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प्रमुखता देना
सेमीकंडक्टर ड्राई वैक्यूम पंप
,1200 एम³/एच ड्राई वैक्यूम पंप
,फोटोवोल्टिक ड्राई वैक्यूम पंप
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पम्प प्रकारसूखी वैक्यूम पंप
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पम्पिंग गति1200 m³/घंटा
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परम दबाव≤0.5 पा
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मोटर प्रकारस्थायी चुंबक तुल्यकालिक मोटर (पीएमएसएम)
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मूल्यांकित शक्ति7.5+1.9 किलोवाट
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वोल्टेज380V तीन चरण
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ठंडा पानी का तापमान5-30 डिग्री सेल्सियस
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शीतल जल प्रवाह≥4.7 एल/मिनट
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N2 पर्ज फ्लो4-96 एल/मिनट
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इनलेट कनेक्शनISO100
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आउटलेट कनेक्शनKF40
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शोर स्तर≤70 डीबी(ए)
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वज़न220 किग्रा
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आयाम (L × W × H)821×420×791 मिमी
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नियंत्रण इंटरफ़ेसI/O और RS485 (मॉडबस प्रोटोकॉल)
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सीलिंग प्रणालीलिप सील + एन2 पर्ज के साथ भूलभुलैया सील
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उत्पत्ति के प्लेसचीन
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ब्रांड नामGRH
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प्रमाणनISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
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मॉडल संख्याजीआरएच1202
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न्यूनतम आदेश मात्रा1 सेट
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मूल्यUSD 8,000-12,000 / Set
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पैकेजिंग विवरणवैक्यूम-सील्ड नमी अवरोधक और शॉक-प्रूफ फोम डालने के साथ निर्यात-ग्रेड प्लाईवुड केस
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प्रसव के समय15-30 कार्य दिवस
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भुगतान शर्तेंटी/टी, एल/सी, वेस्टर्न यूनियन
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आपूर्ति की क्षमताप्रति माह 500 सेट
GRH1202 1200 एम³/एच सेमीकंडक्टर फोटोवोल्टिक के लिए ड्राई वैक्यूम पंप
GRH1202 ड्राई वैक्यूम पंप
GRH1202 एक 1200 m³/h ड्राई वैक्यूम पंप है जिसे सेमीकंडक्टर, फोटोवोल्टिक और लिथियम बैटरी निर्माण प्रक्रियाओं के लिए डिज़ाइन किया गया है। इसमें पूरी तरह से तेल-मुक्त पंप चैंबर, कॉम्पैक्ट फुटप्रिंट और कम ऊर्जा खपत की सुविधा है, जो कम कुल स्वामित्व लागत के साथ विश्वसनीय प्रदर्शन प्रदान करता है।
मुख्य विशेषताएं
- स्थायी चुंबक तुल्यकालिक मोटर — पारंपरिक प्रेरण मोटरों की तुलना में बेहतर ऊर्जा दक्षता और कम बिजली की खपत प्रदान करता है।
- उन्नत रोटर संरचना — धूल निष्कर्षण क्षमता में वृद्धि, जिससे पंप कण-युक्त प्रक्रिया गैसों के प्रति अत्यधिक सहनशील हो जाता है।
- धूल और जल वाष्प सहनशील — पंप की गई गैस धारा में शामिल धूल और जल वाष्प के प्रति असंवेदनशील।
- कॉम्पैक्ट और एकीकृत डिजाइन — भीड़भाड़ वाले फ़ैब वातावरण में आसान स्थापना के लिए उच्च सिस्टम एकीकरण के साथ छोटा फुटप्रिंट।
- व्यापक सुरक्षा — विभिन्न प्रक्रिया स्थितियों के लिए मजबूत अनुकूलन क्षमता के साथ अंतर्निहित सुरक्षा कार्य।
- कम कंपन और शोर — शांत कार्यस्थल के लिए अंतिम दबाव पर ≤70 dB(A) पर संचालित होता है।
- उन्नत सीलिंग प्रणाली — लिप सील और भूलभुलैया सील नाइट्रोजन पर्ज के साथ मिलकर तेल के बैक-स्ट्रीमिंग को प्रभावी ढंग से रोकती है, जिससे प्रक्रिया चैंबर में उच्च वैक्यूम स्वच्छता सुनिश्चित होती है।
- रिमोट कंट्रोल और मॉनिटरिंग — फ़ैक्टरी स्वचालन प्रणालियों में निर्बाध एकीकरण के लिए I/O इंटरफ़ेस और RS485 संचार (मोडबस प्रोटोकॉल) का समर्थन करता है।
तकनीकी विशिष्टताएँ
| पैरामीटर | विनिर्देश |
|---|---|
| पंपिंग गति | 1200 m³/h |
| अंतिम दबाव | ≤0.5 Pa |
| रेटेड पावर | 7.5+1.9 kW |
| वोल्टेज | 380V थ्री-फेज |
| कूलिंग वाटर प्रेशर | 0.1-0.6 MPa |
| कूलिंग वाटर फ्लो | ≥4.7 L/min |
| कूलिंग वाटर तापमान | 5-30 °C |
| कूलिंग वाटर कनेक्शन | G3/8 |
| N2 पर्ज प्रेशर | 0.2-0.6 MPa |
| N2 पर्ज फ्लो | 4-96 L/min |
| N2 पर्ज कनेक्शन | G1/4 |
| इनलेट कनेक्शन | ISO100 |
| आउटलेट कनेक्शन | KF40 |
| शोर स्तर | ≤70 dB(A) |
| ऑपरेटिंग एनवायरनमेंट | 5~40°C; ≤80% RH |
| वजन | 220 kg |
| आयाम (L*W*H) | 821*420*791 mm |
अनुप्रयोग प्रक्रियाएं
क्लीन प्रक्रियाएं
लोड-लॉक, ट्रांसफर, मेट्रोलॉजी, लिथोग्राफी
मध्यम प्रक्रियाएं
PVD प्रक्रिया, PVD प्री-क्लीन, RTA, स्ट्रिप/ऐशिंग, ऑक्साइड एच, सिलिकॉन एच, इम्प्लांट सोर्स, मेटल एच
कठोर प्रक्रियाएं
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
लक्षित उद्योग
- सेमीकंडक्टर: एचिंग, आयन इम्प्लांटेशन, सीवीडी, और अन्य क्लीन, मध्यम और कठोर प्रक्रिया अनुप्रयोग।
- फोटोवोल्टिक: क्रिस्टल ग्रोथ फर्नेस, सेल निर्माण प्रक्रियाएं।
- लिथियम बैटरी: सेल वैक्यूम ड्राइंग, इलेक्ट्रोलाइट फिलिंग और डीगैसिंग प्रक्रियाएं।
- फ्लैट पैनल डिस्प्ले और एलईडी: उच्च-स्वच्छता वैक्यूम वातावरण की आवश्यकता वाली निर्माण प्रक्रियाएं।
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