مضخة تفريغ جافة GRH3001 بقدرة 3000 متر مكعب/ساعة مع محرك متزامن مغناطيسي دائم
-
إبراز
مضخة تفريغ جافة بمحرك مغناطيسي دائم
,مضخة تفريغ جافة 3000 متر مكعب/ساعة
,مضخة الفراغ الجاف للشاشات الشمسية
-
نوع المضخةمضخة الفراغ الجافة
-
سرعة الضخ3000 متر مكعب / ساعة
-
الضغط النهائي.50.5 باسكال
-
نوع المحركمحرك متزامن بمغناطيس دائم (PMSM)
-
القوة المقدرة11+7.5 كيلو واط
-
الجهد االكهربى380 فولت ثلاث مراحل
-
درجة حرارة ماء التبريد5-30 درجة مئوية
-
تدفق مياه التبريد≥11 لتر/دقيقة
-
تدفق التطهير N243-123 لتر/دقيقة
-
اتصال المدخلايزو160
-
اتصال منفذ40 فرنك
-
مستوى الضوضاء≥70 ديسيبل (أ)
-
وزن770 كجم
-
الأبعاد (L × W × H)922×516×988 ملم
-
واجهة التحكمالإدخال/الإخراج وRS485 (بروتوكول Modbus)
-
نظام الختمختم الشفاه + ختم المتاهة مع N2 Purge
-
مكان المنشأالصين
-
اسم العلامة التجاريةGRH
-
إصدار الشهاداتISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
-
رقم الموديلGRH3001
-
الحد الأدنى لكمية1 مجموعة
-
الأسعارUSD 18,000-25,000 / Set
-
تفاصيل التغليفعلبة من الخشب الرقائقي عالي الجودة للتصدير مع حاجز رطوبة محكم الغلق وحشوة إسفنجية مقاومة للصدمات
-
وقت التسليم15-30 يوم عمل
-
شروط الدفع/ تي تي، خطاب الاعتماد، ويسترن يونيون
-
القدرة على العرض500 مجموعات شهريا
مضخة تفريغ جافة GRH3001 بقدرة 3000 متر مكعب/ساعة مع محرك متزامن مغناطيسي دائم
مضخة تفريغ جافة GRH3001
مضخة التفريغ الجافة GRH3001 هي مضخة تفريغ جافة بقدرة 3000 متر مكعب/ساعة مصممة لتصنيع أشباه الموصلات والخلايا الكهروضوئية على نطاق متوسط إلى كبير. تجمع بين غرفة مضخة خالية من الزيت، وتصميم مدمج، واستهلاك طاقة منخفض لأداء موثوق به بكميات كبيرة.
الميزات الرئيسية
- محرك متزامن مغناطيسي دائم — يوفر كفاءة طاقة فائقة واستهلاك طاقة أقل مقارنة بمحركات الحث التقليدية.
- هيكل دوار متقدم — قدرة محسنة على استخلاص الغبار، مما يجعل المضخة متسامحة للغاية مع الغازات العملية المحملة بالجسيمات.
- متسامحة مع الغبار وبخار الماء — غير حساسة للغبار وبخار الماء المتضمن في تيار الغاز المضخوخ.
- تصميم مدمج ومتكامل — بصمة صغيرة مع تكامل نظام عالٍ لسهولة التركيب في بيئات المصانع المزدحمة.
- حماية شاملة — وظائف حماية مدمجة مع قدرة تكيف قوية لظروف العملية المتغيرة.
- اهتزاز وضوضاء منخفضة — تعمل عند ≤70 ديسيبل (أ) عند الضغط النهائي لبيئة عمل أكثر هدوءًا.
- نظام إحكام متقدم — يمنع ختم الشفة وختم المتاهة مع تطهير النيتروجين بشكل فعال تدفق الزيت العكسي، مما يضمن نظافة تفريغ عالية في غرفة العملية.
- التحكم والمراقبة عن بعد — يدعم واجهة الإدخال/الإخراج واتصال RS485 (بروتوكول Modbus) للتكامل السلس في أنظمة أتمتة المصانع.
المواصفات الفنية
| المعلمة | المواصفات |
|---|---|
| سرعة الضخ | 3000 متر مكعب/ساعة |
| الضغط النهائي | ≤0.5 با |
| الطاقة المقدرة | 11+7.5 كيلو واط |
| الجهد | 380 فولت ثلاثي الأطوار |
| ضغط ماء التبريد | 0.2-0.6 ميجا باسكال |
| تدفق ماء التبريد | ≥11 لتر/دقيقة |
| درجة حرارة ماء التبريد | 5-30 درجة مئوية |
| وصلة ماء التبريد | G3/8 |
| ضغط تطهير النيتروجين | 0.2-0.6 ميجا باسكال |
| تدفق تطهير النيتروجين | 43-123 لتر/دقيقة |
| وصلة تطهير النيتروجين | G1/4 |
| وصلة المدخل | ISO160 |
| وصلة المخرج | KF40 |
| مستوى الضوضاء | ≤70 ديسيبل (أ) |
| بيئة التشغيل | 5~40 درجة مئوية؛ ≤80% رطوبة نسبية |
| الوزن | 770 كجم |
| الأبعاد (ط*ع*ارتفاع) | 922*516*988 مم |
عمليات التطبيق
عمليات نظيفة
قفل التحميل، النقل، القياس، الطباعة الحجرية
عمليات متوسطة
عملية PVD، تنظيف مسبق لـ PVD، RTA، تجريد/حرق، حفر الأكاسيد، حفر السيليكون، مصدر زرع، حفر المعادن
عمليات قاسية
HDP-CVD، RTP، SACVD، MOCVD، PECVD، LPCVD، ALD
الصناعات المستهدفة
- أشباه الموصلات: الحفر، زرع الأيونات، CVD، وتطبيقات العمليات النظيفة والمتوسطة والقاسية الأخرى.
- الكهروضوئية: أفران نمو الكريستال، عمليات تصنيع الخلايا.
- بطاريات الليثيوم: عمليات التجفيف الفراغي للخلايا، تعبئة الإلكتروليت، وعمليات إزالة الغاز.
- شاشات العرض المسطحة و LED: عمليات التصنيع التي تتطلب بيئات تفريغ عالية النظافة.
منتجات ذات صله
تُباع منتجاتنا في جميع أنحاء العالم ، ويمكنك أن تطمئن إلى العملية الكاملة لمنتجاتنا.
