GRH1802 एक 1800 m3/h सूखा वैक्यूम पंप है जो अर्धचालक और फोटोवोल्टिक प्रक्रियाओं के लिए डिज़ाइन किया गया है। तेल मुक्त पंप कक्ष, कॉम्पैक्ट पदचिह्न और कम ऊर्जा खपत के साथ,यह मजबूत धूल से निपटने की क्षमता के साथ विश्वसनीय प्रदर्शन प्रदान करता है.
| पैरामीटर | विनिर्देश |
|---|---|
| पंपिंग गति | 1800 m3/h |
| अंतिम दबाव | ≤0.5 Pa |
| नामित शक्ति | 7.5+4.5 किलोवाट |
| वोल्टेज | 380V तीन चरण |
| शीतलन जल का दबाव | 0.3-0.6 एमपीए |
| शीतलन जल प्रवाह | 6 लीटर/मिनट |
| शीतलन जल का तापमान | 10-30 °C |
| शीतलन जल कनेक्शन | G3/8 |
| एन2 शुद्धिकरण दबाव | 0.3-0.6 एमपीए |
| एन2 शुद्धिकरण प्रवाह | 4 से 96 लीटर/मिनट |
| एन2 शुद्धिकरण कनेक्शन | G1/4 |
| इनलेट कनेक्शन | आईएसओ 160 |
| आउटलेट कनेक्शन | KF40 |
| शोर स्तर | < 70 डीबी ((ए) |
| परिचालन वातावरण | 5~40°C; ≤80% आरएच |
| वजन | 472 किलो |
| आयाम (L*W*H) | 935*420*795 मिमी |
लोड-लॉक, ट्रांसफर, मेट्रोलॉजी, लिथोग्राफी
पीवीडी प्रक्रिया, पीवीडी पूर्व सफाई, आरटीए, स्ट्रिप/एशिंग, ऑक्साइड एच, सिलिकॉन एच, इम्प्लांट स्रोत, धातु एच
एचडीपी-सीवीडी, आरटीपी, एसएसीवीडी, एमओसीवीडी, पीईसीवीडी, एलपीसीवीडी, एएलडी