जीआरएम41 ड्राई वैक्यूम पंप सिस्टम 600 एल/मिनट केएफ40 पीएसएमएसएम ऊर्जा कुशल ड्राइव सेमीकंडक्टर वैक्यूम कोटिंग के लिए

मुख्य विशेषताएं

• पीएसएम ऊर्जा कुशल ड्राइव: परमानेंट मैग्नेट सिंक्रोनस मोटर तकनीक 0.75 किलोवाट बिजली की खपत के साथ बेहतर ऊर्जा दक्षता प्रदान करती है, जिससे परिचालन लागत कम होती है और उच्च प्रदर्शन बना रहता है।
• तेल-मुक्त ड्राई ऑपरेशन: प्रक्रिया कक्षों में तेल संदूषण का कोई जोखिम नहीं, जो सेमीकंडक्टर और फोटोवोल्टिक निर्माण के लिए आवश्यक अल्ट्रा-क्लीन वैक्यूम स्थितियों को सुनिश्चित करता है।
• उच्च वैक्यूम प्रदर्शन: ≤1 पा (गैस बैलास्ट बंद) और ≤10 पा (गैस बैलास्ट खुला) की अंतिम दबाव प्राप्त करता है, जो मांग वाले उच्च-वैक्यूम अनुप्रयोगों के लिए उपयुक्त है।
• एकीकृत गैस बैलास्ट सिस्टम: पीटी1/4 कनेक्शन के साथ अंतर्निहित गैस बैलास्ट वाल्व 350 ग्राम/घंटा तक जल वाष्प को संभालता है, संघनन को रोकता है और पंप सेवा जीवन का विस्तार करता है।
• आरएस485 रिमोट मॉनिटरिंग: इंटेलिजेंट कंट्रोल इंटरफ़ेस उद्योग 4.0 एकीकरण के लिए रिमोट ऑपरेशन, पैरामीटर मॉनिटरिंग और डायग्नोस्टिक क्षमताओं का समर्थन करता है।
• कॉम्पैक्ट हल्का डिजाइन: 630*347*400 मिमी के आयाम और केवल 54 किलोग्राम वजन के साथ, यह स्थान-सीमित क्लीनरूम वातावरण में आसान स्थापना की अनुमति देता है।
• कम शोर ऑपरेशन: एकीकृत साइलेंसर और चेक वाल्व के साथ ≤65 डीबी का शोर स्तर, आरामदायक कार्य वातावरण सुनिश्चित करता है।
• मजबूत निर्माण: एल्यूमीनियम मिश्र धातु और कच्चा लोहा आवास फ्लोरोएलास्टोमर (एफकेएम) सील के साथ दीर्घकालिक विश्वसनीयता और रासायनिक संगतता सुनिश्चित करते हैं।
• केएफ मानक इंटरफेस: केएफ40 इनलेट और केएफ25 एग्जॉस्ट कनेक्शन मानक वैक्यूम घटकों के साथ त्वरित, टूल-फ्री असेंबली के लिए।