GRH3001 3000 m³/h Trockenlauf-Vakuumpumpe mit Permanentmagnet-Synchronmotor
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Trockenlauf-Vakuumpumpe mit Permanentmagnetmotor
,3000 m³/h Trockenlauf-Vakuumpumpe
,Trocken-Vakuumpumpe für Halbleiter PV
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PumpentypTrocken-Vakuumpumpe
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Pumpgeschwindigkeit3000 m-³ /h
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Ultimativer Druck≤0,5 Pa
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MotortypPermanentmagnet-Synchronmotor (PMSM)
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Nennleistung11+7,5 kW
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Stromspannung380V dreiphasig
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Kühlwassertemperatur5-30 ° C.
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Kühlwasserfluss≥11 l/min
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N2-Spülfluss43-123 l/min
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EinlassanschlussISO160
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AuslassanschlussKF40
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Geräuschpegel≤ 70 DB ((A)
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Gewicht770 kg
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Abmessungen (L × W × H)922×516×988 mm
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SteuerschnittstelleI/O und RS485 (Modbus-Protokoll)
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DichtungssystemLippendichtung + Labyrinthdichtung mit N2-Spülung
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HerkunftsortChina
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MarkennameGRH
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ZertifizierungISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
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ModellnummerGRH3001
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Min Bestellmenge1 Satz
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PreisUSD 18,000-25,000 / Set
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Verpackung InformationenKoffer aus Sperrholz in Exportqualität mit vakuumversiegelter Feuchtigkeitsbarriere und stoßfester S
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Lieferzeit15-30 Werktage
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ZahlungsbedingungenT/T, L/C, Western Union
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Versorgungsmaterial-Fähigkeit500 Sätze pro Monat
GRH3001 3000 m³/h Trockenlauf-Vakuumpumpe mit Permanentmagnet-Synchronmotor
GRH3001 Trockenvakuumpumpe
Die GRH3001 ist eine 3000 m3/h starke Trockenvakuumpumpe für die mittlere bis große Halbleiter- und Photovoltaikherstellung.und geringer Energieverbrauch für eine zuverlässige Leistung bei hohem Volumen.
Wesentliche Merkmale
- Dauermagnet-Synchronmotor Erbringt eine höhere Energieeffizienz und einen geringeren Stromverbrauch im Vergleich zu herkömmlichen Induktionsmotoren.
- Erweiterte Rotorstruktur Verstärkte Staubentfernung, wodurch die Pumpe sehr tolerant gegenüber partikulierten Prozessgasen ist.
- Staub- und Wasserdampfverträglich- Unempfindlich gegenüber Staub und Wasserdampf, die in den gepumptem Gasstrom gelangen.
- Kompaktes und integriertes Design¢ Kleine Produktion mit hoher Systemintegration für eine einfache Installation in überfüllten Fabrikumgebungen.
- Umfassender Schutz- eingebaute Schutzfunktionen mit starker Anpassungsfähigkeit für unterschiedliche Prozessbedingungen.
- Niedrige Schwingungen und Lärm¢ Bei ≤ 70 dB (A) bei höchstem Druck für einen leiseren Arbeitsplatz.
- Fortgeschrittenes Versiegelungssystem¢ Lippendichtung und Labyrinthdichtung in Kombination mit Stickstoffreinigung verhindern effektiv den Rückfluss von Öl und sorgen für eine hohe Vakuumreinheit in der Prozesskammer.
- Fernsteuerung und ÜberwachungUnterstützt I/O-Schnittstelle und RS485-Kommunikation (Modbus-Protokoll) für nahtlose Integration in Fabrikautomationssysteme.
Technische Spezifikation
| Parameter | Spezifikation |
|---|---|
| Pumpgeschwindigkeit | 3000 m3/h |
| Der ultimative Druck | ≤ 0,5 Pa |
| Nennleistung | 11+7,5 kW |
| Spannung | 380 V Dreiphasen |
| Kühlwasserdruck | 0.2-0.6 MPa |
| Kühlwasserfluss | ≥ 11 L/min |
| Kühlwassertemperatur | 5 bis 30 °C |
| Kühlwasseranschluss | G3/8 |
| N2-Auslöschdruck | 0.2-0.6 MPa |
| N2-Ausblasfluss | 43 bis 123 L/min |
| N2-Auslöschverbindung | G1/4 |
| Einlassanschluss | ISO 160 |
| Steckdoseverbindung | KF40 |
| Geräuschpegel | ≤ 70 dB (A) |
| Betriebsumfeld | 5 ~ 40 °C; ≤ 80% WR |
| Gewicht | 770 kg |
| Abmessungen (L*W*H) | 922*516*988 mm |
Bewerbungsverfahren
Saubere Verfahren
Schließung, Übertragung, Metrologie, Lithographie
Mittlere Prozesse
PVD-Prozess, PVD-Vorreinigung, RTA, Streifen-/Ashaushöhlung, Oxid-Etsche, Silizium-Etsche, Implantatquelle, Metalleitsche
Schwierige Prozesse
Bei der Erfassung von Flächen mit einer hohen Temperatur von mehr als 20 °C ist die Anzahl der Flächen zu berücksichtigen.
Zielbranchen
- Halbleiter:Ätzen, Ionenimplantationen, CVD und andere saubere, mittlere und harte Prozessanwendungen.
- Photovoltaik:Kristallwachstumsöfen, Zellherstellungsprozesse.
- Lithiumbatterie:Zellvakuumtrocknung, Elektrolytfüllung und Entgasung.
- Flachbildschirm und LED:Herstellungsprozesse, bei denen eine hohe Reinheit in Vakuumumbedingungen erforderlich ist.
Verwandte Produkte
Unsere Produkte werden auf der ganzen Welt verkauft. Sie können sich auf den gesamten Prozess unserer Produkte verlassen.
