-
إبراز
مضخة تفريغ جافة مدخل ISO100
,مضخة تفريغ جافة 600 م³/ساعة
,مضخة تفريغ جافة مخرج KF25
-
نوع المضخةمضخة الفراغ الجافة
-
سرعة الضخ600 متر مكعب / ساعة
-
الضغط النهائي.150.15 باسكال
-
نوع المحركمحرك متزامن بمغناطيس دائم (PMSM)
-
القوة المقدرة1.9+1.9 كيلو واط
-
الجهد االكهربى380 فولت ثلاث مراحل
-
درجة حرارة ماء التبريد5-30 درجة مئوية
-
تدفق مياه التبريد≥4 لتر/دقيقة
-
تدفق التطهير N212-50 لتر/دقيقة
-
اتصال المدخلايزو100
-
اتصال منفذKF25
-
مستوى الضوضاء≥63 ديسيبل (أ)
-
وزن260 كجم
-
الأبعاد (L × W × H)865×344×751 ملم
-
واجهة التحكمالإدخال/الإخراج وRS485 (بروتوكول Modbus)
-
نظام الختمختم الشفاه + ختم المتاهة مع N2 Purge
-
توافق الغازالغازات العملية القابلة للاشتعال والانفجار والتكثيف
-
مكان المنشأالصين
-
اسم العلامة التجاريةGRM
-
إصدار الشهاداتISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
-
رقم الموديلGRM601
-
الحد الأدنى لكمية1 مجموعة
-
الأسعارUSD 8,000-13,000 / Set
-
تفاصيل التغليفعلبة من الخشب الرقائقي عالي الجودة للتصدير مع حاجز رطوبة محكم الغلق وحشوة إسفنجية مقاومة للصدمات
-
وقت التسليم15-30 يوم عمل
-
شروط الدفع/ تي تي، خطاب الاعتماد، ويسترن يونيون
-
القدرة على العرض300 مجموعات شهريا
مضخة تفريغ جافة GRM601 600 م³/ساعة ISO100 KF25
مضخة تفريغ جافة GRM601
مضخة التفريغ الجافة GRM601 هي مضخة تفريغ جافة بقدرة 600 متر مكعب/ساعة توفر استهلاكًا منخفضًا للطاقة وسرعة ضخ عالية. تتعامل بأمان مع غازات العمليات القابلة للاشتعال والمتفجرة والمتكثفة، وهي مصممة لعمليات أشباه الموصلات PECVD و MOCVD و SIC-CVD.
الميزات الرئيسية
- محرك متزامن بمغناطيس دائم — يوفر كفاءة طاقة فائقة مع استهلاك طاقة منخفض رائد في الصناعة.
- هيكل دوار متقدم — تضمن قدرة استخلاص الغبار المحسنة تشغيلًا موثوقًا به في بيئات العمليات الغنية بالجسيمات.
- مقاومة للغبار وبخار الماء — غير حساسة للغبار وبخار الماء المتضمن في تيار الغاز المضخ.
- تصميم مدمج ومتكامل — بصمة صغيرة مع تكامل نظام عالي لسهولة التركيب في بيئات المصانع المزدحمة.
- حماية شاملة — وظائف حماية مدمجة مع قدرة تكيف قوية لظروف العمليات المتغيرة.
- اهتزاز وضوضاء منخفضة — تعمل عند ≤63 ديسيبل (أ) عند الضغط النهائي لبيئة عمل أكثر هدوءًا.
- نظام إحكام متقدم — يمنع ختم الشفة وختم المتاهة مع تطهير النيتروجين بشكل فعال تدفق الزيت العكسي، مما يحافظ على نظافة التفريغ العالي في غرفة العمليات.
- التحكم والمراقبة عن بعد — يدعم واجهة الإدخال/الإخراج واتصال RS485 (بروتوكول Modbus) للتكامل السلس في أنظمة أتمتة المصانع.
- متوافق مع الغازات الخطرة — تشغيل آمن مع غازات العمليات القابلة للاشتعال والمتفجرة والمتكثفة.
المواصفات الفنية
| المعلمة | المواصفات |
|---|---|
| سرعة الضخ | 600 متر مكعب/ساعة |
| الضغط النهائي | ≤0.15 باسكال |
| الطاقة المقدرة | 1.9+1.9 كيلو واط |
| الجهد | 380 فولت ثلاثي الأطوار |
| ضغط ماء التبريد | 0.2-0.6 ميجا باسكال |
| تدفق ماء التبريد | ≥4 لتر/دقيقة |
| درجة حرارة ماء التبريد | 5-30 درجة مئوية |
| وصلة ماء التبريد | G3/8 |
| ضغط تطهير النيتروجين | 0.2-0.6 ميجا باسكال |
| تدفق تطهير النيتروجين | 12-50 لتر/دقيقة |
| وصلة تطهير النيتروجين | G1/4 |
| وصلة المدخل | ISO100 |
| وصلة المخرج | KF25 |
| مستوى الضوضاء | ≤63 ديسيبل (أ) |
| بيئة التشغيل | 5~40 درجة مئوية؛ ≤80% رطوبة نسبية |
| الوزن | 260 كجم |
| الأبعاد (ط*ع*ارتفاع) | 865*344*751 مم |
عمليات التطبيق
عمليات نظيفة
قفل التحميل، النقل، القياس، الطباعة الحجرية
عمليات متوسطة
عملية PVD، تنظيف مسبق لـ PVD، RTA، تجريد/حرق، حفر الأكاسيد، حفر السيليكون، مصدر زرع، حفر المعادن
عمليات قاسية
HDP-CVD، RTP، SACVD، MOCVD، PECVD، LPCVD، ALD
الصناعات المستهدفة
- أشباه الموصلات: تطبيقات عمليات الحفر، زرع الأيونات، CVD، PECVD، MOCVD، و SIC-CVD النظيفة/المتوسطة/القاسية.
- الطاقة الشمسية الكهروضوئية: أفران نمو الكريستال، عمليات تصنيع الخلايا.
- بطارية الليثيوم: عمليات التجفيف الفراغي للخلايا، تعبئة الإلكتروليت، وعمليات إزالة الغاز.
- شاشة مسطحة و LED: عمليات التصنيع التي تتطلب بيئات تفريغ عالية النظافة.
منتجات ذات صله
تُباع منتجاتنا في جميع أنحاء العالم ، ويمكنك أن تطمئن إلى العملية الكاملة لمنتجاتنا.
