GRM4201 सूखा वैक्यूम पंप 4200 M3/H तेल मुक्त PMSM ड्राइव ISO160 KF50 HJT लिथियम बैटरी के लिए
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प्रमुखता देना
तेल मुक्त सूखी वैक्यूम पंप
,4200 m3/h सूखा वैक्यूम पंप
,एचजेटी लिथियम बैटरी सूखी वैक्यूम पंप
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पम्प प्रकारसूखी वैक्यूम पंप
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पम्पिंग गति4200 m³/घंटा
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परम दबाव≤0.5 पा
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मोटर प्रकारस्थायी चुंबक तुल्यकालिक मोटर (पीएमएसएम)
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मूल्यांकित शक्ति13+10 किलोवाट
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वोल्टेज380V तीन चरण
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ठंडा पानी का तापमान5-25 डिग्री सेल्सियस
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शीतल जल प्रवाह8-10 एल/मिनट
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N2 पर्ज फ्लो0-120 एल/मिनट
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इनलेट कनेक्शनISO160
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आउटलेट कनेक्शनKF50
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शोर स्तर≤75 डीबी (ए)
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वज़न269 किलोग्राम
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आयाम (L × W × H)1695×600×1450 मिमी
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नियंत्रण इंटरफ़ेसI/O और RS485 (मॉडबस प्रोटोकॉल)
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सीलिंग प्रणालीलिप सील + एन2 पर्ज के साथ भूलभुलैया सील
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असर डिजाइनडुअल-एंड बियरिंग सपोर्ट
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नियंत्रण मोडवन-बटन स्टार्ट/स्टॉप के साथ स्मार्ट पीएलसी
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उत्पत्ति के प्लेसचीन
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ब्रांड नामGRM
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प्रमाणनISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018, CE, ETL
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मॉडल संख्याजीआरएम4201
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न्यूनतम आदेश मात्रा1 सेट
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मूल्यUSD 25,000-45,000 / Set
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पैकेजिंग विवरणवैक्यूम-सील्ड नमी अवरोधक और शॉक-प्रूफ फोम डालने के साथ निर्यात-ग्रेड प्लाईवुड केस
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प्रसव के समय25-40 कार्य दिवस
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भुगतान शर्तेंटी/टी, एल/सी, वेस्टर्न यूनियन
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आपूर्ति की क्षमताप्रति माह 100 सेट
GRM4201 सूखा वैक्यूम पंप 4200 M3/H तेल मुक्त PMSM ड्राइव ISO160 KF50 HJT लिथियम बैटरी के लिए
जीआरएम4201 ड्राई वैक्यूम पंप
जीआरएम4201 एक उच्च-क्षमता वाला 4200 m³/h ड्राई वैक्यूम पंप है जो विस्तृत कार्यशील दबाव रेंज और बेहतर धूल प्रबंधन के साथ असाधारण वैक्यूम स्तर प्राप्त करता है। डुअल-एंड बेयरिंग सपोर्ट, वाटर-कूल्ड फुली सील्ड मोटर, और स्मार्ट पीएलसी वन-बटन कंट्रोल के साथ, यह एचजेटी सेल निर्माण, लिथियम बैटरी उत्पादन, और सेमीकंडक्टर लोड-लॉक रैपिड इवैक्यूएशन के लिए आदर्श है।
मुख्य विशेषताएं
- वीएफडी ड्राइव के साथ वाटर-कूल्ड फुली सील्ड परमानेंट मैग्नेट सिंक्रोनस मोटर, मांग वाली प्रक्रियाओं के लिए टॉर्क आउटपुट को अधिकतम करती है और तेल रिसाव के जोखिम को समाप्त करती है।
- उन्नत उपकरणों पर निर्मित अद्वितीय रोटर डिजाइन, उत्कृष्ट ज्यामितीय सटीकता के साथ, कम शोर और विस्तारित सेवा जीवन के लिए पूरी तरह से विनिमेय है।
- धूल और जल वाष्प सहिष्णु - पंप किए गए गैस स्ट्रीम में धूल और जल वाष्प के प्रति असंवेदनशील।
- कॉम्पैक्ट और एकीकृत डिजाइन - भीड़भाड़ वाले फ़ैब वातावरण में आसान स्थापना के लिए उच्च सिस्टम एकीकरण के साथ छोटा फ़ुटप्रिंट।
- व्यापक सुरक्षा - विभिन्न प्रक्रिया स्थितियों के लिए मजबूत अनुकूलन क्षमता के साथ अंतर्निहित सुरक्षा कार्य।
- कम कंपन और शोर - शांत कार्यस्थल के लिए अंतिम दबाव पर ≤75 dB(A) पर संचालित होता है।
- उन्नत सीलिंग प्रणाली - लैब्रिंथ ऑयल बैरियर के साथ उन्नत लिप सील बेहतर सीलिंग प्रदर्शन और विस्तारित सेवा जीवन प्रदान करती है। नाइट्रोजन गैस सील पर्ज के साथ मिलकर, यह तेल जलाशय के प्रक्रिया मीडिया संदूषण को रोकता है, एक पूरी तरह से तेल-मुक्त वैक्यूम वातावरण प्राप्त करता है।
- रिमोट कंट्रोल और मॉनिटरिंग - फ़ैक्टरी ऑटोमेशन सिस्टम में निर्बाध एकीकरण के लिए आई/ओ इंटरफ़ेस और आरएस485 संचार (मोडबस प्रोटोकॉल) का समर्थन करता है।
- डुअल-एंड बेयरिंग सपोर्ट डिजाइन - विश्वसनीय रोटर सपोर्ट, अत्यंत कम कंपन, और बेहतर स्टार्टअप विश्वसनीयता प्रदान करता है, जो इसे कठोर प्रक्रिया स्थितियों के लिए आदर्श बनाता है।
- वाटर-कूल्ड फुली सील्ड मोटर - वीएफडी ड्राइव के साथ उच्च-दक्षता वाला पीएसएमएसएम टॉर्क आउटपुट को अधिकतम करता है। फुली सील्ड मोटर डिजाइन तेल रिसाव के जोखिम को समाप्त करता है, परिचालन विश्वसनीयता को बढ़ाता है और सेवा जीवन का विस्तार करता है।
- इंटेलिजेंट पीएलसी कंट्रोल सिस्टम - स्मार्ट प्रोग्रामिंग वन-बटन स्टार्ट/स्टॉप को सक्षम करती है। रिमोट कंट्रोल और मॉनिटरिंग एकीकरण के लिए बाहरी आई/ओ इंटरफ़ेस और आरएस485 संचार (मोडबस-आरटीयू प्रोटोकॉल) का समर्थन करता है।
तकनीकी विशिष्टताएँ
| पैरामीटर | विनिर्देश |
|---|---|
| पंपिंग गति | 4200 m³/h |
| अंतिम दबाव | ≤0.5 Pa |
| रेटेड पावर | 13+10 kW |
| वोल्टेज | 380V थ्री-फेज |
| कूलिंग वाटर प्रेशर | 0.2-0.5 MPa |
| कूलिंग वाटर फ्लो | 8-10 L/min |
| कूलिंग वाटर तापमान | 5-25 °C |
| कूलिंग वाटर कनेक्शन | G3/8 |
| N2 पर्ज प्रेशर | 0.1-0.7 MPa |
| N2 पर्ज फ्लो | 0-120 L/min |
| N2 पर्ज कनेक्शन | G1/4 |
| इनलेट कनेक्शन | ISO160 |
| आउटलेट कनेक्शन | KF50 |
| शोर स्तर | ≤75 dB(A) |
| ऑपरेटिंग एनवायरनमेंट | 5~40°C; ≤80% RH |
| वजन | 269 kg |
| आयाम (L*W*H) | 1695*600*1450 mm |
अनुप्रयोग प्रक्रियाएँ
क्लीन प्रक्रियाएँ
लोड-लॉक, ट्रांसफर, मेट्रोलॉजी, लिथोग्राफी
मध्यम प्रक्रियाएँ
पीवीडी प्रक्रिया, पीवीडी प्री-क्लीन, आरटीए, स्ट्रिप/ऐशिंग, ऑक्साइड एच, सिलिकॉन एच, इम्प्लांट सोर्स, मेटल एच
कठोर प्रक्रियाएँ
एचडीपी-सीवीडी, आरटीपी, एसएसीवीडी, एमओसीवीडी, पीईसीवीडी, एलपीसीवीडी, एएलडी
लक्षित उद्योग
- हेटरोजंक्शन (एचजेटी) सौर सेल: पीईसीवीडी प्रक्रिया वैक्यूम आवश्यकताएँ।
- लिथियम बैटरी औद्योगिक: बड़े पैमाने पर वैक्यूम सुखाने और इलेक्ट्रोलाइट प्रसंस्करण।
- सेमीकंडक्टर: लोड-लॉक रैपिड इवैक्यूएशन और प्रक्रिया कक्ष रफिंग।
- वैक्यूम कोटिंग: औद्योगिक पीवीडी/सीवीडी कोटिंग सिस्टम लोड-लॉक अनुप्रयोग।
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