-
إبراز
مضخة فراغ PMSM الجافة
,مضخة الفراغ الجاف 200 م3/ساعة
,مضخة الفراغ الجافة ISO63 KF25
-
نوع المضخةمضخة الفراغ الجافة
-
سرعة الضخ200 متر مكعب/ساعة
-
الضغط النهائي.50.5 باسكال
-
نوع المحركمحرك متزامن بمغناطيس دائم (PMSM)
-
القوة المقدرة1.9 كيلو واط
-
الجهد االكهربى380 فولت ثلاث مراحل
-
درجة حرارة ماء التبريد5-30 درجة مئوية
-
تدفق مياه التبريد≥3 لتر/دقيقة
-
تدفق التطهير N212-50 لتر/دقيقة
-
اتصال المدخلISO63
-
اتصال منفذKF25
-
مستوى الضوضاء≥63 ديسيبل (أ)
-
وزن150 كجم
-
الأبعاد (L × W × H)741×344×466 ملم
-
واجهة التحكمالإدخال/الإخراج وRS485 (بروتوكول Modbus)
-
نظام الختمختم الشفاه + ختم المتاهة مع N2 Purge
-
توافق الغازالغازات العملية القابلة للاشتعال والانفجار والتكثيف
-
مكان المنشأالصين
-
اسم العلامة التجاريةGRM
-
إصدار الشهاداتISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
-
رقم الموديلGRM201
-
الحد الأدنى لكمية1 مجموعة
-
الأسعارUSD 5,000-8,000 / Set
-
تفاصيل التغليفعلبة من الخشب الرقائقي عالي الجودة للتصدير مع حاجز رطوبة محكم الغلق وحشوة إسفنجية مقاومة للصدمات
-
وقت التسليم15-30 يوم عمل
-
شروط الدفع/ تي تي، خطاب الاعتماد، ويسترن يونيون
-
القدرة على العرض300 مجموعات شهريا
GRM201 PMSM 200 M3/H مضخة فراغ جافة ISO63 KF25
مضخة تفريغ جافة GRM201
مضخة التفريغ الجافة GRM201 هي مضخة تفريغ جافة بقدرة 200 متر مكعب/ساعة توفر استهلاكًا منخفضًا للطاقة وسرعة ضخ عالية. إنها تتعامل بأمان مع غازات العمليات القابلة للاشتعال والمتفجرة والمتكثفة، مما يجعلها مناسبة لعمليات أشباه الموصلات PECVD و MOCVD و SIC-CVD بموثوقية عالية وتكاليف صيانة منخفضة.
الميزات الرئيسية
- محرك متزامن بمغناطيس دائم — يوفر كفاءة طاقة فائقة مع استهلاك طاقة منخفض رائد في الصناعة.
- هيكل دوار متقدم — تضمن قدرة استخلاص الغبار المحسنة التشغيل الموثوق به في بيئات العمليات الغنية بالجسيمات.
- مقاومة للغبار وبخار الماء — غير حساسة للغبار وبخار الماء المتضمن في تيار الغاز المضخ.
- تصميم مدمج ومتكامل — بصمة صغيرة مع تكامل نظام عالي لسهولة التركيب في البيئات المزدحمة للمصانع.
- حماية شاملة — وظائف حماية مدمجة مع قدرة تكيف قوية لظروف العمليات المتغيرة.
- اهتزاز وضوضاء منخفضة — تعمل عند ≤63 ديسيبل (أ) عند الضغط النهائي لبيئة عمل أكثر هدوءًا.
- نظام إحكام متقدم — يمنع مانع التسرب الشفوي ومانع التسرب المتاهة جنبًا إلى جنب مع تطهير النيتروجين بشكل فعال تدفق الزيت العكسي، مما يحافظ على نظافة التفريغ العالية في غرفة العمليات.
- التحكم والمراقبة عن بعد — يدعم واجهة الإدخال/الإخراج واتصال RS485 (بروتوكول Modbus) للتكامل السلس في أنظمة أتمتة المصانع.
- متوافق مع الغازات الخطرة — تشغيل آمن مع غازات العمليات القابلة للاشتعال والمتفجرة والمتكثفة.
المواصفات الفنية
| المعلمة | المواصفات |
|---|---|
| سرعة الضخ | 200 متر مكعب/ساعة |
| الضغط النهائي | ≤0.5 باسكال |
| الطاقة المقدرة | 1.9 كيلو واط |
| الجهد | 380 فولت ثلاثي الأطوار |
| ضغط ماء التبريد | 0.2-0.6 ميجا باسكال |
| تدفق ماء التبريد | ≥3 لتر/دقيقة |
| درجة حرارة ماء التبريد | 5-30 درجة مئوية |
| وصلة ماء التبريد | G3/8 |
| ضغط تطهير النيتروجين | 0.2-0.6 ميجا باسكال |
| تدفق تطهير النيتروجين | 12-50 لتر/دقيقة |
| وصلة تطهير النيتروجين | G1/4 |
| وصلة المدخل | ISO63 |
| وصلة المخرج | KF25 |
| مستوى الضوضاء | ≤63 ديسيبل (أ) |
| بيئة التشغيل | 5~40 درجة مئوية؛ ≤80% رطوبة نسبية |
| الوزن | 150 كجم |
| الأبعاد (ط*ع*ارتفاع) | 741*344*466 ملم |
عمليات التطبيق
عمليات نظيفة
قفل التحميل، النقل، القياس، الطباعة الحجرية
عمليات متوسطة
عملية PVD، تنظيف PVD المسبق، RTA، التجفيف/الترميد، حفر الأكاسيد، حفر السيليكون، مصدر الزرع، حفر المعادن
عمليات قاسية
HDP-CVD، RTP، SACVD، MOCVD، PECVD، LPCVD، ALD
الصناعات المستهدفة
- أشباه الموصلات: عمليات الحفر، وزرع الأيونات، و CVD، و PECVD، و MOCVD، وتطبيقات عمليات SIC-CVD النظيفة/المتوسطة/القاسية.
- الطاقة الشمسية الكهروضوئية: أفران نمو الكريستال، وعمليات تصنيع الخلايا.
- بطارية الليثيوم: عمليات التجفيف الفراغي للخلايا، وملء الإلكتروليت، وإزالة الغازات.
- شاشات العرض المسطحة و LED: عمليات التصنيع التي تتطلب بيئات تفريغ عالية النظافة.
منتجات ذات صله
تُباع منتجاتنا في جميع أنحاء العالم ، ويمكنك أن تطمئن إلى العملية الكاملة لمنتجاتنا.
