-
إبراز
مضخة تفريغ جافة ثلاثية الطور 380 فولت
,مضخة تفريغ جافة 1800 متر مكعب/ساعة
,مضخة تفريغ جافة لعمليات أشباه الموصلات
-
نوع المضخةمضخة الفراغ الجافة
-
سرعة الضخ1800 م³ / ساعة
-
الضغط النهائي.50.5 باسكال
-
نوع المحركمحرك متزامن بمغناطيس دائم (PMSM)
-
القوة المقدرة7.5+4.5 كيلو واط
-
الجهد االكهربى380 فولت ثلاث مراحل
-
درجة حرارة ماء التبريد10-30 درجة مئوية
-
تدفق مياه التبريد6 لتر/دقيقة
-
تدفق التطهير N24-96 لتر/دقيقة
-
اتصال المدخلايزو160
-
اتصال منفذ40 فرنك
-
مستوى الضوضاءأقل من 70 ديسيبل (أ)
-
وزن472 كجم
-
الأبعاد (L × W × H)935×420×795 ملم
-
واجهة التحكمالإدخال/الإخراج وRS485 (بروتوكول Modbus)
-
نظام الختمختم الشفاه + ختم المتاهة مع N2 Purge
-
مكان المنشأالصين
-
اسم العلامة التجاريةGRH
-
إصدار الشهاداتISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
-
رقم الموديلGRH1802
-
الحد الأدنى لكمية1 مجموعة
-
الأسعارUSD 12,000-18,000 / Set
-
تفاصيل التغليفعلبة من الخشب الرقائقي عالي الجودة للتصدير مع حاجز رطوبة محكم الغلق وحشوة إسفنجية مقاومة للصدمات
-
وقت التسليم15-30 يوم عمل
-
شروط الدفع/ تي تي، خطاب الاعتماد، ويسترن يونيون
-
القدرة على العرض500 مجموعات شهريا
مضخة تفريغ جافة ثلاثية الطور 380 فولت GRH1802 1800 متر مكعب/ساعة
GRH1802 مضخة الفراغ الجاف
GRH1802 هي مضخة فراغ جافة 1800 م3/س مصممة للعمليات الشمسية والشبهة للشاشاتأنها توفر أداء موثوق به مع القدرة على التعامل مع الغبار قوية.
الخصائص الرئيسية
- محرك متزامن مغناطيس دائم يقدم كفاءة طاقة متفوقة واستهلاك طاقة أقل مقارنة بمحركات الحث التقليدية.
- هيكل الدوار المتقدم القدرة على استخراج الغبار المحسنة، مما يجعل المضخة عالية التسامح مع غازات العملية المحملة بالجسيمات.
- متسامح مع الغبار و بخار الماءغير حساسة للغبار وبخار الماء الذي يتم ضخه في تيار الغاز المضخ.
- التصميم المدمج والمدمج✓ بصمة صغيرة مع تكامل عال للنظام لسهولة التثبيت في بيئات المصانع المزدحمة.
- حماية شاملةوظائف الحماية المدمجة مع القدرة القوية على التكيف مع ظروف العملية المختلفة.
- اهتزازات ضئيلة وصوتيعمل عند <70 ديسيبل (((أ) عند الضغط النهائي لمكان عمل أكثر هدوءا.
- نظام الختم المتقدميمنع سد الشفاه وسد المتاهة جنبا إلى جنب مع التطهير من النيتروجين بشكل فعال تدفق الزيت إلى الوراء ، مما يضمن نظافة فراغ عالية في غرفة العملية.
- التحكم عن بعد والمراقبةيدعم واجهة الإدخال والإخراج والاتصال RS485 (بروتوكول Modbus) للاندماج السلس في أنظمة أتمتة المصنع.
المواصفات التقنية
| المعلم | المواصفات |
|---|---|
| سرعة الضخ | 1800 متر3/ساعة |
| الضغط النهائي | ≤0.5 با |
| الطاقة المسجلة | 7.5 + 4.5 كيلوواط |
| الجهد | 380 فولت ثلاثي المراحل |
| ضغط المياه الباردة | 0.3-0.6 مبا |
| تدفق مياه التبريد | 6 لتر/دقيقة |
| درجة حرارة مياه التبريد | 10-30 درجة مئوية |
| اتصال مياه التبريد | G3/8 |
| N2 ضغط التطهير | 0.3-0.6 مبا |
| تدفق التطهير N2 | 4-96 لتر/دقيقة |
| اتصالات التطهير N2 | G1/4 |
| اتصال المدخل | ISO160 |
| وصلة المخرج | 40 فرنك |
| مستوى الضوضاء | < 70 ديسيبل ((A) |
| بيئة التشغيل | 5~40 درجة مئوية، ≤80% RH |
| الوزن | 472 كجم |
| الأبعاد (L*W*H) | 935*420*795 مم |
عمليات الطلب
العمليات النظيفة
قفل الحمولة، النقل، علم القياسات، الكتابة الحجرية
العمليات المتوسطة
عملية PVD ، PVD Pre-Clean ، RTA ، الشريط / الرماد ، حفر الأكسيد ، حفر السيليكون ، مصدر الزرع ، حفر المعدن
العمليات القاسية
الـHDP-CVD، RTP، SACVD، MOCVD، PECVD، LPCVD، ALD
الصناعات المستهدفة
- نصف موصل:الحفر، زرع الأيونات، CVD، وتطبيقات العملية النظيفة، المتوسطة، والقاسية الأخرى.
- الطاقة الكهروضوئيةأفران نمو الكريستال، عمليات تصنيع الخلايا.
- بطارية الليثيومعمليات تجفيف خلايا الفراغ، ملء الكهربائيات، وإزالة الغازات.
- شاشة شاشة مسطحة و LED:عمليات التصنيع التي تتطلب بيئات فراغ عالية النظافة.
منتجات ذات صله
تُباع منتجاتنا في جميع أنحاء العالم ، ويمكنك أن تطمئن إلى العملية الكاملة لمنتجاتنا.
