Die GRM4201 ist eine 4200 m3/h hohe Trockenvakuumpumpe mit außergewöhnlichem Vakuumniveau, breitem Arbeitsdruckbereich und hervorragender Staubbehandlung.Wassergekühlter vollverschlossener Motor, und eine intelligente PLC-Einschaltknopfsteuerung, ist es ideal für die Herstellung von HJT-Zellen, die Produktion von Lithium-Batterien und die schnelle Evakuierung von Halbleitern mit Lastschließung.
| Parameter | Spezifikation |
|---|---|
| Pumpgeschwindigkeit | 4200 m3/h |
| Der ultimative Druck | ≤ 0,5 Pa |
| Nennleistung | 13+10 kW |
| Spannung | 380 V Dreiphasen |
| Kühlwasserdruck | 0.2-0.5 MPa |
| Kühlwasserfluss | 8 bis 10 L/min |
| Kühlwassertemperatur | 5 bis 25 °C |
| Kühlwasseranschluss | G3/8 |
| N2-Auslöschdruck | 00,1-0,7 MPa |
| N2-Ausblasfluss | 0-120 L/min |
| N2-Auslöschverbindung | G1/4 |
| Einlassanschluss | ISO 160 |
| Steckdoseverbindung | KF50 |
| Geräuschpegel | ≤ 75 dB (A) |
| Betriebsumfeld | 5 ~ 40 °C; ≤ 80% WR |
| Gewicht | 269 kg |
| Abmessungen (L*W*H) | 1695*600*1450 mm |
Schließung, Übertragung, Metrologie, Lithographie
PVD-Prozess, PVD-Vorreinigung, RTA, Streifen-/Ashaushöhlung, Oxid-Etsche, Silizium-Etsche, Implantatquelle, Metalleitsche
Bei der Erfassung von Flächen mit einer hohen Temperatur von mehr als 20 °C ist die Anzahl der Flächen zu berücksichtigen.