logo
SUZHOU KACO VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD. scorpiosyy@foxmail.com
GRM41 Dry Vacuum Pump System 600 L/min KF40 PMSM Energy Efficient Drive for Semiconductor Vacuum Coating

GRM41 نظام مضخة الفراغ الجاف 600 لتر / دقيقة KF40 PMSM محرك كفاءة الطاقة لطلاء الفراغ في أشباه الموصلات

  • إبراز

    نظام مضخة الفراغ الجاف GRM41

    ,

    مضخة محرك كفاءة الطاقة PMSM

    ,

    محلول طلاء الفراغ في أشباه الموصلات

  • نموذج
    GRM41
  • يكتب
    نظام مضخة الفراغ الجاف
  • أقصى سرعة ضخ
    600 لتر/دقيقة (36 متر مكعب/ساعة)
  • الضغط النهائي (صابورة الغاز مفتوحة)
    ≥10 باسكال
  • الضغط النهائي (صابورة الغاز مغلقة)
    ≥1 باسكال
  • أقصى ضغط مدخل مستمر
    1000 ملي بار
  • ضغط العادم
    ≥3000 باسكال
  • قوة المحرك
    0.75 كيلوواط
  • نوع المحرك
    PMSM (محرك متزامن بمغناطيس دائم)
  • مزود الطاقة
    200-240 فولت، مرحلة واحدة، 50/60 هرتز
  • التصنيف الحالي
    2.4 أ
  • اتصال المدخل
    40 فرنك
  • اتصال منفذ
    KF25
  • اتصال الصابورة الغاز
    PT1 / 4
  • ضغط صابورة الغاز
    0.02-0.05 ميجا باسكال
  • أقصى سعة لبخار الماء
    350 جرام/ساعة
  • مستوى الضوضاء
    ≤65 ديسيبل
  • حجم الزيت
    0.25 لتر
  • وزن
    54 كجم
  • أبعاد
    630×347×400 ملم
  • فئة الحماية
    IP20D
  • واجهة التحكم
    RS485 المراقبة عن بعد
  • درجة الحرارة المحيطة
    5-40 درجة مئوية
  • مكان المنشأ
    تشجيانغ، الصين
  • اسم العلامة التجارية
    OEM
  • رقم الموديل
    GRM41
  • الحد الأدنى لكمية
    1 مجموعة
  • الأسعار
    negotiable
  • تفاصيل التغليف
    علبة من الخشب الرقائقي عالي الجودة للتصدير مع حشوة إسفنجية مقاومة للصدمات وحاجز رطوبة محكم الغلق بال
  • وقت التسليم
    15-30 يوم عمل بعد تأكيد الطلب
  • شروط الدفع
    تي/تي
  • القدرة على العرض
    200 مجموعات شهريا

GRM41 نظام مضخة الفراغ الجاف 600 لتر / دقيقة KF40 PMSM محرك كفاءة الطاقة لطلاء الفراغ في أشباه الموصلات

GRM41 نظام مضخة الفراغ الجاف

GRM41 هو نظام مضخة فراغ جاف خال من الزيت عالي الأداء مصمم لمتطلبات عالية النقاء في عمليات الفراغ في تصنيع أشباه الموصلات،تصنيع شاشات عرض مسطحةمجهزة بمحرك PMSM (المغناطيس الدائم المزامن) فعال في استخدام الطاقة يقدم 0.75 كيلوواط من الطاقةهذا النظام المدمج يحقق سرعة ضخ 600 لتر / دقيقة (36 م 3 / ساعة) مع ضغط نهائي ≤1 Paتتيح واجهة الرصد عن بعد RS485 المتكاملة التكامل السلس في بيئات الإنتاج الآلي.

الخصائص الرئيسية

  • PMSM محرك كفاءة الطاقة:توفر تقنية المحرك المزامنة المغناطيس الدائم كفاءة طاقة متفوقة مع استهلاك طاقة 0.75 كيلوواط ، مما يقلل من تكاليف التشغيل مع الحفاظ على الأداء العالي.
  • عملية جافة خالية من الزيت:لا يوجد خطر تلوث النفط في غرف العملية، مما يضمن ظروف فراغ نظيفة للغاية ضرورية لتصنيع أشباه الموصلات والطاقة الشمسية.
  • أداء عال في الفراغ:يحقق ضغطًا نهائيًا يصل إلى ≤1 Pa (حزمة غاز مغلقة) و ≤10 Pa (حزمة غاز مفتوحة) ، مناسبة للتطبيقات المتطلبة في فراغ كبير.
  • النظام المتكامل للضغط على الغاز:صمام التشويش الغازي المدمج مع اتصال PT1 / 4 يتعامل مع بخار الماء تصل إلى 350 غرام / ساعة ، مما يمنع التكثيف ويمدد عمر خدمة المضخة.
  • مراقبة عن بعد RS485:تتيح واجهة التحكم الذكية دعم التشغيل عن بعد ومراقبة المعلمات وقدرات التشخيص لدمج الصناعة 4.0.
  • تصميم ضئيل:أبعاد 630 * 347 * 400 مم ووزن 54 كجم فقط يسمح بسهولة التثبيت في بيئات الغرف النظيفة ذات المساحة المحدودة.
  • تشغيل الضوضاء المنخفضة:مستوى الضوضاء ≤65 ديسيبل مع صمامات متكاملة وصمام الانسداد، مما يضمن بيئات عمل مريحة.
  • البناء القويسبيكة الألومنيوم والحديد الصلب مع أغطية الفلوروايلستومر (FKM) تضمن موثوقية طويلة الأجل والتوافق الكيميائي.
  • واجهات KF القياسية:اتصالات مدخل KF40 ومخرج KF25 للتركيب السريع بدون أدوات مع مكونات فراغ قياسية.

المواصفات التقنية

المعلمالمواصفات
النموذجGRM41
النوعنظام مضخة الفراغ الجاف
السرعة القصوى للضخ600 لتر/دقيقة (36 م3/ساعة)
الضغط النهائي (غاز الصابون مفتوح)≤10 با
الضغط النهائي (غلق حاوية الغاز)≤ 1 با
ضغط المدخل المستمر القصوى1000 mbar
ضغط العادم≤3000 با
قوة المحرك0.75 كيلوواط
نوع المحركPMSM (محرك متزامن مغناطيسي دائم)
إمدادات الطاقة200-240 فولت، مرحلة واحدة، 50/60 هرتز
التيار المسموح به2.4 أ
اتصال المدخل40 فرنك
وصلة المخرج25 كيلو فنزويلا
وصلة الحمولة الغازيةPT1/4
ضغط الحمولة الغازية0.02-0.05 مبا
الحد الأقصى لقدرة بخار الماء350 غرام/ساعة
مستوى الضوضاء≤ 65 ديسيبل
حجم النفط0.25 لتر
الوزن54 كجم
الأبعاد (L*W*H)630*347*400 مم
فئة الحمايةIP20D
واجهة التحكمالرصد عن بعد RS485
درجة الحرارة المحيطة5-40 درجة مئوية

تطبيقات نموذجية

  • معالجة وتصنيع رقائق أشباه الموصلات
  • تصنيع الخلايا الضوئية (PVD، PECVD، الحفر)
  • شاشة عرض مسطحة وإنتاج OLED
  • طلاء الفراغ وترسبات الألواح الرقيقة
  • أنظمة الفراغ العالي للبحوث والمختبرات
  • صناعة الليزر والنور
  • مضخة دعم الأجهزة التحليلية
  • إخلاء غرفة قفل الحمولة