GRM41 Trockene Vakuumpumpenanlage 600 L/min KF40 PMSM Energieeffizienter Antrieb für Halbleitervakuumbeschichtung

Hauptmerkmale

• Energieeffizienter PMSM-Antrieb: Die Permanentmagnet-Synchronmotortechnologie liefert eine überlegene Energieeffizienz bei einem Stromverbrauch von 0,75 kW, was die Betriebskosten senkt und gleichzeitig eine hohe Leistung aufrechterhält.
• Ölfreier Trockenbetrieb: Kein Risiko von Ölverunreinigungen in Prozesskammern, wodurch ultrareine Vakuumzustände gewährleistet werden, die für die Halbleiter- und Photovoltaikfertigung unerlässlich sind.
• Hohe Vakuumleistung: Erreicht einen Enddruck von ≤1 Pa (Gasballast geschlossen) und ≤10 Pa (Gasballast geöffnet), geeignet für anspruchsvolle Hochvakuumanwendungen.
• Integriertes Gasballastsystem: Das eingebaute Gasballastventil mit PT1/4-Anschluss verarbeitet Wasserdampf bis zu 350 g/h, verhindert Kondensation und verlängert die Lebensdauer der Pumpe.
• RS485-Fernüberwachung: Die intelligente Steuerschnittstelle unterstützt den Fernbetrieb, die Überwachung von Parametern und Diagnosefunktionen für die Integration in Industrie 4.0.
• Kompaktes, leichtes Design: Abmessungen von 630*347*400 mm und ein Gewicht von nur 54 kg ermöglichen eine einfache Installation in beengten Reinraumumgebungen.
• Leiser Betrieb: Geräuschpegel ≤65 dB mit integriertem Schalldämpfer und Rückschlagventil, sorgt für angenehme Arbeitsumgebungen.
• Robuste Konstruktion: Gehäuse aus Aluminiumlegierung und Gusseisen mit Fluorelastomer (FKM)-Dichtungen gewährleisten langfristige Zuverlässigkeit und chemische Kompatibilität.
• KF-Standardanschlüsse: KF40-Einlass- und KF25-Auslassanschlüsse für eine schnelle, werkzeuglose Montage mit Standard-Vakuumkomponenten.