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GRM1201 1200 M³/H ISO160 KF25 Dry Pump For Semiconductor PV

GRM1201 1200 एम³/एच ISO160 KF25 सेमीकंडक्टर पीवी के लिए ड्राई पंप

  • प्रमुखता देना

    सेमीकंडक्टर पीवी ड्राई वैक्यूम पंप

    ,

    1200 एम³/एच ड्राई वैक्यूम पंप

    ,

    ISO160 KF25 ड्राई वैक्यूम पंप

  • पम्प प्रकार
    सूखी वैक्यूम पंप
  • पम्पिंग गति
    1200 m³/घंटा
  • परम दबाव
    ≤0.15 पा
  • मोटर प्रकार
    स्थायी चुंबक तुल्यकालिक मोटर (पीएमएसएम)
  • मूल्यांकित शक्ति
    1.9+1.9 किलोवाट
  • वोल्टेज
    380V तीन चरण
  • ठंडा पानी का तापमान
    5-30 डिग्री सेल्सियस
  • शीतल जल प्रवाह
    ≥4 एल/मिनट
  • N2 पर्ज फ्लो
    12-50 एल/मिनट
  • इनलेट कनेक्शन
    ISO160
  • आउटलेट कनेक्शन
    केएफ25
  • शोर स्तर
    ≤63 डीबी(ए)
  • वज़न
    260 किलोग्राम
  • आयाम (L × W × H)
    865×344×751 मिमी
  • नियंत्रण इंटरफ़ेस
    I/O और RS485 (मॉडबस प्रोटोकॉल)
  • सीलिंग प्रणाली
    लिप सील + एन2 पर्ज के साथ भूलभुलैया सील
  • गैस अनुकूलता
    ज्वलनशील, विस्फोटक और संघनित प्रक्रिया गैसें
  • उत्पत्ति के प्लेस
    चीन
  • ब्रांड नाम
    GRM
  • प्रमाणन
    ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
  • मॉडल संख्या
    जीआरएम1201
  • न्यूनतम आदेश मात्रा
    1 सेट
  • मूल्य
    USD 13,000-20,000 / Set
  • पैकेजिंग विवरण
    वैक्यूम-सील्ड नमी अवरोधक और शॉक-प्रूफ फोम डालने के साथ निर्यात-ग्रेड प्लाईवुड केस
  • प्रसव के समय
    15-30 कार्य दिवस
  • भुगतान शर्तें
    टी/टी, एल/सी, वेस्टर्न यूनियन
  • आपूर्ति की क्षमता
    प्रति माह 300 सेट

GRM1201 1200 एम³/एच ISO160 KF25 सेमीकंडक्टर पीवी के लिए ड्राई पंप

जीआरएम1201 ड्राई वैक्यूम पंप

जीआरएम1201 एक 1200 एम³³/घंटा ड्राई वैक्यूम पंप है जिसमें कम बिजली की खपत और बड़े निकास मात्रा वाले अनुप्रयोगों के लिए उच्च पंपिंग गति है। यह ज्वलनशील, विस्फोटक और संघनित प्रक्रिया गैसों को संभालता है, जो मांग वाले पीईसीवीडी, एमओकवीडी और एसआईसी-सीवीडी प्रक्रियाओं के लिए डिज़ाइन किया गया है।

मुख्य विशेषताएं

  • स्थायी चुंबक तुल्यकालिक मोटर — उद्योग-अग्रणी कम बिजली की खपत के साथ बेहतर ऊर्जा दक्षता प्रदान करता है।
  • उन्नत रोटर संरचना — कण-भारी प्रक्रिया वातावरण में विश्वसनीय संचालन सुनिश्चित करने वाली धूल निष्कर्षण क्षमता को बढ़ाया गया।
  • धूल और जल वाष्प सहिष्णु — पंप की गई गैस धारा में शामिल धूल और जल वाष्प के प्रति असंवेदनशील।
  • कॉम्पैक्ट और एकीकृत डिजाइन — भीड़भाड़ वाले फ़ैब वातावरण में आसान स्थापना के लिए उच्च सिस्टम एकीकरण के साथ छोटा पदचिह्न।
  • व्यापक सुरक्षा — विभिन्न प्रक्रिया स्थितियों के लिए मजबूत अनुकूलन क्षमता के साथ अंतर्निहित सुरक्षा कार्य।
  • कम कंपन और शोर — शांत कार्यस्थल के लिए अंतिम दबाव पर ≤63 डीबी (ए) पर संचालित होता है।
  • उन्नत सीलिंग प्रणाली — लिफ्ट सील और भूलभुलैया सील नाइट्रोजन पर्ज के साथ मिलकर प्रक्रिया कक्ष में उच्च वैक्यूम स्वच्छता बनाए रखते हुए तेल के बैक-स्ट्रीमिंग को प्रभावी ढंग से रोकता है।
  • रिमोट कंट्रोल और मॉनिटरिंग — फ़ैक्टरी स्वचालन प्रणालियों में निर्बाध एकीकरण के लिए आई/ओ इंटरफ़ेस और आरएस485 संचार (मोडबस प्रोटोकॉल) का समर्थन करता है।
  • खतरनाक गैस संगत — ज्वलनशील, विस्फोटक और संघनित प्रक्रिया गैसों के साथ सुरक्षित संचालन।

तकनीकी विनिर्देश

पैरामीटर विनिर्देश
पंपिंग गति 1200 एम³³/घंटा
अंतिम दबाव ≤0.15 पा
रेटेड पावर 1.9+1.9 किलोवाट
वोल्टेज 380वी तीन-चरण
कूलिंग वाटर प्रेशर 0.2-0.6 एमपीए
कूलिंग वाटर फ्लो ≥4 एल/मिनट
कूलिंग वाटर टेंपरेचर 5-30 डिग्री सेल्सियस
कूलिंग वाटर कनेक्शन जी3/8
एन2 पर्ज प्रेशर 0.2-0.6 एमपीए
एन2 पर्ज फ्लो 12-50 एल/मिनट
एन2 पर्ज कनेक्शन जी1/4
इनलेट कनेक्शन आईएसओ160
आउटलेट कनेक्शन केएफ25
शोर स्तर ≤63 डीबी (ए)
ऑपरेटिंग एनवायरनमेंट 5~40 डिग्री सेल्सियस; ≤80% आरएच
वजन 260 किग्रा
आयाम (एल*डब्ल्यू*एच) 865*344*751 मिमी

अनुप्रयोग प्रक्रियाएं

स्वच्छ प्रक्रियाएं

लोड-लॉक, ट्रांसफर, मेट्रोलॉजी, लिथोग्राफी

मध्यम प्रक्रियाएं

पीवीडी प्रक्रिया, पीवीडी प्री-क्लीन, आरटीए, स्ट्रिप/ऐशिंग, ऑक्साइड एच, सिलिकॉन एच, इम्प्लांट सोर्स, मेटल एच

कठोर प्रक्रियाएं

एचडीपी-सीवीडी, आरटीपी, एसएसीवीडी, एमओकवीडी, पीईसीवीडी, एलपीसीवीडी, एएलडी

लक्षित उद्योग

  • सेमीकंडक्टर: एचिंग, आयन इम्प्लांटेशन, सीवीडी, पीईसीवीडी, एमओकवीडी, और एसआईसी-सीवीडी क्लीन/मीडियम/हर्ष प्रक्रिया अनुप्रयोग।
  • फोटोवोल्टिक: क्रिस्टल ग्रोथ फर्नेस, सेल निर्माण प्रक्रियाएं।
  • लिथियम बैटरी: सेल वैक्यूम ड्राइंग, इलेक्ट्रोलाइट फिलिंग और डीगैसिंग प्रक्रियाएं।
  • फ्लैट पैनल डिस्प्ले और एलईडी: उच्च-स्वच्छता वैक्यूम वातावरण की आवश्यकता वाली निर्माण प्रक्रियाएं।