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SUZHOU KACO VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD. scorpiosyy@foxmail.com
GRM4201 Dry Vacuum Pump 4200 M³/H Oil Free PMSM Drive ISO160 KF50 For HJT Lithium Battery

GRM4201 Trockene Vakuumpumpe 4200 M3/H Ölfrei PMSM Antrieb ISO160 KF50 Für HJT Lithiumbatterie

  • Hervorheben

    Ölfreie Trocken-Vakuumpumpe

    ,

    4200 m3/h Trockenvakuumpumpe

    ,

    HJT Lithiumbatterie Trockenvakuumpumpe

  • Pumpentyp
    Trocken-Vakuumpumpe
  • Pumpgeschwindigkeit
    4200 m³/h
  • Ultimativer Druck
    ≤0,5 Pa
  • Motortyp
    Permanentmagnet-Synchronmotor (PMSM)
  • Nennleistung
    13+10 kW
  • Stromspannung
    380V dreiphasig
  • Kühlwassertemperatur
    5 bis 25 °C
  • Kühlwasserfluss
    8-10 l/min
  • N2-Spülfluss
    0-120 l/min
  • Einlassanschluss
    ISO160
  • Auslassanschluss
    KF50
  • Geräuschpegel
    ≤ 75 dB (a)
  • Gewicht
    269 KILOGRAMM
  • Abmessungen (L × W × H)
    1695×600×1450 mm
  • Steuerschnittstelle
    I/O und RS485 (Modbus-Protokoll)
  • Dichtungssystem
    Lippendichtung + Labyrinthdichtung mit N2-Spülung
  • Auslegung der Lager
    Dual-End-Lagerunterstützung
  • Steuermodus
    Intelligente SPS mit Ein-Knopf-Start/Stopp
  • Herkunftsort
    China
  • Markenname
    GRM
  • Zertifizierung
    ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018, CE, ETL
  • Modellnummer
    GRM4201
  • Min Bestellmenge
    1 Satz
  • Preis
    USD 25,000-45,000 / Set
  • Verpackung Informationen
    Koffer aus Sperrholz in Exportqualität mit vakuumversiegelter Feuchtigkeitsbarriere und stoßfester S
  • Lieferzeit
    25-40 Werktage
  • Zahlungsbedingungen
    T/T, L/C, Western Union
  • Versorgungsmaterial-Fähigkeit
    100 Sätze pro Monat

GRM4201 Trockene Vakuumpumpe 4200 M3/H Ölfrei PMSM Antrieb ISO160 KF50 Für HJT Lithiumbatterie

GRM4201 Trockenvakuumpumpe

Die GRM4201 ist eine 4200 m3/h hohe Trockenvakuumpumpe mit außergewöhnlichem Vakuumniveau, breitem Arbeitsdruckbereich und hervorragender Staubbehandlung.Wassergekühlter vollverschlossener Motor, und eine intelligente PLC-Einschaltknopfsteuerung, ist es ideal für die Herstellung von HJT-Zellen, die Produktion von Lithium-Batterien und die schnelle Evakuierung von Halbleitern mit Lastschließung.

Wesentliche Merkmale

  • Der wassergekühlte, vollständig versiegelte Permanentmagnet-Synchronmotor mit VFD-Antrieb maximiert die Drehmomentleistung für anspruchsvolle Prozesse und beseitigt gleichzeitig das Risiko von Öllecks.
  • Einzigartiges Rotordesign, hergestellt auf modernster Ausrüstung mit ausgezeichneter geometrischer Präzision, vollständig austauschbar für geringen Lärm und längere Lebensdauer.
  • Staub- und Wasserdampfverträglich- Unempfindlich gegenüber Staub und Wasserdampf, die in den gepumptem Gasstrom gelangen.
  • Kompaktes und integriertes Design¢ Kleine Produktion mit hoher Systemintegration für eine einfache Installation in überfüllten Fabrikumgebungen.
  • Umfassender Schutz- eingebaute Schutzfunktionen mit starker Anpassungsfähigkeit für unterschiedliche Prozessbedingungen.
  • Niedrige Schwingungen und Lärm¢ Bei ≤ 75 dB (A) bei höchstem Druck für einen leiseren Arbeitsplatz.
  • Fortgeschrittenes Versiegelungssystem¢ Erweiterte Lippendichtung mit Labyrinth-Ölbarriere bietet eine überlegene Dichtung und eine längere Lebensdauer.verhindert die Verunreinigung des Ölreservoirs durch Prozessmedien, wodurch eine vollständig ölfreie Vakuumumumgebung erreicht wird.
  • Fernsteuerung und ÜberwachungUnterstützt I/O-Schnittstelle und RS485-Kommunikation (Modbus-Protokoll) für nahtlose Integration in Fabrikautomationssysteme.
  • Entwurf einer Doppel-End-Lagerstütze- Bietet zuverlässige Rotorunterstützung, extrem geringe Vibrationen und eine überlegene Startsicherheit, was es ideal für harte Prozessbedingungen macht.
  • Wassergekühlter Vollversiegelter Motor Hochleistungs-PMSM mit VFD-Antrieb maximiert die Drehmomentleistung.
  • Intelligentes Steuerungssystem¢ Intelligente Programmierung ermöglicht einen Knopf-Start/Stop. Unterstützt eine externe E/A-Schnittstelle und RS485-Kommunikation (Modbus-RTU-Protokoll) für die Integration von Fernsteuerung und Überwachung.

Technische Spezifikation

Parameter Spezifikation
Pumpgeschwindigkeit 4200 m3/h
Der ultimative Druck ≤ 0,5 Pa
Nennleistung 13+10 kW
Spannung 380 V Dreiphasen
Kühlwasserdruck 0.2-0.5 MPa
Kühlwasserfluss 8 bis 10 L/min
Kühlwassertemperatur 5 bis 25 °C
Kühlwasseranschluss G3/8
N2-Auslöschdruck 00,1-0,7 MPa
N2-Ausblasfluss 0-120 L/min
N2-Auslöschverbindung G1/4
Einlassanschluss ISO 160
Steckdoseverbindung KF50
Geräuschpegel ≤ 75 dB (A)
Betriebsumfeld 5 ~ 40 °C; ≤ 80% WR
Gewicht 269 kg
Abmessungen (L*W*H) 1695*600*1450 mm

Bewerbungsverfahren

Saubere Verfahren

Schließung, Übertragung, Metrologie, Lithographie

Mittlere Prozesse

PVD-Prozess, PVD-Vorreinigung, RTA, Streifen-/Ashaushöhlung, Oxid-Etsche, Silizium-Etsche, Implantatquelle, Metalleitsche

Schwierige Prozesse

Bei der Erfassung von Flächen mit einer hohen Temperatur von mehr als 20 °C ist die Anzahl der Flächen zu berücksichtigen.

Zielbranchen

  • Solarzelle mit Heteroanschluss (HJT):PECVD-Prozessvakuumsanforderungen.
  • Lithiumbatterie Industrie:Großflächige Vakuumtrocknung und Elektrolytverarbeitung.
  • Halbleiter:Schnelle Evakuierung und Prozesskammer-Rohung.
  • Vakuumbeschichtung:Industrielle Anwendungen für die Lastverriegelung von PVD/CVD-Beschichtungssystemen.