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प्रमुखता देना
ISO100 इनलेट सूखा वैक्यूम पंप
,600 m3/h सूखा वैक्यूम पंप
,KF25 आउटलेट सूखी वैक्यूम पंप
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पम्प प्रकारसूखी वैक्यूम पंप
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पम्पिंग गति600 मी³/घं
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परम दबाव≤0.15 पा
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मोटर प्रकारस्थायी चुंबक तुल्यकालिक मोटर (पीएमएसएम)
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मूल्यांकित शक्ति1.9+1.9 किलोवाट
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वोल्टेज380V तीन चरण
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ठंडा पानी का तापमान5-30 डिग्री सेल्सियस
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शीतल जल प्रवाह≥4 एल/मिनट
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N2 पर्ज फ्लो12-50 एल/मिनट
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इनलेट कनेक्शनISO100
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आउटलेट कनेक्शनकेएफ25
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शोर स्तर≤63 डीबी(ए)
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वज़न260 किलोग्राम
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आयाम (L × W × H)865×344×751 मिमी
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नियंत्रण इंटरफ़ेसI/O और RS485 (मॉडबस प्रोटोकॉल)
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सीलिंग प्रणालीलिप सील + एन2 पर्ज के साथ भूलभुलैया सील
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गैस अनुकूलताज्वलनशील, विस्फोटक और संघनित प्रक्रिया गैसें
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उत्पत्ति के प्लेसचीन
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ब्रांड नामGRM
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प्रमाणनISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
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मॉडल संख्याजीआरएम601
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न्यूनतम आदेश मात्रा1 सेट
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मूल्यUSD 8,000-13,000 / Set
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पैकेजिंग विवरणवैक्यूम-सील्ड नमी अवरोधक और शॉक-प्रूफ फोम डालने के साथ निर्यात-ग्रेड प्लाईवुड केस
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प्रसव के समय15-30 कार्य दिवस
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भुगतान शर्तेंटी/टी, एल/सी, वेस्टर्न यूनियन
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आपूर्ति की क्षमताप्रति माह 300 सेट
GRM601 600 M3/H सूखा वैक्यूम पंप ISO100 KF25
GRM601 सूखा वैक्यूम पंप
GRM601 एक 600 m3/h सूखा वैक्यूम पंप है जो कम बिजली की खपत और उच्च पंपिंग गति प्रदान करता है। यह सुरक्षित रूप से ज्वलनशील, विस्फोटक और संक्षेपित प्रक्रिया गैसों को संभालता है, जिसे PECVD, MOCVD,और एसआईसी-सीवीडी अर्धचालक प्रक्रियाओं.
प्रमुख विशेषताएं
- स्थायी चुंबक सिंक्रोनस मोटर उद्योग में अग्रणी कम बिजली की खपत के साथ बेहतर ऊर्जा दक्षता प्रदान करता है।
- उन्नत रोटर संरचना ∙ बढ़ी हुई धूल निष्कर्षण क्षमता कण-भारी प्रक्रिया वातावरण में विश्वसनीय संचालन सुनिश्चित करती है।
- धूल और जल वाष्प सहनशीलपंप किए जाने वाले गैस प्रवाह में धूल और जल वाष्प के प्रति असंवेदनशील।
- कॉम्पैक्ट और एकीकृत डिजाइनभीड़भाड़ वाले फैक्ट्री वातावरण में आसान स्थापना के लिए उच्च प्रणाली एकीकरण के साथ छोटा पदचिह्न।
- व्यापक सुरक्षाविभिन्न प्रक्रिया स्थितियों के लिए मजबूत अनुकूलन क्षमता के साथ अंतर्निहित सुरक्षा कार्य।
- कम कंपन और शोर️ अधिक शांत कार्यस्थल के लिए अंतिम दबाव पर ≤63 dB (((A) पर काम करता है।
- उन्नत सीलिंग प्रणालीनाइट्रोजन शुद्धिकरण के साथ मिलाकर होंठ सील और भूलभुलैया सील प्रभावी रूप से तेल के बैक-स्ट्रीम को रोकता है, प्रक्रिया कक्ष में उच्च वैक्यूम स्वच्छता बनाए रखता है।
- रिमोट कंट्रोल और निगरानीकारखाना स्वचालन प्रणालियों में निर्बाध एकीकरण के लिए I/O इंटरफ़ेस और RS485 संचार (Modbus प्रोटोकॉल) का समर्थन करता है।
- खतरनाक गैस संगतजलने योग्य, विस्फोटक और संक्षेपित प्रक्रिया गैसों के साथ सुरक्षित संचालन।
तकनीकी विनिर्देश
| पैरामीटर | विनिर्देश |
|---|---|
| पंपिंग गति | 600 m3/h |
| अंतिम दबाव | ≤0.15 Pa |
| नामित शक्ति | 1.9+1.9 किलोवाट |
| वोल्टेज | 380V तीन चरण |
| शीतलन जल का दबाव | 0.2-0.6 एमपीए |
| शीतलन जल प्रवाह | ≥4 एल/मिनट |
| शीतलन जल का तापमान | 5-30 °C |
| शीतलन जल कनेक्शन | G3/8 |
| एन2 शुद्धिकरण दबाव | 0.2-0.6 एमपीए |
| एन2 शुद्धिकरण प्रवाह | 12-50 लीटर/मिनट |
| एन2 शुद्धिकरण कनेक्शन | G1/4 |
| इनलेट कनेक्शन | आईएसओ100 |
| आउटलेट कनेक्शन | KF25 |
| शोर स्तर | ≤ 63 dB ((A) |
| परिचालन वातावरण | 5~40°C; ≤80% आरएच |
| वजन | 260 किलो |
| आयाम (L*W*H) | 865*344*751 मिमी |
आवेदन प्रक्रियाएं
स्वच्छ प्रक्रियाएं
लोड-लॉक, ट्रांसफर, मेट्रोलॉजी, लिथोग्राफी
मध्यम प्रक्रियाएं
पीवीडी प्रक्रिया, पीवीडी पूर्व सफाई, आरटीए, स्ट्रिप/एशिंग, ऑक्साइड एच, सिलिकॉन एच, इम्प्लांट स्रोत, धातु एच
कठोर प्रक्रियाएँ
एचडीपी-सीवीडी, आरटीपी, एसएसीवीडी, एमओसीवीडी, पीईसीवीडी, एलपीसीवीडी, एएलडी
लक्षित उद्योग
- अर्धचालक:उत्कीर्णन, आयन प्रत्यारोपण, सीवीडी, पीईसीवीडी, एमओसीवीडी और एसआईसी-सीवीडी स्वच्छ/मध्यम/कठिन प्रक्रिया अनुप्रयोग।
- फोटोवोल्टिक:क्रिस्टल विकास भट्टियां, कोशिका निर्माण प्रक्रियाएं।
- लिथियम बैटरीःसेल वैक्यूम सुखाने, इलेक्ट्रोलाइट भरने और डीगैसिंग प्रक्रियाएं।
- फ्लैट पैनल डिस्प्ले और एलईडीःउच्च स्वच्छता वाले वैक्यूम वातावरण की आवश्यकता वाली विनिर्माण प्रक्रियाएं।
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