GRH3001 3000 एम³/एच ड्राई टाइप वैक्यूम पंप परमानेंट मैग्नेट सिंक्रोनस मोटर के साथ
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प्रमुखता देना
परमानेंट मैग्नेट मोटर ड्राई वैक्यूम पंप
,3000 एम³/एच ड्राई वैक्यूम पंप
,सेमीकंडक्टर पीवी ड्राई वैक्यूम पंप
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पम्प प्रकारसूखी वैक्यूम पंप
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पम्पिंग गति3000 घन मीटर/घं
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परम दबाव≤0.5 पा
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मोटर प्रकारस्थायी चुंबक तुल्यकालिक मोटर (पीएमएसएम)
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मूल्यांकित शक्ति11+7.5 किलोवाट
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वोल्टेज380V तीन चरण
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ठंडा पानी का तापमान5-30 डिग्री सेल्सियस
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शीतल जल प्रवाह≥11 एल/मिनट
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N2 पर्ज फ्लो43-123 एल/मिनट
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इनलेट कनेक्शनISO160
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आउटलेट कनेक्शनKF40
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शोर स्तर≤70 डीबी(ए)
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वज़न770 किग्रा
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आयाम (L × W × H)922×516×988 मिमी
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नियंत्रण इंटरफ़ेसI/O और RS485 (मॉडबस प्रोटोकॉल)
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सीलिंग प्रणालीलिप सील + एन2 पर्ज के साथ भूलभुलैया सील
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उत्पत्ति के प्लेसचीन
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ब्रांड नामGRH
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प्रमाणनISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
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मॉडल संख्याजीआरएच3001
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न्यूनतम आदेश मात्रा1 सेट
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मूल्यUSD 18,000-25,000 / Set
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पैकेजिंग विवरणवैक्यूम-सील्ड नमी अवरोधक और शॉक-प्रूफ फोम डालने के साथ निर्यात-ग्रेड प्लाईवुड केस
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प्रसव के समय15-30 कार्य दिवस
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भुगतान शर्तेंटी/टी, एल/सी, वेस्टर्न यूनियन
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आपूर्ति की क्षमताप्रति माह 500 सेट
GRH3001 3000 एम³/एच ड्राई टाइप वैक्यूम पंप परमानेंट मैग्नेट सिंक्रोनस मोटर के साथ
GRH3001 सूखा वैक्यूम पंप
GRH3001 एक 3000 m3/h सूखा वैक्यूम पंप है जो मध्यम से बड़े पैमाने पर अर्धचालक और फोटोवोल्टिक विनिर्माण के लिए बनाया गया है। यह एक तेल मुक्त पंप कक्ष, कॉम्पैक्ट डिजाइन,और उच्च मात्रा में विश्वसनीय प्रदर्शन के लिए कम ऊर्जा की खपत.
प्रमुख विशेषताएं
- स्थायी चुंबक सिंक्रोनस मोटर ️ पारंपरिक प्रेरण मोटर्स की तुलना में बेहतर ऊर्जा दक्षता और कम बिजली की खपत प्रदान करता है।
- उन्नत रोटर संरचना ∙ धूल निकालने की क्षमता में सुधार, जिससे पंप कण-भारित प्रक्रिया गैसों के प्रति अत्यधिक सहिष्णु हो जाता है।
- धूल और जल वाष्प सहनशीलपंप किए जाने वाले गैस प्रवाह में धूल और जल वाष्प के प्रति असंवेदनशील।
- कॉम्पैक्ट और एकीकृत डिजाइनभीड़भाड़ वाले फैक्ट्री वातावरण में आसान स्थापना के लिए उच्च प्रणाली एकीकरण के साथ छोटा पदचिह्न।
- व्यापक सुरक्षाविभिन्न प्रक्रिया स्थितियों के लिए मजबूत अनुकूलन क्षमता के साथ अंतर्निहित सुरक्षा कार्य।
- कम कंपन और शोर️ अधिक शांत कार्यस्थल के लिए अंतिम दबाव पर ≤70 dB (A) पर काम करता है।
- उन्नत सीलिंग प्रणालीनाइट्रोजन शुद्धिकरण के साथ मिलाकर होंठ सील और भूलभुलैया सील प्रभावी रूप से तेल के बैक-स्ट्रीम को रोकता है, जिससे प्रक्रिया कक्ष में उच्च वैक्यूम स्वच्छता सुनिश्चित होती है।
- रिमोट कंट्रोल और निगरानीकारखाना स्वचालन प्रणालियों में निर्बाध एकीकरण के लिए I/O इंटरफ़ेस और RS485 संचार (Modbus प्रोटोकॉल) का समर्थन करता है।
तकनीकी विनिर्देश
| पैरामीटर | विनिर्देश |
|---|---|
| पंपिंग गति | 3000 मी3/घंटा |
| अंतिम दबाव | ≤0.5 Pa |
| नामित शक्ति | 11+7.5 किलोवाट |
| वोल्टेज | 380V तीन चरण |
| शीतलन जल का दबाव | 0.2-0.6 एमपीए |
| शीतलन जल प्रवाह | ≥11 एल/मिनट |
| शीतलन जल का तापमान | 5-30 °C |
| शीतलन जल कनेक्शन | G3/8 |
| एन2 शुद्धिकरण दबाव | 0.2-0.6 एमपीए |
| एन2 शुद्धिकरण प्रवाह | 43 से 123 लीटर/मिनट |
| एन2 शुद्धिकरण कनेक्शन | G1/4 |
| इनलेट कनेक्शन | आईएसओ 160 |
| आउटलेट कनेक्शन | KF40 |
| शोर स्तर | ≤ 70 डीबी ((ए) |
| परिचालन वातावरण | 5~40°C; ≤80% आरएच |
| वजन | 770 किलोग्राम |
| आयाम (L*W*H) | 922*516*988 मिमी |
आवेदन प्रक्रियाएं
स्वच्छ प्रक्रियाएं
लोड-लॉक, ट्रांसफर, मेट्रोलॉजी, लिथोग्राफी
मध्यम प्रक्रियाएं
पीवीडी प्रक्रिया, पीवीडी पूर्व सफाई, आरटीए, स्ट्रिप/एशिंग, ऑक्साइड एच, सिलिकॉन एच, इम्प्लांट स्रोत, धातु एच
कठोर प्रक्रियाएँ
एचडीपी-सीवीडी, आरटीपी, एसएसीवीडी, एमओसीवीडी, पीईसीवीडी, एलपीसीवीडी, एएलडी
लक्षित उद्योग
- अर्धचालक:उत्कीर्णन, आयन प्रत्यारोपण, सीवीडी और अन्य स्वच्छ, मध्यम और कठोर प्रक्रिया अनुप्रयोग।
- फोटोवोल्टिक:क्रिस्टल विकास भट्टियां, कोशिका निर्माण प्रक्रियाएं।
- लिथियम बैटरीःसेल वैक्यूम सुखाने, इलेक्ट्रोलाइट भरने और डीगैसिंग प्रक्रियाएं।
- फ्लैट पैनल डिस्प्ले और एलईडीःउच्च स्वच्छता वाले वैक्यूम वातावरण की आवश्यकता वाली विनिर्माण प्रक्रियाएं।
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