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SUZHOU KACO VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD. scorpiosyy@foxmail.com
380V Three Phase Dry Vacuum Pump GRH1802 1800 M³/H

380V थ्री फेज ड्राई वैक्यूम पंप GRH1802 1800 M3/H

  • प्रमुखता देना

    380V तीन चरण सूखे वैक्यूम पंप

    ,

    1800 m3/h सूखा वैक्यूम पंप

    ,

    अर्धचालक प्रक्रिया सूखी वैक्यूम पंप

  • पम्प प्रकार
    सूखी वैक्यूम पंप
  • पम्पिंग गति
    1800 मी³/घं
  • परम दबाव
    ≤0.5 पा
  • मोटर प्रकार
    स्थायी चुंबक तुल्यकालिक मोटर (पीएमएसएम)
  • मूल्यांकित शक्ति
    7.5+4.5 किलोवाट
  • वोल्टेज
    380V तीन चरण
  • ठंडा पानी का तापमान
    10-30 डिग्री सेल्सियस
  • शीतल जल प्रवाह
    6 एल/मिनट
  • N2 पर्ज फ्लो
    4-96 एल/मिनट
  • इनलेट कनेक्शन
    ISO160
  • आउटलेट कनेक्शन
    KF40
  • शोर स्तर
    <70 डीबी(ए)
  • वज़न
    472 किग्रा
  • आयाम (L × W × H)
    935×420×795 मिमी
  • नियंत्रण इंटरफ़ेस
    I/O और RS485 (मॉडबस प्रोटोकॉल)
  • सीलिंग प्रणाली
    लिप सील + एन2 पर्ज के साथ भूलभुलैया सील
  • उत्पत्ति के प्लेस
    चीन
  • ब्रांड नाम
    GRH
  • प्रमाणन
    ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
  • मॉडल संख्या
    जीआरएच1802
  • न्यूनतम आदेश मात्रा
    1 सेट
  • मूल्य
    USD 12,000-18,000 / Set
  • पैकेजिंग विवरण
    वैक्यूम-सील्ड नमी अवरोधक और शॉक-प्रूफ फोम डालने के साथ निर्यात-ग्रेड प्लाईवुड केस
  • प्रसव के समय
    15-30 कार्य दिवस
  • भुगतान शर्तें
    टी/टी, एल/सी, वेस्टर्न यूनियन
  • आपूर्ति की क्षमता
    प्रति माह 500 सेट

380V थ्री फेज ड्राई वैक्यूम पंप GRH1802 1800 M3/H

GRH1802 सूखा वैक्यूम पंप

GRH1802 एक 1800 m3/h सूखा वैक्यूम पंप है जो अर्धचालक और फोटोवोल्टिक प्रक्रियाओं के लिए डिज़ाइन किया गया है। तेल मुक्त पंप कक्ष, कॉम्पैक्ट पदचिह्न और कम ऊर्जा खपत के साथ,यह मजबूत धूल से निपटने की क्षमता के साथ विश्वसनीय प्रदर्शन प्रदान करता है.

प्रमुख विशेषताएं

  • स्थायी चुंबक सिंक्रोनस मोटर ️ पारंपरिक प्रेरण मोटर्स की तुलना में बेहतर ऊर्जा दक्षता और कम बिजली की खपत प्रदान करता है।
  • उन्नत रोटर संरचना ∙ धूल निकालने की क्षमता में सुधार, जिससे पंप कण-भारित प्रक्रिया गैसों के प्रति अत्यधिक सहिष्णु हो जाता है।
  • धूल और जल वाष्प सहनशीलपंप किए जाने वाले गैस प्रवाह में धूल और जल वाष्प के प्रति असंवेदनशील।
  • कॉम्पैक्ट और एकीकृत डिजाइनभीड़भाड़ वाले फैक्ट्री वातावरण में आसान स्थापना के लिए उच्च प्रणाली एकीकरण के साथ छोटा पदचिह्न।
  • व्यापक सुरक्षाविभिन्न प्रक्रिया स्थितियों के लिए मजबूत अनुकूलन क्षमता के साथ अंतर्निहित सुरक्षा कार्य।
  • कम कंपन और शोरयह काम करने की जगह को शांत बनाने के लिए <70 dB (A) पर काम करता है।
  • उन्नत सीलिंग प्रणालीनाइट्रोजन शुद्धिकरण के साथ मिलाकर होंठ सील और भूलभुलैया सील प्रभावी रूप से तेल के बैक-स्ट्रीम को रोकता है, जिससे प्रक्रिया कक्ष में उच्च वैक्यूम स्वच्छता सुनिश्चित होती है।
  • रिमोट कंट्रोल और निगरानीकारखाना स्वचालन प्रणालियों में निर्बाध एकीकरण के लिए I/O इंटरफ़ेस और RS485 संचार (Modbus प्रोटोकॉल) का समर्थन करता है।

तकनीकी विनिर्देश

पैरामीटर विनिर्देश
पंपिंग गति 1800 m3/h
अंतिम दबाव ≤0.5 Pa
नामित शक्ति 7.5+4.5 किलोवाट
वोल्टेज 380V तीन चरण
शीतलन जल का दबाव 0.3-0.6 एमपीए
शीतलन जल प्रवाह 6 लीटर/मिनट
शीतलन जल का तापमान 10-30 °C
शीतलन जल कनेक्शन G3/8
एन2 शुद्धिकरण दबाव 0.3-0.6 एमपीए
एन2 शुद्धिकरण प्रवाह 4 से 96 लीटर/मिनट
एन2 शुद्धिकरण कनेक्शन G1/4
इनलेट कनेक्शन आईएसओ 160
आउटलेट कनेक्शन KF40
शोर स्तर < 70 डीबी ((ए)
परिचालन वातावरण 5~40°C; ≤80% आरएच
वजन 472 किलो
आयाम (L*W*H) 935*420*795 मिमी

आवेदन प्रक्रियाएं

स्वच्छ प्रक्रियाएं

लोड-लॉक, ट्रांसफर, मेट्रोलॉजी, लिथोग्राफी

मध्यम प्रक्रियाएं

पीवीडी प्रक्रिया, पीवीडी पूर्व सफाई, आरटीए, स्ट्रिप/एशिंग, ऑक्साइड एच, सिलिकॉन एच, इम्प्लांट स्रोत, धातु एच

कठोर प्रक्रियाएँ

एचडीपी-सीवीडी, आरटीपी, एसएसीवीडी, एमओसीवीडी, पीईसीवीडी, एलपीसीवीडी, एएलडी

लक्षित उद्योग

  • अर्धचालक:उत्कीर्णन, आयन प्रत्यारोपण, सीवीडी और अन्य स्वच्छ, मध्यम और कठोर प्रक्रिया अनुप्रयोग।
  • फोटोवोल्टिक:क्रिस्टल विकास भट्टियां, कोशिका निर्माण प्रक्रियाएं।
  • लिथियम बैटरीःसेल वैक्यूम सुखाने, इलेक्ट्रोलाइट भरने और डीगैसिंग प्रक्रियाएं।
  • फ्लैट पैनल डिस्प्ले और एलईडीःउच्च स्वच्छता वाले वैक्यूम वातावरण की आवश्यकता वाली विनिर्माण प्रक्रियाएं।