi debu yang ditingkatkan, membuat pompa sangat toleran terhadap gas proses yang mengandung partikulat.
- Toleran Terhadap Debu dan Uap Air — Tidak terpengaruh oleh debu dan uap air yang terbawa dalam aliran gas yang dipompa.
- Desain Ringkas dan Terintegrasi — Jejak kaki kecil dengan integrasi sistem tinggi untuk pemasangan yang mudah di lingkungan pabrik yang padat.
- Perlindungan Komprehensif — Fungsi perlindungan bawaan dengan kemampuan adaptif yang kuat untuk kondisi proses yang bervariasi.
- Getaran dan Kebisingan Rendah — Beroperasi pada ≤70 dB(A) pada tekanan akhir untuk tempat kerja yang lebih tenang.
- Sistem Penyegelan Canggih — Segel bibir dan segel labirin yang dikombinasikan dengan pembersihan nitrogen secara efektif mencegah aliran balik oli, memastikan kebersihan vakum tinggi di ruang proses.
- Kontrol dan Pemantauan Jarak Jauh — Mendukung antarmuka I/O dan komunikasi RS485 (protokol Modbus) untuk integrasi yang mulus ke dalam sistem otomatisasi pabrik.
Spesifikasi Teknis
| Parameter | Spesifikasi |
|---|---|
| Kecepatan Pemompaan | 1200 m³/jam |
| Tekanan Akhir | ≤0,5 Pa |
| Daya Terukur | 7,5+1,9 kW |
| Tegangan | 380V Tiga Fasa |
| Tekanan Air Pendingin | 0,1-0,6 MPa |
| Aliran Air Pendingin | ≥4,7 L/menit |
| Suhu Air Pendingin | 5-30 °C |
| Koneksi Air Pendingin | G3/8 |
| Tekanan Pembersihan N2 | 0,2-0,6 MPa |
| Aliran Pembersihan N2 | 4-96 L/menit |
| Koneksi Pembersihan N2 | G1/4 |
| Koneksi Saluran Masuk | ISO100 |
| Koneksi Saluran Keluar | KF40 |
| Tingkat Kebisingan | ≤70 dB(A) |
| Lingkungan Operasi | 5~40°C; ≤80% RH |
| Berat | 220 kg |
| Dimensi (P*L*T) | 821*420*791 mm |
Proses Aplikasi
Proses Bersih
Load-Lock, Transfer, Metrologi, Litografi
Proses Sedang
Proses PVD, Pra-Pembersihan PVD, RTA, Strip/Ashing, Etch Oksida, Etch Silikon, Sumber Implan, Etch Logam
Proses Keras
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
Industri Target
- Semikonduktor: Etching, implantasi ion, CVD, dan aplikasi proses bersih, sedang, dan keras lainnya.
- Fotovoltaik: Tungku pertumbuhan kristal, proses manufaktur sel.
- Baterai Lithium: Proses pengeringan vakum sel, pengisian elektrolit, dan degassing.
- Layar Datar & LED: Proses manufaktur yang membutuhkan lingkungan vakum kebersihan tinggi.
Produk-produk terkait
Produk kami dijual di seluruh dunia. Anda dapat yakin dengan seluruh proses produk kami.
