जीआरएम1201 एक 1200 एम³³/घंटा ड्राई वैक्यूम पंप है जिसमें कम बिजली की खपत और बड़े निकास मात्रा वाले अनुप्रयोगों के लिए उच्च पंपिंग गति है। यह ज्वलनशील, विस्फोटक और संघनित प्रक्रिया गैसों को संभालता है, जो मांग वाले पीईसीवीडी, एमओकवीडी और एसआईसी-सीवीडी प्रक्रियाओं के लिए डिज़ाइन किया गया है।
| पैरामीटर | विनिर्देश |
|---|---|
| पंपिंग गति | 1200 एम³³/घंटा |
| अंतिम दबाव | ≤0.15 पा |
| रेटेड पावर | 1.9+1.9 किलोवाट |
| वोल्टेज | 380वी तीन-चरण |
| कूलिंग वाटर प्रेशर | 0.2-0.6 एमपीए |
| कूलिंग वाटर फ्लो | ≥4 एल/मिनट |
| कूलिंग वाटर टेंपरेचर | 5-30 डिग्री सेल्सियस |
| कूलिंग वाटर कनेक्शन | जी3/8 |
| एन2 पर्ज प्रेशर | 0.2-0.6 एमपीए |
| एन2 पर्ज फ्लो | 12-50 एल/मिनट |
| एन2 पर्ज कनेक्शन | जी1/4 |
| इनलेट कनेक्शन | आईएसओ160 |
| आउटलेट कनेक्शन | केएफ25 |
| शोर स्तर | ≤63 डीबी (ए) |
| ऑपरेटिंग एनवायरनमेंट | 5~40 डिग्री सेल्सियस; ≤80% आरएच |
| वजन | 260 किग्रा |
| आयाम (एल*डब्ल्यू*एच) | 865*344*751 मिमी |
लोड-लॉक, ट्रांसफर, मेट्रोलॉजी, लिथोग्राफी
पीवीडी प्रक्रिया, पीवीडी प्री-क्लीन, आरटीए, स्ट्रिप/ऐशिंग, ऑक्साइड एच, सिलिकॉन एच, इम्प्लांट सोर्स, मेटल एच
एचडीपी-सीवीडी, आरटीपी, एसएसीवीडी, एमओकवीडी, पीईसीवीडी, एलपीसीवीडी, एएलडी