GRM4201 هي مضخة فراغ جافة ذات سعة عالية 4200 متر / ساعة تحقق مستويات فراغ استثنائية مع نطاق ضغط عمل واسع ومعالجة الغبار الممتازة. مع دعم محملينالمحرك المبرد بالماء المختوم بالكامل، والتحكم الذكي PLC زر واحد، فمن المثالي لتصنيع خلية HJT، وإنتاج بطارية الليثيوم، والشحن شبه الموصل قفل الإخلاء السريع.
| المعلم | المواصفات |
|---|---|
| سرعة الضخ | 4200 متر3/ساعة |
| الضغط النهائي | ≤0.5 با |
| الطاقة المسجلة | 13+10 كيلوواط |
| الجهد | 380 فولت ثلاثي المراحل |
| ضغط المياه الباردة | 0.2-0.5 مبا |
| تدفق مياه التبريد | 8 إلى 10 لترات/دقيقة |
| درجة حرارة مياه التبريد | 5-25 درجة مئوية |
| اتصال مياه التبريد | G3/8 |
| N2 ضغط التطهير | 0.1-0.7 مبا |
| تدفق التطهير N2 | 0-120 لتر/دقيقة |
| اتصالات التطهير N2 | G1/4 |
| اتصال المدخل | ISO160 |
| وصلة المخرج | 50 فرنك |
| مستوى الضوضاء | ≤75 ديسيبل ((A) |
| بيئة التشغيل | 5~40 درجة مئوية، ≤80% RH |
| الوزن | 269 كجم |
| الأبعاد (L*W*H) | 1695*600*1450 مم |
قفل الحمولة، النقل، علم القياسات، الكتابة الحجرية
عملية PVD ، PVD Pre-Clean ، RTA ، الشريط / الرماد ، حفر الأكسيد ، حفر السيليكون ، مصدر الزرع ، حفر المعدن
الـHDP-CVD، RTP، SACVD، MOCVD، PECVD، LPCVD، ALD